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내부에 섬유(fiber)를 함유하는 피검체에 형성된 결함 영역을 검출하기 위한 결함 검출 방법으로서,편광된 테라헤르츠파 - 상기 테라헤르츠파의 파장은 30um 내지 3mm 임 - 를 상기 결함 영역 및 타 영역을 포함하는 상기 피검체에 제1 영역 및 제2 영역을 갖도록 입사시키는 단계; 상기 테라헤르츠파가 입사된 상기 피검체의 상기 제1 영역으로부터 출력되는 제1 반사파 및 상기 제2 영역으로부터 출력되는 제2 반사파를 획득하는 단계; 및상기 획득된 제1 반사파 및 제2 반사파의 시간이 변경되는 특성을 비교하여 상기 피검체의 상기 결함 영역을 검출하는 단계;를 포함하되,상기 제1 반사파 및 제2 반사파의 시간이 변경되는 특성은 상기 피검체의 물질 특성에 의해 변경되며,상기 물질 특성은 밀도 및 상기 테라헤르츠파의 편광 방향과 상기 섬유의 배향의 차이를 포함하고,상기 결함 영역에서의 반사파의 시간 응답은 상기 타 영역에서의 반사파의 시간 응답과 비교하여,상기 결함 영역의 상기 배향이 상기 테라헤르츠파의 편광 방향과 다른 경우, 상기 결함 영역에서의 반사파의 시간 응답이 포함하는 제1 피크, 제2 피크, 또는 변곡점 중 적어도 하나 이상의 검출 시간은 더 빠르고, 상기 결함 영역에서의 반사파의 시간 응답의 세기 값은 작고,상기 결함 영역의 상기 배향이 상기 테라헤르츠파의 편광 방향과 평행한 경우, 상기 결함 영역에서의 반사파의 시간 응답이 포함하는 제1 피크, 제2 피크, 또는 변곡점 중 적어도 하나 이상의 검출 시간은 더 느리고, 상기 결함 영역에서의 반사파의 시간 응답의 세기 값은 작은결함 검출 방법
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제1 항에 있어서,상기 테라헤르츠파는 광원이 펄스형 또는 연속형인결함 검출 방법
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제1 항에 있어서,상기 테라헤르츠파의 광원이 하나 또는 복수인결함 검출 방법
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제1 항에 있어서,상기 결함 영역을 검출하는 단계는상기 획득된 제1 반사파 및 제2 반사파로부터 시간값에 할당되는 상기 반사파의 세기값 데이터를 포함하는 시간 응답을 도출하고, 상기 제1 반사파의 시간 응답과 제2 반사파의 시간 응답의 차이에 기초하여 상기 피검체의 상기 결함 영역을 검출하되,상기 시간 응답은 제1 피크, 제2 피크, 및 변곡점을 포함하는 것을 특징으로 하는결함 검출 방법
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제6 항에 있어서,상기 제1 반사파 및 상기 제2 반사파 중 어느 하나의 반사파의 시간 응답과 비교하여 다른 하나의 반사파의 시간 응답이 포함하는 제1 피크, 제2 피크, 또는 변곡점 중 적어도 하나 이상의 검출 시간은 더 빠르고,상기 다른 하나의 반사파의 시간 응답의 세기값은 큰결함 검출 방법
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제6 항에 있어서,상기 피검체는 미립제를 포함하고, 상기 미립제의 물질 속성에 의해 변경된 상기 피검체의 상기 결함 영역의 물질 속성은 상기 피검체의 상기 타 영역의 물질 속성과 다른결함 검출 방법
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제8 항에 있어서,상기 피검체의 상기 제1 영역 및 제2 영역의 물질 속성에 의해, 상기 제1 반사파의 시간 응답과 상기 제2 반사파의 시간 응답이 다른결함 검출 방법
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제1 항에 있어서,상기 피검체의 상기 섬유(fiber)의 함유량이 증가함에 따라 상기 타 영역에서의 반사파의 시간 응답과 비교하여, 상기 결함 영역의 상기 배향이 상기 테라헤르츠파의 편광 방향과 수직한 경우, 상기 결함 영역에서의 반사파의 시간 응답이 포함하는 제1 피크, 제2 피크, 또는 변곡점 중 적어도 하나 이상의 검출 시간은 더 빨라지고, 상기 반사파의 시간 응답의 세기값은 작아지고,상기 결함 영역의 상기 배향이 상기 테라헤르츠파의 편광 방향과 수평한 경우, 상기 결함 영역에서의 반사파의 시간 응답이 포함하는 제1 피크, 제2 피크, 또는 변곡점 중 적어도 하나 이상의 검출 시간은 더 느려지고, 상기 반사파의 시간 응답의 세기값은 작아지는결함 검출 방법
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제1 항에 있어서,상기 결함 영역을 검출하는 단계는상기 제1 반사파 및 제2 반사파를 획득하여 상기 획득된 제1 반사파 및 제2 반사파에 기초하여 상기 피검체에 관한 영상을 생성하고, 상기 영상에 포함된 결함 영역을 검출하는 것을 특징으로 하는결함 검출 방법
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제13 항에 있어서,상기 피검체의 결함 영역의 물질 특성에 기인한 상기 제1 반사파와 상기 제2 반사파의 특성의 차이에 기초하여 상기 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는결함 검출 방법
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피검체에 형성된 결함 영역을 검출하기 위한 결함 검출 장치로서,테라헤르츠파를 상기 결함 영역 및 타 영역을 포함하는 상기 피검체에 제1 영역 및 제2 영역을 갖도록 입사시키는 테라헤르츠파 출력부;상기 테라헤르츠파가 입사된 상기 피검체의 상기 제1 영역으로부터 출력되는 제1 반사파를 및 상기 제2 영역으로부터 출력되는 제2 반사파를 획득하여 상기 획득된 제1 반사파 및 제2 반사파로부터 시간값에 할당되는 세기값 데이터를 포함하는 시간 응답을 도출하고, 섬유의 배향 방향과 상기 테라헤르츠파의 편광 방향이 다른 경우 반사파의 피검체로부터 출력되는 시간이 빨라지며, 상기 피검체의 섬유의 배향 방향과 상기 테라헤르츠파의 편광 방향이 평행한 경우 반사파의 피검체로부터 출력되는 시간이 느려지는 물질 특성에 따라 반사파의 피검체로부터 출력되는 시간이 변경되는 특성에 기인한 상기 제1 반사파 및 상기 제2 반사파의 시간 응답 차이에 기초하여 상기 피검체의 상기 결함 영역을 검출하는 시간 응답 생성부; 및상기 제1 반사파 및 제2 반사파를 획득하여 상기 피검체의 섬유의 배향 방향과 상기 테라헤르츠파의 편광 방향이 다른 경우 반사파의 피검체로부터 출력되는 시간이 빨라지며, 상기 피검체의 섬유의 배향 방향과 상기 테라헤르츠파의 편광 방향이 평행한 경우 반사파의 피검체로부터 출력되는 시간이 느려지는 물질 특성에 따른 반사파의 피검체로부터 출력되는 시간이 변경되는 특성에 기초하여 상기 피검체에 대한 영상을 생성하고, 상기 영상에 포함된 결함 영역을 검출하는 이미지 생성부;를 포함하는결함 검출 장치
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