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상부에 요철 구조를 갖는 성장기판; 및상기 성장기판 상에 상기 요철 구조 상에 배치된 제1 반도체층을 포함하고,상기 성장기판과 상기 제1 반도체층 사이에 에어 보이드를 포함하고,상기 에어 보이드는 상기 요철 구조 사이에 배치된 기판
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제1 항에 있어서,상기 에어 보이드는 상기 요철 구조 사이의 평탄한 C(00-01)면의 바닥부를 포함하는 기판
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3
제2 항에 있어서,상기 제1 반도체층은 상기 바닥부로부터 일정 간격 이격된 기판
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제1 항에 있어서,상기 에어 보이드의 상부 끝단은 상기 요철 구조의 상부 끝단보다 위에 배치된 기판
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제1 항에 있어서,상기 성장기판은 상기 요철 구조 사이에 배치된 C(00-01)과 상이한 면 지수를 포함하는 오목부를 포함하는 기판
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6
제5 항에 있어서,상기 오목부는 R(10-12)면, r(10-11)면, S(20-21)면, m(10-10)면 중 적어도 하나 이상을 포함하는 기판
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7
제5 항에 있어서,상기 제1 반도체층과 접하는 상기 요철 구조는 n(22-43)면, p(11-23)면, a(11-20)면 중 어느 하나인 기판
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8
제5 항에 있어서,상기 요철 구조는 a(11-20)면 방향으로 배열되고, 상기 에어 보이드는 탑뷰가 사각 형상 및 마름모 형상 중 하나를 갖는 기판
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9
제5 항에 있어서,상기 요철 구조는 m(10-10)면 방향으로 배열되고, 상기 에어 보이드는 탑뷰가 다각 형상 및 육각 형상 중 하나를 갖는 기판
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10
제1 항에 있어서,상기 제1 반도체층 상에 배치되어 7 페어 내지 30 페어 교번되는 제1 및 제2 층을 포함하는 2
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11
제1 항 내지 제10 항 중 어느 하나의 기판; 및상기 기판 상에 배치된 발광 구조물을 포함하는 반도체 소자
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