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실리콘(Si) 원료분말과 이터븀(Yb)계 첨가제를 균일하게 혼합하여 혼합원료를 제조하는 단계;상기 혼합원료를 성형체로 성형하는 단계; 및상기 성형체를 로(furnace)에 넣은 후, 산소 분압이 제어된 분위기 하에서 일정 속도로 승온하여 일정 반응온도로 질화반응을 수행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 이터븀(Yb)계 첨가제는 이트리아(Yb2O3), 염화이터븀(YbCl3), 질산이터븀(Yb(NO3)3) 및 황산이터븀(YbSO4)으로 이루어진 군 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 이터븀(Yb)계 첨가제는 상기 혼합원료의 총 중량에 대하여 0
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제1항에 있어서,상기 질화반응을 수행하는 단계는 산소 분압이 4×10-6기압 이하로 제어된 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 성형하는 단계에서 슬립 캐스팅(Slip casting), 젤 캐스팅(Gel casting), 원심 캐스팅, 압력주입 성형 및 정수압 성형(Cold Isostatic Pressing, CIP) 중 어느 하나의 성형방식으로 혼합원료를 성형하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 질화반응을 수행하는 단계에서 상기 일정 반응온도는 1000℃ 내지 1600℃인 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 질화반응을 수행하는 단계에서 상기 일정 반응온도에 도달하기까지 상온으로부터 5℃/분 내지 20℃/분의 속도로 승온하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 질화반응을 수행하는 단계에서 상기 로(furnace)의 종류는 박스로, 튜브로, 흑연로, 진공로 및 흑연진공로 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법
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