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내부에 공간이 형성되고 양단이 폐쇄된 기둥형의 몸체, 상기 몸체 상에 형성되며 개폐 가능한 밸브가 각각 구비되는 유입구 및 배출구를 포함하여 이루어지는 셀타입 용기가 제작되는 용기제작단계, 상기 용기의 길이가 측정되는 길이측정단계를 포함하여 이루어지는 길이확정단계;원료가스의 수분이 제거되는 수분제거단계, 수분이 제거된 원료가스가 분광분석되는 순도분석단계, 순도가 분석된 원료가스가 진공화된 상기 용기의 유입구로 압력이 측정되면서 주입되는 가스주입단계, 상기 용기의 유입구 및 배출구가 폐쇄되는 용기밀폐단계, 원료가스가 주입된 상기 용기의 중량 및 진공 상태의 상기 용기의 중량 차이로 상기 용기 내 원료가스의 중량이 측정되는 중량측정단계, 상기 용기 내 원료가스의 중량 값을 이용하여 농도가 산출되는 농도산출단계를 포함하여 이루어지는 농도확정단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 길이측정단계는,레이저를 이용한 3차원 형상 측정법을 통해 상기 용기의 길이가 측정되는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 셀타입 가스인증표준물질 제조방법은,상기 길이확정단계 및 상기 농도확정단계 사이에,상기 용기가 가열되는 용기가열단계, 가열된 상태에서 상기 용기 내가 진공화되는 용기진공단계, 상기 용기의 유입구 및 배출구가 폐쇄된 후 냉각되는 용기냉각단계를 포함하여 이루어지는 용기준비단계;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 중량측정단계는,복수 개의 용기들 중 선택된 하나의 용기에 미리 결정된 기준가스가 미리 결정된 압력 및 온도 조건 하에 미리 결정된 주입량만큼 주입되어 밀폐됨으로써 기준용기가 제작되는 기준용기제작단계,상기 기준용기 및 진공화된 나머지 용기들의 중량이 측정되는 제1중량측정단계,진공화된 나머지 용기들 각각에 대하여 상기 기준용기 중량 및 진공화된 용기 중량의 차이 값인 제1차값이 산출되는 제1차값산출단계,상기 기준용기 및 원료가스가 주입된 나머지 용기들의 중량이 측정되는 제2중량측정단계,원료가스가 주입된 나머지 용기들 각각에 대하여 상기 기준용기 중량 및 원료가스가 주입된 용기 중량의 차이 값인 제2차값이 산출되는 제2차값산출단계,나머지 용기들 각각에 대하여 제1차값 및 제2차값의 차이 값으로서 주입된 원료가스의 중량이 산출되는 가스중량산출단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 제조방법
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제 4항에 있어서, 상기 중량측정단계는,상부에 측정대상물을 올려놓아 중량을 측정하는 탑-로딩 방식의 저울을 사용하여 중량 측정이 이루어지되, 상기 저울 상에 측정대상물이 놓이는 위치가 일정하게 유지되게 하는 자동로딩장치에 의해 중량 측정이 이루어지는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 제조방법
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제 1항에 따른 셀타입 가스인증표준물질 제조방법을 사용하는 셀타입 가스인증표준물질 제조장치에 있어서,원료가스를 통과시켜 수분을 제거하는 수분제거장치;분석셀을 통과하여 유통되는 대상가스를 분광분석하는 가스분석기;상기 용기 내를 진공화하는 진공펌프;상기 용기 내에 주입되는 원료가스의 압력을 측정하는 압력계;상기 용기의 중량을 측정하는 중량측정장치;상기 용기의 길이를 측정하는 길이측정장치;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 제조장치
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제 6항에 있어서, 상기 중량측정장치는,상부에 측정대상물을 올려놓아 중량을 측정하는 탑-로딩 방식의 저울 및 상기 저울 상에 측정대상물이 놓이는 위치가 일정하게 유지되게 하는 자동로딩장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 제조장치
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제 6항에 있어서, 상기 수분제거장치는,냉동기법 또는 흡습제를 사용하여 수분을 제거하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 제조장치
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제 6항에 있어서, 상기 셀타입 가스인증표준물질 제조장치는,원료가스가 미리 생산되어 수용 보관된 수용탱크 또는 원료가스를 생산하는 제너레이터를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 제조장치
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제 1항에 따른 셀타입 가스인증표준물질 제조방법에 사용되는 셀타입 가스인증표준물질 용기에 있어서,상기 몸체는, 내부에 공간이 형성되는 기둥부와, 상기 기둥부의 양단에 각각 구비되어 폐쇄하는 한 쌍의 윈도우를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 용기
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제 10항에 있어서, 상기 몸체는,상기 몸체의 연장 방향에 대하여 상기 몸체의 양단이 수직하게 형성되는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 용기
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제 11항에 있어서, 상기 몸체는,상기 윈도우에 멀티리플렉션 방지용 코팅이 이루어지는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 용기
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제 10항에 있어서, 상기 몸체는,상기 몸체의 연장 방향에 대하여 상기 몸체의 양단이 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 용기
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제 13항에 있어서, 상기 몸체는,상기 몸체의 연장 방향에 대하여 상기 기둥부의 양단이 경사지게 형성되며,상기 윈도우는 상기 기둥부의 경사진 단면을 폐쇄함으로써 상기 몸체의 연장 방향에 대하여 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 용기
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제 13항에 있어서, 상기 몸체는,상기 몸체의 연장 방향에 대하여 상기 기둥부의 양단이 수직하게 형성되며,상기 윈도우는 상기 기둥부의 수직한 단면을 폐쇄함으로써 상기 몸체의 연장 방향에 대하여 수직하게 배치되고,각각의 상기 윈도우의 외측에 구비되되 상기 윈도우측 면은 수직하게 형성되고 상기 윈도우 반대측 면은 경사지게 형성되는 한 쌍의 프리즘을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 용기
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제 13항에 있어서, 상기 몸체는,양단의 중심부를 통해서만 광의 통과가 가능하도록, 양단의 중심부를 제외한 영역에 코팅이 이루어지는 것을 특징으로 하는 셀타입 가스인증표준물질 용기
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