| 1 |
1
금속-유기 화학 기상 증착 방법을 통해,리튬 전구체;포스페이트 전구체; 및산소 전구체와 활성화제로서 물을 이용하여 기판 상에 증착하는 단계를 포함하는 리튬 포스페이트 박막 전해질의 증착 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,리튬 전구체는 리튬 디피발로일메타네이트인 것을 특징으로 하는 리튬 포스페이트 박막 전해질의 증착 방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,포스페이트 전구체는 트리에틸 포스페이트인 것을 특징으로 하는 리튬 포스페이트 박막 전해질의 증착 방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,기판은 종횡비 5:1 이상의 요철패턴을 갖는 삼차원 구조 기판인 것을 특징으로 하는 리튬 포스페이트 박막 전해질의 증착 방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,증착 온도는 300℃ 내지 450℃인 것을 특징으로 하는 리튬 포스페이트 박막 전해질의 증착 방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,증착 단계의 활성 에너지는 10 kJ mole-1 이상인 것을 특징으로 하는 리튬 포스페이트 박막 전해질의 증착 방법
|
| 7 |
7
제1항에 따른 리튬 포스페이트 박막 전해질의 증착 방법에 사용되는 것으로서,증착이 이루어지는 반응 챔버;반응 챔버와 라인을 통해 연결되고, 굴곡 구조의 튜브를 구비한 리튬 전구체 버블러;반응 챔버와 라인을 통해 연결되는 포스페이트 전구체 버블러; 및반응 챔버와 라인을 통해 연결되는 물 버블러를 포함하는 리튬 포스페이트 박막 전해질의 증착 장치
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,튜브는 2개 이상의 굴곡 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 리튬 포스페이트 박막 전해질의 증착 장치
|
| 9 |
9
제7항에 있어서,리튬 전구체 버블러는 유리로 제작된 것을 특징으로 하는 리튬 포스페이트 박막 전해질의 증착 장치
|
| 10 |
10
제7항에 있어서,리튬 전구체 버블러는 가열 매체로서 파라핀 오일을 포함하는 것을 특징으로 하는 리튬 포스페이트 박막 전해질의 증착 장치
|
| 11 |
11
제1항에 따른 리튬 포스페이트 박막 전해질의 증착 방법에 의해 형성되며,종횡비 5:1 이상의 요철패턴을 갖는 삼차원 구조로 이루어지고,40% 이상의 스텝-커버리지를 가지며,리튬 포스페이트 박막의 표면으로부터 1 nm 이상의 깊이에서 탄소 백분율은 5% 이하인 것을 특징으로 하는 리튬 포스페이트 박막
|
| 12 |
12
제11항에 있어서,리튬 포스페이트 박막의 이온 전도도는 1×10-8 S cm-1 이상인 것을 특징으로 하는 리튬 포스페이트 박막
|
| 13 |
13
제11항에 있어서,리튬 포스페이트 박막의 표면으로부터 1 nm 이상의 깊이에서 리튬, 인 및 산소의 백분율은 각각 깊이를 따라 ±10%의 편차를 유지하는 것을 특징으로 하는 리튬 포스페이트 박막
|
| 14 |
14
삭제
|
