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기판; 상기 기판 상에 배치된 디스크; 및상기 디스크 상에 제공되고, 상기 디스크와 화학적으로 결합하는 유기층을 포함하는 가스 센서
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제 1항에 있어서, 상기 디스크는 반도체층 및 상기 반도체층 상의 산화물층을 포함하고, 상기 유기층은 상기 산화물층과 공유 결합하는 가스 센서
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제 2항에 있어서, 상기 유기층은 자기 조립 단분자막을 포함하는 가스 센서
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제 3항에 있어서, 상기 유기층은 아래의 화학식 2a 내지 화학식 2c으로 표시된 물질 중에서 어느 하나를 포함하는 가스 센서
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제 1항에 있어서,상기 유기층은 폴리머를 포함하는 가스 센서
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제 5항에 있어서, 상기 폴리머는 메타크릴레이트(methacarylate)계 폴리머, 아크릴레이트(acrylate)계 폴리머 및 스타이렌(styrene)계 폴리머 중에서 어느 하나를 포함하는 가스 센서
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7
제 1항에 있어서, 상기 디스크는 반도체층, 상기 반도체층의 측면 상의 산화물층, 및 상기 반도체층의 상면 상의 금속층을 포함하고, 상기 유기층은 상기 산화물층 상에 제공되고, 상기 금속층을 노출시키는 가스 센서
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8
디스크가 형성된 기판을 준비하되, 상기 디스크는 반도체층 및 상기 반도체층 상의 산화물층을 포함하고; 및상기 산화물층 상에 유기층을 형성하는 것을 포함하고, 상기 유기층은 상기 산화물층과 화학적으로 결합된 가스 센서 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 유기층은 상기 산화물층과 공유결합하는 가스 센서 제조 방법
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제 8항에 있어서,상기 산화물층은 OH 그룹을 포함하고, 상기 유기층을 형성하는 것은 반응 분자를 상기 산화물층의 상기 OH 그룹과 반응시켜, 단분자막을 형성하는 것을 포함하는 가스 센서 제조 방법
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제 8항에 있어서,상기 산화물층은 OH 그룹을 포함하고, 상기 유기층을 형성하는 것은: 개시제를 상기 산화물층의 상기 OH 그룹과 반응시켜, 예비 유기물을 형성하는 것; 및모노머를 상기 예비 유기물과 중합반응시켜, 폴리머를 형성하는 것을 포함하는 가스 센서 제조 방법
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제 11항에 있어서, 상기 폴리머는 메타크릴레이트(methacarylate)계 폴리머, 아크릴레이트(acrylate)계 폴리머, 스타이렌(styrene)계 폴리머, 및 폴리디메틸실록산(PDMS) 중에서 적어도 하나를 포함하는 가스 센서 제조 방법
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13
제 8에 있어서, 상기 디스크는 상기 반도체층 상의 금속층을 더 포함하고, 상기 유기층은 상기 금속층 상에 형성되지 않는 가스 센서 제조 방법
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