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감광성 재료를 활용한 미세 구조물 제작 방법

  • 기술번호 : KST2018011620
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속 선재에 감광성 재료를 코팅하고, 금속 선재를 일정한 속도로 회전시키면서 광원을 이동시키며 빛을 조사하여 나선형의 패턴을 형성하고, 패턴이 형성된 영역의 감광성 재료를 제거하고, 감광성 재료가 제거된 영역에 패턴에 따라 금속 재료를 도금하고, 금속 재료가 도금되지 않은 영역의 감광성 재료를 제거하고, 금속 선재를 분리하여 미세 구조물을 획득하는 미세 구조물 제작 방법이 개시된다.
Int. CL G03F 7/26 (2006.01.01) G03F 7/16 (2006.01.01) G03F 7/11 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC G03F 7/26(2013.01) G03F 7/26(2013.01) G03F 7/26(2013.01) G03F 7/26(2013.01) G03F 7/26(2013.01)
출원번호/일자 1020170019391 (2017.02.13)
출원인 호서대학교 산학협력단, (주)마이크로컨텍솔루션
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0093384 (2018.08.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.02.13)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시
2 (주)마이크로컨텍솔루션 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 배병성 대한민국 경기도 수원시 팔달구
2 위성엽 대한민국 충청남도 천안시 동남구
3 나지원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
4 이종모 대한민국 충청남도 천안시 동남구
5 황상호 대한민국 충청남도 천안시 서북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 피씨알 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***, **층(삼성동, 송암빌딩*)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-0145620-99
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.09.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.11.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0036662-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0874094-17
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0152079-96
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.03.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0251236-13
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.03.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-0251235-67
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.07.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0484132-18
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-0923087-24
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.09.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0923088-70
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0831852-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-0045360-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
감광성 재료를 이용하여 미세 구조물을 제작하는 방법에 있어서,단면이 원형인 금속 선재에 감광성 재료를 코팅하는 단계;상기 감광성 재료가 코팅된 금속 선재를 일정한 속도로 회전시키면서 광원으로부터 상기 감광성 재료의 일부 영역에 빛을 조사하여 패턴을 형성하는 단계;현상 과정을 통해서 상기 패턴이 형성된 영역의 감광성 재료를 제거하는 단계;상기 감광성 재료가 제거된 영역에 상기 패턴에 따라 금속 재료를 도금하는 단계;상기 금속 재료가 도금되지 않은 영역의 감광성 재료를 제거하는 단계; 및상기 도금된 구조체로부터 상기 금속 선재를 분리하여 미세 구조물을 획득하는 단계를 포함하고, 상기 광원은 상기 금속 선재의 회전과 동시에 상기 금속 선재가 배치된 방향을 따라 이동하며, 상기 금속 선재의 회전과 상기 광원의 이동에 따라 상기 금속 선재 상에 상기 나선형으로 형성되는 것인, 미세 구조물 제작 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 코팅하는 단계는 상기 금속 선재의 일측 단부를 지그로 파지한 채로 감광성 용액으로부터 회전시키며 꺼냄으로써 수행되는 것인, 미세 구조물 제작 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 패턴을 형성하는 단계는 상기 금속 선재의 일측 단부를 지그로 파지하고 상기 금속 선재의 반대측 단부를 하단 추로 파지한 채로 상기 지그와 상기 하단 추를 회전시키는 단계를 포함하고, 상기 지그와 상기 하단 추는 상기 금속 선재가 수직방향으로 일직선으로 배치되도록 상기 양측 단부를 각각 파지하는 것인, 미세 구조물 제작 방법
4 4
제3항에 있어서,상기 지그와 상기 하단 추의 회전에 따라 상기 금속 선재가 회전하면, 상기 광원은 상기 금속 선재를 따라 수직 상하 방향으로 이동하며 빛을 조사하는 것인, 미세 구조물 제작 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 미세 구조물은 상기 도금된 구조체를 절단함으로써 얻어지는 것인, 미세 구조물 제작 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 호서대학교 산학협력단 산학협력 선도대학(LINC) 육성사업 반도체 검사용 소켓 미세화 연구