| 1 |
1
기판의 일측면에 구비되어 리드선 역할을 하는 제 1 전극층과,상기 제 1 전극층에 연결되도록 상기 기판의 일측면에 형성되어 상기 제 1 전극층으로부터 인가되는 전압에 따라 작동 온도로 가열되는 발열층과,상기 제 1 전극층 및 발열층을 보호하기 위해 상기 기판의 일측면에 구비되는 보호층과,상기 기판의 타측면에 구비되어 센싱신호를 도출하는 리드선 역할을 하는 제 2 전극층과,ABO3 형태의 결정구조를 갖는 복합 페로브스카이트 산화물을 이용하여 상기 제 2 전극층과 연결되도록 상기 기판의 타측면에 형성되는 감지층을 포함하며,상기 복합 페로브스카이트 산화물은, GNP 공정(Glycine nitrate process)을 이용하여 합성하되, 질산염 물질 및 글리신을 포함하는 원료를 칭량하고, 상기 글리신의 양을 총 합성할 상기 질산염 물질의 양과 1:1 비율로 혼합용기(Quartz)에 투입 후 교반하여 혼합하되 분말 잔여물을 DI 워터로 씻어가면서 스웨잉 믹싱(swaying mixing)을 실시하며, 300-400℃에서 100-140분 동안 가열을 통해 하소하여 단일상의 합성을 시작하고, 분쇄 후 8-12 bar의 압력과 8-12초 동안의 압축을 통해 성형하여 펠렛(pellet)을 제조하며, 분당 3-5℃의 승온 온도로 온도를 상승시켜 950-1050℃에서 100-140분 동안 열처리하여 상기 단일상의 합성을 수행한 후에, 분쇄하여 100㎛ 크기로 시브(sieve)하는 방식으로 제조되는 복합 페로브스카이트 산화물을 이용한 가스 검출 센서
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 복합 페로브스카이트 산화물은, 상기 ABO3 형태의 결정구조에서 A사이트로 프라세오디뮴(Pr) 및 스트론튬(Sr)을 포함하고, B사이트로 Co를 포함하는 복합 페로브스카이트 산화물을 이용한 가스 검출 센서
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서,상기 복합 페로브스카이트 산화물은, Pr1-xSrxCoO3-d 형태의 결정구조를 가지며, x=0
|
| 4 |
4
제 3 항에 있어서,상기 작동 온도는, 200-300℃의 온도 범위를 갖는 복합 페로브스카이트 산화물을 이용한 가스 검출 센서
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
ABO3 형태의 결정구조를 갖는 복합 페로브스카이트 산화물을 제조하는 단계와,기판의 일측면에 리드선 역할을 하는 제 1 전극층을 형성하는 단계와,상기 제 1 전극층에 연결되도록 상기 기판의 일측면에 상기 제 1 전극층으로부터 인가되는 전압에 따라 작동 온도로 가열되는 발열층을 형성하는 단계와,상기 제 1 전극층 및 발열층을 보호하기 위해 상기 기판의 일측면에 보호층을 형성하는 단계와,상기 기판의 타측면에 센싱신호를 도출하는 리드선 역할을 하는 제 2 전극층을 형성하는 단계와,상기 복합 페로브스카이트 산화물을 이용하여 상기 제 2 전극층과 연결되도록 상기 기판의 타측면에 감지층을 형성하는 단계를 포함하며,상기 복합 페로브스카이트 산화물을 제조하는 단계는, GNP 공정(Glycine nitrate process)을 이용하여 합성하되, 질산염 물질 및 글리신을 포함하는 원료를 칭량하고, 상기 글리신의 양을 총 합성할 상기 질산염 물질의 양과 1:1 비율로 혼합용기(Quartz)에 투입 후 교반하여 혼합하되 분말 잔여물을 DI 워터로 씻어가면서 스웨잉 믹싱(swaying mixing)을 실시하며, 300-400℃에서 100-140분 동안 가열을 통해 하소하여 단일상의 합성을 시작하고, 분쇄 후 8-12 bar의 압력과 8-12초 동안의 압축을 통해 성형하여 펠렛(pellet)을 제조하며, 분당 3-5℃의 승온 온도로 온도를 상승시켜 950-1050℃에서 100-140분 동안 열처리하여 상기 단일상의 합성을 수행한 후에, 분쇄하여 100㎛ 크기로 시브(sieve)하는 방식으로 제조되는 복합 페로브스카이트 산화물을 이용한 가스 검출 센서의 제조 방법
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
삭제
|
| 10 |
10
제 7 항에 있어서,상기 복합 페로브스카이트 산화물은, 상기 ABO3 형태의 결정구조에서 A사이트로 프라세오디뮴(Pr) 및 스트론튬(Sr)을 포함하고, B사이트로 Co를 포함하는 복합 페로브스카이트 산화물을 이용한 가스 검출 센서의 제조 방법
|
| 11 |
11
제 10 항에 있어서,상기 복합 페로브스카이트 산화물은, Pr1-xSrxCoO3-d 형태의 결정구조를 가지며, x=0
|
| 12 |
12
제 7 항에 있어서,상기 작동 온도는, 200-300℃의 온도 범위를 갖는 복합 페로브스카이트 산화물을 이용한 가스 검출 센서의 제조 방법
|
