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레이저 광의 게인을 얻는 액티브 도파로를 갖는 게인 섹션과, 상기 액티브 도파로와 연결되는 패시브 도파로를 갖는 분포 반사 섹션을 구비한 기판을 포함하되,상기 게인 섹션은:상기 액티브 도파로 아래의 제 1 하부 전극;상기 제 1 하부 전극과 상기 액티브 도파로 사이의 제 1 하부 클래드;상기 액티브 도파로 상에 배치된 제 1 상부 클래드; 상기 제 1 상부 클래드 상에 배치된 제 1 상부 전극;상기 제 1 상부 전극에 연결되는 제 1 패드; 및상기 액티브 도파로 외곽의 상기 제 1 패드와 상기 제 1 하부 클래드 사이에 배치되는 제 1 컬럼을 더 포함하되,상기 분포 반사 섹션은:상기 제 1 하부 클래드에 연결되는 제 2 하부 클래드;상기 제 1 하부 클래드 내에 배치된 격자들;상기 제 1 상부 클래드에 연결되어 상기 패시브 도파로 상에 배치된 제 2 상부 클래드;상기 제 2 상부 클래드 상에 배치되고, 상기 패시브 도파로 내에 전류를 제공하여 상기 레이저 광의 파장을 전기적으로 가변하는 전류 주입 전극; 상기 전류 주입 전극 상에 배치되고, 상기 패시브 도파로를 가열하여 상기 레이저 광의 파장을 열적으로 가변하는 히터 전극;상기 전류 주입 전극 및 히터 전극에 연결된 제 2 패드들; 및상기 패시브 도파로의 외곽상기 제 2 패드들과 상기 제 2 하부 클래드 사이에 배치되는 제 2 컬럼들을 더 포함하되,상기 격자들, 상기 전류 주입 전극, 및 상기 히터 전극은 수직적으로 오버랩(overlapped)되는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 1 항에 있어서,상기 분포 반사 섹션은 상기 제 1 하부 전극에 연결되고, 상기 제 2 하부 클래드 아래에 배치된 제 2 하부 전극을 더 포함하는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 1 항에 있어서,상기 게인 섹션은 상기 제 1 상부 클래드와 상기 전류 주입 전극 사이의 제 1 콘택 전극을 더 포함하되,상기 분포 반사 섹션은 상기 제 2 상부 클래드와 상기 전류 주입 전극 사이의 제 2 콘택 전극을 더 포함하는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 5 항에 있어서,상기 분포 반사 섹션은 상기 전류 주입 전극과 상기 히터 전극 사이의 절연 층을 더 포함하는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 6 항에 있어서,상기 절연 층은 상기 제 1 및 제 2 콘택 전극들 사이에 배치되는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 컬럼들은 벤조사이클로부텐을 포함하는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 상기 게인 섹션과 상기 분포 반사 섹션 사이의 위상 섹션을 더 포함하는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 1 항에 있어서,상기 히터 전극은 직선 모양, 요철 모양, 빗 모양, 또는 메시 모양을 갖는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 InP를 포함하는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 1 항에 있어서,상기 전류는 상기 레이저 광의 파장의 길이를 감소시키는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 13 항에 있어서, 상기 레이저 광의 파장의 길이는 상기 패시브 도파로의 가열에 의해 증가되는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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하부 전극;상기 하부 전극 상에 배치된 하부 클래드;상기 하부 클래드의 일측 내에 배치된 격자들;상기 하부 클래드의 일측 상의 패시브 도파로와 상기 하부 클래드의 타측 상의 액티브 도파로를 포함하는 도파로, 상기 액티브 도파로는 레이저 광을 발생하되;상기 도파로 상의 상부 클래드;상기 상부 클래드의 일측 상에 배치되고, 상기 패시브 도파로 내에 파장가변 전류를 제공하여 상기 레이저 광의 파장을 전기적으로 가변하는 전류 주입 전극;상기 전류 주입 전극 상에 배치된 절연 층;상기 절연 층 상에 배치되고, 상기 상부 클래드, 상기 패시브 도파로, 및 상기 하부 클래드를 가열하여 상기 레이저 광의 파장을 열적으로 가변하는 히터 전극;상기 전류 주입 전극, 및 상기 히터 전극 상에 연결되는 패드들; 및상기 도파로 외곽의 상기 패드들과 상기 하부 클래드 사이에 배치되는 컬럼들을 포함하되,상기 격자들, 상기 전류 주입 전극, 및 상기 히터 전극은 수직적으로 오버랩되는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 15 항에 있어서,상기 하부 전극은 하부 클래드의 타측 아래에 배치되는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 15 항에 있어서,상기 격자들, 상기 전류 주입 전극, 및 상기 히터 전극은 정렬되는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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제 15 항에 있어서,상기 레이저 광의 파장의 길이는 상기 전류에 의해 감소하고, 상기 패시브 도파로의 가열에 의해 증가하는 분포 브라그 반사형 파장가변 레이저 다이오드
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