| 1 |
1
웨이퍼(200)를 삽입하여 움직이지 않도록 고정시킬 수 있으며, 상기 웨이퍼(200)에 흠집인 실선을 내기 위해 다이아몬드 팁이 이동할 수 있는 가이드라인(121)이 형성된 웨이퍼 흠집용 가이드라인이 형성된 틀(100)로써, 상기 웨이퍼 흠집용 가이드라인이 형성된 틀(100)은 상면 중심에 웨이퍼(200)를 삽입할 수 있는 웨이퍼 삽입홈(111)이 형성된 원형의 아래판(110)과; 상기 아래판(110)의 웨이퍼 삽입홈(111)에 삽입된 웨이퍼(200)에 흠집을 내기위해 전후방향으로 다이아몬드 팁이 이동할 수 있도록 다수 개의 가이드라인(121)이 형성되는 원형의 윗판(120); 으로 이루어지는 웨이퍼 흠집용 가이드라인이 형성된 틀에 있어서,상기 윗판(120)과 아랫판(110)은 볼트(112) 및 너트(130)를 통해 서로 결합할 수 있는 것으로, 상기 아래판(110)에는 웨이퍼 삽입홈(111)이 형성되지 않은 상면 가장자리를 따라 각각이 상부로 돌출되는 다수 개의 볼트(112)가 형성되고, 상기 윗판(120)에는 아래판(110)의 상부로 돌출된 각각의 볼트(112)에 대응되도록 동일개수만큼 상하면을 관통하는 관통홀(122)이 형성되고, 상기 아래판(110)의 다수 개의 볼트(112)가 각각 대응되는 윗판(120)의 관통홀(122)을 관통한 상태에서, 각각의 볼트(112)에 동일 개수의 너트(130)를 체결하여 아래판(110)과 윗판(120)을 결합할 수 있는 것이며,상기 웨이퍼(200)를 사각형 형상의 웨이퍼 조각이 되기 위해서는 가로로도 흠집을 내야 하는 것으로, 상기 아래판(110)의 상면에는 가장자리를 따라 원의 중심으로부터 90˚만큼 동일하게 이격된 위치에 각각의 볼트(112)가 형성되고, 상기 아래판(110)의 각각의 볼트(112)가 삽입되어 결합될 수 있도록 윗판(120)에도 원의 중심으로부터 90˚만큼 동일하게 이격된 위치에 각각 상하를 관통하는 관통홀(122)이 형성되되,상기 윗판(120)은 아래판(110)에 결합할 시 90˚만큼 회전시켜 결합할 수 있어 윗판(120)이 회전됨에 따라 다수 개의 가이드라인(121)도 좌우방향으로 길게 되도록 회전되며, 상기 윗판(120)을 90˚만큼 시계반대방향으로 회전시켜 결합하면 가이드라인(121)이 가로방향이 되고, 상기 가로방향으로 회전된 가이드라인(121)에 다이아몬드 팁을 다시 삽입하여 흠집을 내면 웨이퍼(200)는 다수 개의 웨이퍼 조각으로 분리되기 전에 분리 되어질 실선을 형성하는 것이며,상기 윗판(120)의 하면에는 고무링(123)이 부착되어 윗판(120)과 아래판(110)이 결합할 시, 고무링(123)이 아래판(110)의 웨이퍼 삽입홈(111)에 삽입된 웨이퍼(200)를 움직이지 않도록 고정하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 흠집용 가이드라인이 형성된 틀
|
