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CO2 레이저 조사부로부터 조사되는 레이저빔이 반응챔버 내로 조사되고 반응챔버 내로 주입되는 원료가스가 상기 레이저빔의 열에 의해 분해되면서 나노입자가 형성되도록 하는 레이저 열분해를 이용한 나노입자 제조를 위한 광학 시스템으로서,조사되는 레이저빔의 중심축선(A)을 사이에 두고 양측에 이격되어서 위치하는 제1 프리즘(120)과 제2 프리즘(130)으로 이루어지되, 상기 제1 프리즘(120)과 제2 프리즘(130)은 ZnSe 재질로 된 프리즘 쌍(110); 및상기 레이저빔의 조사방향을 따라서 상기 프리즘 쌍의 상류측에 위치하여 상기 레이저빔을 플랫(flat)한 라인 빔(line beam) 형태로 만드는 집광렌즈(140);를 포함하며,상기 제1 프리즘(120)은 판상의 형태로서, 상기 레이저빔(B)의 조사방향 상류측을 향하는 제1 전면(121)과 상기 레이저빔(B)의 조사방향 하류측을 향하는 제1 후면(125)으로 이루어지고, 상기 제1 전면(121)은 평면으로 이루어져 측면 바깥을 향하도록 중심축선(A)에 대하여 경사지며, 상기 중심축선(A)을 따라서 진행하던 레이저빔(B) 중 상기 제1 전면(121)을 통과하는 부분은 상기 중심축선(A) 쪽으로 굴절되어서 진행되고, 상기 제1 후면(125)은 평면으로 이루어져 상기 중심축선(A)와 직각을 이루며,상기 제2 프리즘(130)은 상기 제1 프리즘(120)과 동일한 형상으로 이루어져, 상기 중심축선(A)에 대해 상기 제1 프리즘(120)과 대칭이 되도록 배치되고, 상기 레이저빔(B)의 조사방향 상류측을 향하는 제2 전면(131)과 상기 레이저빔(B)의 조사방향 하류측을 향하는 제2 후면(135)으로 이루어지며, 상기 제2 전면(131)은 평면으로 이루어져 측면 바깥을 향하도록 상기 중심축선(A)에 대하여 경사지고, 상기 중심축선(A)을 따라서 진행하던 레이저빔(B) 중 제2 전면(131)을 통과하는 부분은 상기 중심축선(A) 쪽으로 굴절되어서 진행되며, 상기 제2 후면(135)은 평면으로 이루어져 상기 중심축선(A)과 직각을 이루고,상기 집광렌즈는 상기 레이저빔(B)의 조사방향 상류측을 향하는 볼록한 전면(141)과, 상기 레이저빔(B)의 조사방향 하류측을 향하는 편평한 후면(145)으로 이루어져 상기 제1 프리즘(120) 및 상기 제2 프리즘(130)이 배치되는 방향에 대응하는 레이저빔의 폭은 유지하면서 상기 폭에 직각인 높이는 줄어들도록 집광하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조를 위한 광학 시스템
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