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구조색 필터 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2018011301
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 구조색 필터가 개시된다. 구조색 필터는 기판 상에 배치된 금속층 및 금속층 상에서 제1 방향으로 길게 연장되고 제2 방향으로 서로 이격되게 배치되며 가시광의 파장보다 작은 두께를 갖는 반도체 격자들을 구비한다. 이러한 구조색 필터는 입사광의 입사각도에 영향을 받지 않고 색을 생성할 수 있다.
Int. CL G02B 5/22 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC G02B 5/223(2013.01) G02B 5/223(2013.01)
출원번호/일자 1020170008528 (2017.01.18)
출원인 아주대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0087477 (2018.08.02) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.01.18)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 아주대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박희준 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 이규태 대한민국 서울특별시 동대문구
3 장지윤 대한민국 경기도 의왕시 오전천로

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-0060966-54
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-1138466-12
4 보정요구서
Request for Amendment
2018.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0026161-12
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0041687-65
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0016356-07
7 협의요구서
Request for Consultation
2018.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0125303-43
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0125300-17
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.04.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0402752-58
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0402751-13
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0342184-85
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2018.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-0604304-00
13 법정기간연장승인서
2018.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0094819-19
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0725859-76
15 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.07.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0725860-12
16 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0555113-94
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 배치된 금속층; 및상기 금속층 상에서 제1 방향으로 연장되고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 서로 이격되도록 배치되고, 가시광의 파장보다 작은 서로 동일한 두께를 갖는 반도체 격자들을 포함하고,상기 금속층과 상기 반도체 격자들의 계면들과 상기 반도체 격자들 사이의 영역에 형성되는 상기 금속층과 공기의 계면은 동일 평면 상에 위치하고,상기 반도체 격자들은 상기 금속층의 서로 다른 제1 내지 제3 영역에 각각 배치된 제1 내지 제3 반도체 격자들을 포함하고, 상기 제1 내지 제3 반도체 격자들은 서로 다른 제1 내지 제3 듀티 사이클을 각각 가지고,상기 제1 내지 제3 반도체 격자들은 비정질 실리콘으로 형성되고,상기 제1 듀티 사이클은 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 반도체 격자들은 20nm 이상 60nm 이하의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는, 구조색 필터
3 3
제1항에 있어서, 상기 반도체 격자들은 적색 또는 근적외선 광의 에너지에 대응하는 밴드갭을 갖는 반도체 물질로 형성된 것을 특징으로 하는, 구조색 필터
4 4
제3항에 있어서, 상기 금속층은 알루미늄(Al) 또는 은(Ag)으로 형성되고,상기 반도체 격자들은 비정질 실리콘으로 형성된 것을 특징으로 하는, 구조색 필터
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 제1 반도체 격자들은 상기 제2 방향으로 서로 제1 간격만큼 이격되게 배치되고, 상기 제2 반도체 격자들은 상기 제2 방향으로 서로 제2 간격만큼 이격되게 배치되며, 상기 제3 반도체 격자들은 상기 제2 방향으로 서로 제3 간격만큼 이격되게 배치되는 것을 특징으로 하는, 구조색 필터
7 7
제1항에 있어서, 상기 제1 반도체 격자들 각각은 제1 폭을 갖고, 상기 제2 반도체 격자들 각각은 상기 제1 폭과 다른 제2 폭을 가지며, 상기 제3 반도체 격자들 각각은 상기 제1 및 제2 폭과 다른 제3 폭을 갖는 것을 특징으로 하는, 구조색 필터
8 8
삭제
9 9
제1항에 있어서,상기 반도체 격자들 상부에 배치되어 입사광을 TE(transverse electric) 편광시키는 편광기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 구조색 필터
10 10
제1항에 있어서,상기 반도체 격자들 상부면을 코팅하는 금속코팅층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 구조색 필터
11 11
기판 상에 금속층을 형성하는 단계;상기 금속층 상에 레지스트 박막을 형성하는 단계;나노임프린팅 방법을 통해 상기 레지스트 박막을 패터닝하여, 상기 금속층을 노출시키고 서로 이격된 선형 개구들을 구비하는 레지스트 패턴을 형성하는 단계;상부에 상기 레지스트 패턴이 형성된 상기 금속층 상에 반도체 물질을 가시광의 파장보자 작은 두께로 증착하는 단계; 및상기 레지스트 패턴을 제거하여 상기 선형 개구들에 대응하는 반도체 격자들을 형성하는 단계를 포함하고,상기 선형 개구들은 상기 금속층의 제1 영역 상에 위치하고 제1 폭을 갖는 복수의 제1 선형 개구들, 상기 제1 영역과 다른 상기 금속층의 제2 영역 상에 위치하고 상기 제1 폭과 다른 제2 폭을 갖는 복수의 제2 선형 개구들 및 상기 제1 및 제2 영역과 다른 상기 금속층의 제3 영역 상에 위치하고 상기 제1 및 제2 폭과 다른 제3 폭을 갖는 복수의 제3 선형 개구들을 포함하는 것을 특징으로 하는, 구조색 필터의 제조방법
12 12
제11항에 있어서,상기 레지스트 박막을 패터닝하는 단계는,상기 레지스트 박막에 상기 선형 개구들에 대응하는 선형 돌기들이 형성된 몰드를 압착하여 상기 레지스트 박막에 선형 홈들을 형성하는 단계;경사 도포(angled deposition)의 방법으로 상기 선형 홈들의 측벽에 금속 보호막을 선택적으로 형성하는 단계;반응성 이온 에칭을 통해 상기 선형 홈들의 바닥면을 에칭하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 구조색 필터의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101891913 KR 대한민국 FAMILY
2 US20180203170 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 아주대학교산학협력단 산업핵심기술개발사업 나노임프린트 기반의 투과도 70% / 시야각 70o 이상의대면적 플렉서블 플라즈모닉 컬러필터 및 신개념 저전력디스플레이용 에너지 자가 생성 컬러필터-광전지 이중 기능 소자 원천기술 개발