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다공성 MIM-타입 용량성 습도 센서의 제조 공정에 있어서, (a) 전자빔-증착된 Ti/Pt층(e-beam-evaporated Ti/Pt layer)은 1000/2000 Å에서 증착되어 하부 전극(bottom electrode)을 생성하는 단계; (b) 기능성 폴리머(1
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제1항에 있어서, 상기 단계(b)에서, 100 ℃에서 10 분간, 210 ℃에서 30 분간 하드 베이크(hard baking)를 수행하여 상기 기능성 폴리머에서 물의 95%을 제거함으로써 습도 센서의 감도(sensitivity)를 향상시키는, TiO2 미립자가 혼합된 기능성 폴리머를 이용한 고감도, 저-히스테리시스 다공성 MIM 타입 용량성 습도 센서 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 (c)에서, 상기 네거티브 포토 레지스트는 두께 4
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제1항에 있어서, (f) 상기 에칭 공정 후에, 일부 TiO2 잔류물(TiO2 residues)이 남아있게 되므로, 상기 TiO2 잔류물 제거 방법은 초음파 처리된 아세톤 액(ultrasonic-treated acetone liquid)이 같은 시간에 TiO2 잔류물(TiO2 residues)과 포토 레지스트(photoresist)를 완전히 제거하는데 사용되는 단계를 더 포함하는, TiO2 미립자가 혼합된 기능성 폴리머를 이용한 고감도, 저-히스테리시스 다공성 MIM 타입 용량성 습도 센서 제조 방법
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제4항에 있어서, (g) 포지티브 포토 레지스트를 40 초 동안 4500rpm 속도로 폴리머 층(polymer layer)의 표면 상으로 회전시키는(spun) 단계를 더 포함하는, TiO2 미립자가 혼합된 기능성 폴리머를 이용한 고감도, 저-히스테리시스 다공성 MIM 타입 용량성 습도 센서 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 다공성 MIM-타입 용량성 습도 센서의 제조 공정에 의해 유리 기판; 상기 유리 기판 위에 형성된 하부 전극; 상기 하부 전극 상에 형성된 기능성 폴리머 습기 감지층; 상기 기능성 폴리머 습기 감지층 상에 형성되고 복수의 구멍들(holes)이 있는 다공성 상부 전극(porous top electrodes)을 포함하는 다공성 금속-절연체-금속(MIM, metal-insulator-metal) 타입 용량성 습도 센서를 생성하며, 상기 다공성 상단 전극들과 TiO2 미립자가 혼합된 기능성 폴리머(functional polymer)를 사용하여 기존 용량성 습도 센서보다 고감도, 저-히스테리시스(high-sensitivity and low-hysteresis) 다공성 MIM 타입 용량성 습도 센서(porous MIM-type capacitive humidity sensor)의 특성을 향상시키는, TiO2 미립자가 혼합된 기능성 폴리머를 이용한 고감도, 저-히스테리시스 다공성 MIM 타입 용량성 습도 센서 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 상부 전극과 상기 하부 전극은 금속(metal)을 사용하는, TiO2 미립자가 혼합된 기능성 폴리머를 이용한 고감도, 저-히스테리시스 다공성 MIM 타입 용량성 습도 센서 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 기능성 폴리머 습기 감지층은 기능성 폴리머 필름(functional polymer film)를 사용하는, TiO2 미립자가 혼합된 기능성 폴리머를 이용한 고감도, 저-히스테리시스 다공성 MIM 타입 용량성 습도 센서 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 기능성 폴리머는 PMDA의 폴리 아미드 산 전구체와 TiO2 미립자가 혼합된 ODA로 형성된 pyromellitic dianhydride(PMDA) - oxydianiline(ODA)로 구성되어 있으며, 이산화 티탄(Titanium dioxide, TiO2)은 습도 검출을 위한 폴리머(polymer)의 히스테리시스 동작(hysteresis behavior) 및 습도 감지 범위(humidity sensing range)를 향상시킬 수 있는 첨가제(additive) 인, TiO2 미립자가 혼합된 기능성 폴리머를 이용한 고감도, 저-히스테리시스 다공성 MIM 타입 용량성 습도 센서 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 용량성 습도 센서의 히스테리시스 값을 감소시키기 위해 TiO2 미립자와 혼합된 기능성 폴리머를 사용하며, 상기 TiO2 미립자와 혼합된 기능성 폴리머는 넓은 습도 감지 범위에서 습도 센서의 저-히스테리시스 특성을 가지는, TiO2 미립자가 혼합된 기능성 폴리머를 이용한 고감도, 저-히스테리시스 다공성 MIM 타입 용량성 습도 센서 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 다공성 상부 전극의 구멍들(holes in the top electrode)은 다수의 구멍들(holes)이 있는 다공성 상부 전극(top electrode with holes)으로써,기존 습도 센서의 홀 직경 보다 더 작은 20 ㎛부터 100 ㎛까지 홀 직경(smaller hole diameter)과 홀들 사이의 간격은 10 ㎛ ~ 50 ㎛로 인접한 홀들 사이의 공간이 작으면(smaller space) 전극 상단에서 홀들이 더 많이 분포하고, 수증기들에 접근하는 표면적을 증가시켜 상기 기능성 폴리머 습도 감지층으로의 수증기들의 확산을 향상시키며, 홀 직경이 20 ㎛이며 인접한 홀들 사이의 공간이 10 ㎛인 습도 센서의 경우, 기존 습도 센서의 감도 보다 더 높은 0
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제6항에 있어서, 상기 다공성 상부 전극은 상기 기능성 폴리머 습기 감지층과 수증기들 사이의 접촉 면적(contact area)을 증가시키도록 설계되며, 상대 습도가 10 %RH에서90 %RH에 이르면, 0
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