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폐공간으로 이루어지며, 기준 압력센서와, 피교정 압력센서가 장착되는, 챔버;챔버의 온도를 측정하는, 온도센서;제1밸브(51)를 구비한 진공펌프(60)와, 외부 공기의 유입 정도를 조절하는 제2밸브(52)를 포함하되, 챔버의 일측에서, 상단에 제1밸브(51)를 구비한 진공펌프(60)가 연결되고, 챔버의 다른 일측에는 제2밸브(52)가 장착되며, 연산처리부로부터 수신된 챔버내 압력제어신호에 따라 제1밸브, 제2밸브 및 진공펌프를 조절함에 의해, 챔버의 압력을 조절하는, 압력 조절수단;챔버내 압력을 달리하는 챔버내 압력제어신호를 생성하여 압력 조절수단으로 전송하여, 챔버내 압력을 달리하여 검출된, 기준압력센서의 출력신호와, 피교정 압력센서의 출력신호와, 온도센서의 출력신호인 온도신호를 수신하고, 기준압력센서 출력신호, 피교정 압력센서 출력신호, 온도신호를 이용하여, 피교정 압력센서를 교정하는 교정식을 생성하는 연산처리부;를 포함하여 이루어지며,연산처리부는, 피교정 압력센서 출력신호를 변수로 하는 3차원 다항식을, 교정된 피교정 압력센서 출력 신호의 추정식으로 하고, 최소제곱법에 근거하여, 기준 압력센서 출력신호와 상기 추정식의 잔차의 제곱의 합이 최소가 되게 하는 3차원 다항식의 계수를 구하고, 구하여진 3차원 다항식의 계수를 적용한 상기 추정식을, 교정된 피교정 압력센서 출력신호의 교정식으로 하며, 연산처리부는 피교정 압력센서의 출력신호를 x 라 하고, 교정된 피교정 압력센서 출력 신호(u(x))의 추정식을 u(x)=a+bx+cx2+dx3 (단, a, b, c, d는 계수로 실수임) 라 할때, 최소제곱법에 근거하여 기준 압력센서 출력신호와 상기 추정식의 잔차의 제곱의 합이 최소가 되게 하는 3차원 다항식의 계수( a, b, c, d)를 구하고, 구하여진 3차원 다항식의 계수를 적용한 상기 추정식을, 피교정 압력센서 출력신호의 교정식으로 하는 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템
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교정을 받고자 하는 압력센서로, 챔버에 장착되는, 피교정 압력센서;피교정 압력센서의 교정기준을 제공하기 위한 수단으로, 챔버에 장착되는, 기준 압력센서;챔버의 온도를 측정하는, 온도센서;제1밸브(51)를 구비한 진공펌프(60)와, 외부 공기의 유입 정도를 조절하는 제2밸브(52)를 포함하되, 챔버의 일측에서, 상단에 제1밸브(51)를 구비한 진공펌프(60)가 연결되고, 챔버의 다른 일측에는 제2밸브(52)가 장착되며, 연산처리부로부터 수신된 챔버내 압력제어신호에 따라 제1밸브, 제2밸브 및 진공펌프를 조절함에 의해, 챔버의 압력을 조절하는, 압력 조절수단;챔버의 온도조절을 위해, 연산처리부로부터 챔버내 온도제어신호를 수신한 히터제어부에 의해 구동되어 챔버를 가온하는, 히터;챔버내 압력을 달리하는 챔버내 압력제어신호를 생성하여 압력 조절수단으로 전송하며, 챔버내 온도를 달리하는 챔버내 온도제어신호를 생성하여 히터제어부로 전송하여, 챔버내 온도와 압력을 달리하여 검출된, 기준압력센서의 출력신호와, 피교정 압력센서의 출력신호와, 온도센서의 출력신호인 온도신호를 수신하고, 기준압력센서 출력신호, 피교정 압력센서 출력신호, 온도신호를 이용하여, 피교정 압력센서를 교정하는 교정식을 생성하는 연산처리부;를 포함하여 이루어지며,연산처리부는, 피교정 압력센서 출력신호를 변수로 하는 3차원 다항식을, 교정된 피교정 압력센서 출력 신호의 추정식으로 하고, 최소제곱법에 근거하여, 기준 압력센서 출력신호와 상기 추정식의 잔차의 제곱의 합이 최소가 되게 하는 3차원 다항식의 계수를 구하고, 구하여진 3차원 다항식의 계수를 적용한 상기 추정식을, 교정된 피교정 압력센서 출력신호의 교정식으로 하며,연산처리부는 온도센서로부터 수신된 온도신호를 x1 이고, 피교정센서 출력신호를 x2 이고, 3차원 다항식으로 나타낸 교정된 피교정 압력센서 출력 신호(u(x1,x2))의 추정식을 (단, β0, β1, β2, β3, β4 는 계수로 실수임) 라 할때, 최소제곱법에 근거하여 기준 압력센서 출력신호와 상기 추정식의 잔차의 제곱의 합이 최소가 되게 하는 3차원 다항식의 계수(β0, β1, β2, β3, β4 )를 구하고, 구하여진 3차원 다항식의 계수를 적용한 상기 추정식을, 피교정 압력센서 출력신호의 교정식으로 하는 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템
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제1항 또는 제2항에 있어서,연산처리부는, 기준압력센서의 출력신호와, 피교정 압력센서의 출력신호와, 온도센서의 출력값인 온도신호를, 커브피팅(Curve Fitting)기반의 알고리즘에 적용하여 교정식을 구하는 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템
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제1항 또는 제2항에 있어서,제1밸브는 열리고, 제2밸브는 닫힌 상태에서 진공펌프가 구동되어, 챔버내를 진공으로 만들며, 제1밸브가 닫힌상태에서, 제2밸브를 열어, 챔버내 압력을 가압하도록 하는 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템
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제2항에 있어서,연산처리부는, 기준 압력센서 출력신호와 상기 추정식의 잔차의 제곱의 합을 나타내는 회귀식을, 3차원 다항식의 계수로 편미분하고, 편미분된 상기 회귀식을 0로 하여, 3차원 다항식의 계수를 구하고, 구하여진 3차원 다항식의 계수를 적용한 상기 추정식을, 피교정 압력센서 출력신호의 교정식으로 하는 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템
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제6항에 있어서,교정된 피교정 압력센서 출력 신호(u(x1,x2))의 추정식에서, x1을 X1으로, x2를 X2로, (x2)2을 X3으로, (x2)3 을 X4 로 치환하고, X1, X2, X3, X4 에 의해 형성된 행렬을 X라하고, 3차 다항식의 계수인 β0, β1, β2, β3, β4 에 의해 형성된 행렬을 β라하고, 기준센서 압력값을 Y 로 치환하고, 첫번째 검출된 기준 압력센서 출력 신호 Y1에서부터 n번째 검출된 기준 압력센서 출력 신호 Yn까지로 형성된 행렬을 y라고 할때
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제1항 또는 제2항에 있어서, 제1밸브는, 진공펌프(60)의 흡기구에 장착된 밸브인 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템
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제1항에 있어서,챔버의 온도조절을 위해, 챔버를 가온하는 히터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 압력 센서 교정 관리 시스템
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제1항에 있어서, 기준 압력센서 출력신호(fi)와 상기 추정식의 잔차의 제곱의 합(Sr)은(단, N은 피교정 압력센서의 출력신호 개수 또는 챔버내 압력의 변경회수)이고, 기준 압력센서 출력신호(fi)와 상기 추정식의 잔차의 제곱의 합(Sr)을, 3차원 다항식의 각 계수( a, b, c, d)에 의해 편미분한 것을 0 으로하여, 3차원 다항식의 계수( a, b, c, d)를 구하고, 구하여진 3차원 다항식의 계수( a, b, c, d)를 적용한 상기 추정식을, 피교정 압력센서 출력신호의 교정식으로 하는 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템
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제3항에 있어서,사용자가 측정모드를 선택하도록 이루어진 키입력부를 더 구비하며,선택된 측정모드에 따라 챔버내 압력의 변경회수가 달라지며, 챔버내 압력의 변경회수가 달라짐에 따라
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제13항에 있어서,제1측정모드(Fast Mode)는, 피교정압력센서의 출력값 개수, 기준압력센서 출력값 개수, 압력을 변경하는 횟수가 각각 50이고,제2측정모드(Normal Mode)는 피교정압력센서의 출력값 개수, 기준압력센서 출력값 개수, 압력을 변경하는 횟수가 각각 70이고,제3측정모드(Accurate Mode)는 피교정압력센서의 출력값 개수, 기준압력센서 출력값 개수, 압력을 변경하는 횟수가 각각 90인 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템
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폐공간으로 이루어지며, 기준 압력센서와, 피교정 압력센서가 장착되는, 챔버; 챔버의 온도를 측정하는, 온도센서; 제1밸브(51)를 구비한 진공펌프(60)와, 외부 공기의 유입 정도를 조절하는 제2밸브(52)를 포함하되, 챔버의 일측에서, 상단에 제1밸브(51)를 구비한 진공펌프(60)가 연결되고, 챔버의 다른 일측에는 제2밸브(52)가 장착되며, 연산처리부로부터 수신된 챔버내 압력제어신호에 따라 제1밸브, 제2밸브 및 진공펌프를 조절함에 의해, 챔버의 압력을 조절하는, 압력 조절수단; 연산처리부로부터 챔버내 온도제어신호를 수신한 히터제어부에 의해 구동되어 챔버를 가온하는 히터; 챔버내 온도와 압력을 달리하여 검출된, 기준 압력센서, 피교정 압력센서 및 온도센서의 출력신호들을 수신하여, 피교정 압력센서를 교정하는 교정식을 생성하는 연산처리부를 포함하는 압력 센서 교정 관리 시스템의 구동방법에 있어서,연산처리부는 챔버내 온도제어신호를 생성하여 히터제어부로 전송하여, 히터가 구동되게 하는, 히터 구동단계; 연산처리부는 챔버내를 진공으로 하는 압력제어신호를 압력제어부로 전송하여, 압력제어부는, 소정 시간동안, 제1밸브를 열고, 진공펌프를 구동하게 하는, 진공펌프 구동단계;진공펌프 구동단계 후, 기준 압력센서, 피교정 압력센서, 온도센서로부터 검출된 기준 압력센서 출력신호, 피교정 압력센서 출력신호, 온도 신호를 연산처리부가 수신하는, 제1 신호검출 단계;제1 신호검출 단계 후, 연산처리부는 제1 신호검출 단계에서 수신된 기준 압력센서 출력신호 또는 피교정 압력센서 출력신호로부터 챔버내 압력이 1 torr 미만인지 여부를 판단하고, 챔버내 압력이 1 torr 미만이 아니라면 진공펌프 구동단계로 되돌아가는, 진공여부 판단단계;진공여부 판단단계에서 챔버내 압력이 1 torr보다 작으면, 연산처리부는 진공펌프의 구동 및 히터의 구동을 종료하게 하는, 진공펌프 구동종료단계;연산처리부는 챔버내 압력을 소정치만큼 가압하기 위한 압력제어신호를 생성하여 압력제어부로 전송하며, 압력제어부는 제2밸브를 소정시간 동안 열어 챔버내로 공기가 유입되게 함으로써, 챔버내를 가압하는, 가압단계; 가압단계 후, 기준 압력센서, 피교정 압력센서, 온도센서로부터 검출된 기준 압력센서 출력신호, 피교정 압력센서 출력신호, 온도 신호를 연산처리부가 수신하는, 제2 신호검출 단계;제2 신호검출 단계 후, 기 설정된 설정 데이터수와, 검출된 피교정 압력센서의 출력값 수인, 검출 데이터수를, 연산처리부가 비교하여, 설정 데이터수보다 검출 데이터수가, 크거나 같지 않다면, 가압단계로 되돌아가는, 검출 데이터수와 설정 데이터수의 비교단계;검출 데이터수와 설정 데이터수의 비교단계에서, 설정 데이터수보다 검출된 데이터수가 크거나 같다면, 제1 신호검출 단계와 제2 신호검출 단계에서 검출된, 기준 압력센서 출력신호, 피교정 압력센서 출력신호, 온도 신호를 이용하여 회귀분석을 행하여, 교정된 피교정 압력센서의 출력신호에 대한 교정식을 생성하는, 회귀분석단계;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템의 구동방법
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제15항에 있어서,히터 구동단계로부터 진공펌프 구동종료단계까지는, 챔버내 기압(압력)이 점차 내려가면서, 히터에 의해 챔버내 온도는 점차 올라가는 상태인 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템의 구동방법
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제15항에 있어서,가압단계로부터, 검출 데이터수와 설정 데이터수의 비교단계까지는, 히터가 꺼진 상태로서 챔버 내의 온도는 점차 내려가면서, 기압(압력)은 점차 올라가는 상태인 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템의 구동방법
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제15항에 있어서, 회귀분석단계에서, 연산처리부는 온도센서로부터 수신된 온도신호를 x1 이고, 피교정센서 출력신호를 x2 이고, 3차원 다항식으로 나타낸 교정된 피교정 압력센서 출력 신호(u(x1,x2))의 추정식을 (단, β0, β1, β2, β3, β4 는 계수로 실수임) 라 할때, 최소제곱법에 근거하여 기준 압력센서 출력신호와 상기 추정식의 잔차의 제곱의 합이 최소가 되게 하는 3차원 다항식의 계수(β0, β1, β2, β3, β4 )를 구하고, 구하여진 3차원 다항식의 계수를 적용한 상기 추정식을, 피교정 압력센서 출력신호의 교정식으로 하는 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템의 구동방법
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제21항에 있어서,연산처리부는, 피교정 압력센서 출력신호의 교정식을 구함에 있어서,기준 압력센서 출력신호와 상기 추정식의 잔차의 제곱의 합을 나타내는 회귀식을, 3차원 다항식의 계수로 편미분하고, 편미분된 상기 회귀식을 0로 하여, 3차원 다항식의 계수를 구하고, 구하여진 3차원 다항식의 계수를 적용한 상기 추정식을, 피교정 압력센서 출력신호의 교정식으로 하는 것을 특징으로 하는, 압력 센서 교정 관리 시스템의 구동방법
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제22항에 있어서,교정된 피교정 압력센서 출력 신호(u(x1,x2))의 추정식에서, x1을 X1으로, x2를 X2로, (x2)2을 X3으로, (x2)3 을 X4 로 치환하고, X1, X2, X3, X4 에 의해 형성된 행렬을 X라하고, 3차 다항식의 계수인 β1, β2, β3, β4 에 의해 형성된 행렬을 β라하고, 기준센서 압력값을 Y 로 치환하고, 첫번째 검출된 기준 압력센서 출력 신호 Y1에서부터 n번째 검출된 기준 압력센서 출력 신호 Yn까지로 형성된 행렬을 y라고 할때
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