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Ti와 Cu와 Ni을 포함하며, Ti-X 2원계, Cu-X 2원계, 및 Ni-X 2원계 모두에서 공정점을 형성할 수 있는 제 4 원소(X)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, Ti-Cu-Ni-X 4원계 비정질 합금
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제 1항에 있어서,상기 제 4 원소(X)의 원자 반경은 Ti와 Cu와 Ni 각각의 원자반경과 12% 이상 차이가 나는 것을 특징으로 하는 Ti-Cu-Ni-X 4원계 비정질 합금
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제 1항에 있어서,상기 제 4 원소(X)는 Ti, Cu 및 Ni 과 각각 혼합시 음의 혼합열(Negative heat of mixing)을 가지는 것을 특징으로 하는 Ti-Cu-Ni-X 4원계 비정질 합금
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제 1항에 있어서,상기 제 4 원소(X)는 Si인 것을 특징으로 하는 Ti-Cu-Ni-X 4원계 비정질 합금
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제 4항에 있어서,상기 합금은 원자 %로, Ti: 65~80 %, Cu: 5~20 %, Ni: 5~25 %, Si: 9% 이하(0은 제외)의 조성범위를 가지는 것을 특징으로 하는 Ti-Cu-Ni-X 4원계 비정질 합금
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제 5항에 있어서,상기 합금은 원자 %로, Ti: 65~80 %, Cu: 5~15 %, Ni: 10~20 %, Si: 9% 이하(0은 제외)의 조성범위를 가지는 것을 특징으로 하는 Ti-Cu-Ni-X 4원계 비정질 합금
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제 6항에 있어서,상기 Ti은 Cu 및/또는 Ni과 금속간화합물(Intermetallic compound)을 형성하는 것을 특징으로 하는 Ti-Cu-Ni-X 4원계 비정질 합금
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제 6항에 있어서,상기 Si은 Ti과 타이타늄 실리사이드(Titanium silicide)을 형성하는 것을 특징으로 하는 Ti-Cu-Ni-X 4원계 비정질 합금
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제1항 내지 제8항의 어느 한 항의 Ti-Cu-Ni-X 4원계 조성을 포함하는 스퍼터링 타겟
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제 9항에 있어서, 상기 타겟의 미세조직은 결정질인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟
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제 10항에 있어서, 상기 타겟의 결정립 평균 크기는 0
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제1항 내지 제8항의 어느 한 항의 Ti-Cu-Ni-X 4원계 비정질 합금으로 된 윤활층을 포함하는 것을 특징으로 하는 압축기
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제 12항에 있어서,상기 윤활층은 강재, 주물, 알루미늄이 함유된 합금 및 마그네슘이 함유된 합금 중 적어도 하나를 포함하는 모재에 코팅되는 것을 특징으로 하는 압축기
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