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절연막 제조 방법

  • 기술번호 : KST2018011827
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 절연막 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 2종의 물질을 포함하는 단일 전구체 소스를 사용하여 하나의 반응기 내에서 상기 2종의 물질 중 적어도 하나로 기판 상에 적어도 하나의 절연막을 형성하는 절연막 제조 방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020180095285 (2018.08.16)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0095480 (2018.08.27) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2016-0057554 (2016.05.11)
관련 출원번호 1020160057554
심사청구여부/일자 Y (2018.08.16)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최경근 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2018.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-0807081-63
2 등록결정서
Decision to grant		 2018.10.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0677743-65
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
1 1
하나의 반응기 내에서 단일 전구체 소스인 1,3-di-isopropyl-1,3,2-diazasilolidine를 사용하여, 기판 상에 조성이 상이한 제1 절연막과 제2 절연막을 적층 형성하는 방법으로,상기 제1 절연막과 제2 절연막은 SiOx(0
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 절연막은 SiOx(0
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020170127594 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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