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다채널 광원의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2018010157
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판 상에 제 1 도파로층 및 상기 제 1 도파로층과 광결합되는 제 2 도파로층을 형성하는 것, 상기 제 1 및 제 2 도파로층들 상에 제 1 클래드층 및 오믹층을 적층하는 것, 상기 오믹층 상에 상기 제 1 도파로층을 덮고 상기 제 2 도파로층 상으로 연장되는 식각 마스크를 형성하는 것, 상기 식각 마스크와 상기 제 2 도파로층 사이의 상기 오믹층 일부를 식각하여, 상기 식각 마스크의 하면을 노출시키는 언더컷을 형성하는 것, 상기 제 2 도파로층 상의 상기 제 1 클래드층을 제거하는 것, 및 상기 제 2 도파로층 상에 제 2 클래드층을 형성하는 것을 포함하는 다채널 광원의 제조 방법을 제공하되, 상기 제 2 클래드층의 상면은 상기 오믹층의 상면과 공면을 이룰 수 있다.
Int. CL G02B 6/38 (2006.01.01) F21S 2/00 (2016.01.01) G02B 6/36 (2006.01.01) G02B 6/13 (2006.01.01)
CPC G02B 6/3885(2013.01) G02B 6/3885(2013.01) G02B 6/3885(2013.01) G02B 6/3885(2013.01)
출원번호/일자 1020170004371 (2017.01.11)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0083029 (2018.07.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.05.28)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이동훈 대한민국 세종특별자치시
2 박상호 대한민국 대전시 유성구
3 백용순 대한민국 대전광역시 유성구
4 신장욱 대한민국 대전시 유성구
5 이동효 대한민국 대전광역시 유성구
6 한영탁 대한민국 대전시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0035765-08
2 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
2020.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-0539551-15
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.05.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0539550-69
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번호 청구항
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기판 상에 제 1 도파로층 및 상기 제 1 도파로층과 광결합되는 제 2 도파로층을 형성하는 것;상기 제 1 및 제 2 도파로층들 상에 제 1 클래드층 및 오믹층을 적층하는 것;상기 오믹층 상에 상기 제 1 도파로층을 덮고, 상기 제 2 도파로층 상으로 연장되는 식각 마스크를 형성하는 것;상기 식각 마스크와 상기 제 2 도파로층 사이의 상기 오믹층 일부를 식각하여, 상기 식각 마스크의 하면을 노출시키는 언더컷을 형성하는 것;상기 제 2 도파로층 상의 상기 제 1 클래드층을 제거하는 것; 및상기 제 2 도파로층 상에 제 2 클래드층을 형성하는 것을 포함하되,상기 제 2 클래드층의 상면은 상기 오믹층의 상면과 공면을 이루는 다채널 광원의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국전자통신연구원 방송통신산업기술개발사업 초소형 100G 클라이언트 트랜시버용 TOSA 개발