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멤브레인 필터 평가를 위한 나노입자 및 이를 이용하는 멤브레인 필터 평가방법

  • 기술번호 : KST2018010658
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (i) 코어로 평균직경이 2 - 10 nm인 Pd 나노입자 ; 및 (ii) 쉘로 상기 Pd 나노입자에 공유결합된 겔형성용 분자를 구비한 Pd 코어-쉘 입자를 함유하는 금속 함유 불순물 모사용 조성물 ; 이의 제조방법; 및 이의 포토레지스트 용액의 정제용 멤브레인 필터로서의 용도에 관한 것이다.
Int. CL G01N 15/08 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01)
CPC G01N 15/08(2013.01) G01N 15/08(2013.01) G01N 15/08(2013.01)
출원번호/일자 1020170011218 (2017.01.24)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0087035 (2018.08.01) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.01.24)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김인철 대한민국 대전광역시 유성구
2 안은숙 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0085381-85
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.10.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.12.08 수리 (Accepted) 9-1-2017-0041335-28
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0407034-03
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.08.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0822553-19
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-0822552-63
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-1155690-11
10 등록결정서
Decision to grant		 2018.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0842285-82
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(i) 코어로 평균직경이 2 - 10 nm인 Pd 나노입자 ; 및 (ii) 쉘로 상기 Pd 나노입자에 공유결합된 겔형성용 분자를 구비한 소프트 파티클(soft particle)인 Pd 코어-쉘 입자를 함유하는 금속 함유 불순물 모사용 조성물에 있어서, 상기 금속 함유 불순물 모사용 조성물을 이용하는 금속 함유 불순물 제거 대상은 반도체 공정용 포토레지스트 용액인 것이 특징인 금속 함유 불순물 모사용 조성물
2 2
제1항에 있어서, Pd 코어-쉘 입자는 (iii) 쉘의 겔형성용 분자에 함침된 용매를 더 구비한 Pd 코어-쉘 겔입자인 것이 특징인 금속 함유 불순물 모사용 조성물
3 3
제2항에 있어서, (iii)의 용매는 금속 함유 불순물 제거 대상인 용액 내 용매와 동일하거나 또는 이와 혼화성이 있는 용매인 것이 특징인 금속 함유 불순물 모사용 조성물
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 금속 함유 불순물 제거 대상인 용액 내 용매와 동일한 용매 또는 이와 혼화성이 있는 용매를 더 함유하는 것이 특징인 금속 함유 불순물 모사용 조성물
7 7
필터 평가용 금속 함유 불순물 모사 입자의 제조방법으로서,상기 필터 평가용 금속 함유 불순물 모사 입자는 Pd 코어-쉘 입자이고, 상기 금속 함유 불순물 모사 입자를 이용하는 금속 함유 불순물 제거 대상은 반도체 공정용 포토레지스트 용액이며,Pd 금속과 공유결합할 수 있는 작용기를 구비하고 분산가능한 쉘 형성용 분자 및 환원제를 함유하는 제1용액을 준비하는 제1단계;Pd 제공 전구체를 함유하는 제2용액을 준비하는 제2단계; 및제1용액과 제2용액을 혼합 및 반응시켜, 코어로 평균직경이 2 - 10 nm인 Pd 나노입자; 및 쉘로 상기 Pd 나노입자에 공유결합된 쉘 형성용 분자를 구비한 소프트 파티클(soft particle)인 Pd 코어-쉘 입자를 형성하는 제3단계를 포함하는 것이 특징인 불순물 모사 입자의 제조방법
8 8
제7항에 있어서, 제3단계에 형성된 Pd 코어-쉘 입자를 건조한 후 금속 함유 불순물 제거 대상인 용액 내 용매와 동일하거나 또는 이와 혼화성이 있는 용매에 분산시켜 Pd 코어-쉘 겔입자를 형성하는 제4단계를 더 포함하는 것이 특징인 불순물 모사 입자의 제조방법
9 9
제7항에 있어서, 제1용액의 용매는 금속 함유 불순물 제거 대상인 용액 내 용매와 동일하거나 또는 이와 혼화성이 있는 용매인 것이 불순물 모사 입자의 제조방법
10 10
제1항 내지 제3항 및 제6항 중 어느 한 항에 기재된 금속 함유 불순물 모사용 조성물을 필터에 투과시켜, 소프트 파티클(soft particle)인 Pd 코어-쉘 입자의 제거율을 확인하는 단계를 포함하는, 필터 평가방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국화학연구원 산업핵심기술개발사업 초극성 복합 멤브레인 제조 기술
2 산업통상자원부 효성 산업기술혁신사업 (World Premier Materials 사업) 다기능성 정수처리용 멤브레인 소재 개발