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고전압 연결 모듈, 튜브 모듈, 및 상기 튜브 모듈이 삽입되는 자기 렌즈 시스템을 포함하고,상기 튜브 모듈은 진공 밀봉 튜브를 포함하고, 상기 진공 밀봉 튜브는:그의 일 단부에 제공되는 캐소드 전극; 상기 캐소드 전극 상의 나노 에미터;타 단부에 제공되는 애노드 전극;상기 캐소드 전극과 상기 애노드 전극 사이에 제공되는 제 1 절연 스페이서;상기 캐소드 전극과 상기 애노드 전극 사이에 제공되고 상기 제 1 절연 스페이서에 의하여 서로 분리되는 제 1 도전 튜브 및 제 2 도전 튜브; 및상기 제 1 절연 스페이서의 내측면을 덮고 제 1 개구를 갖는 제 1 제한 개구 블록을 포함하고,상기 제 1 제한 개구 블록은 상기 제 1 도전 튜브의 내측면을 향하여 돌출되는 플랜지부를 포함하는 엑스선 소스
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 제한 개구 블록은 상기 제 1 도전 튜브와 전기적으로 연결되는 엑스선 소스
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제 1 항에 있어서,상기 자기 렌즈 시스템은 갭 부분을 포함하는 자성 구조체 및 상기 자성 구조체 내의 코일을 포함하고,상기 제 1 제한 개구 블록은 상기 갭 부분 내에 배치되는 엑스선 소스
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제 4 항에 있어서,상기 갭 부분은 상기 자성 구조체의 제 1 면 및 제 2 면에 의하여 정의되고, 상기 제 1 개구와 이어지는 상기 제 1 제한 개구 블록의 내측면과 상기 제 1 면 사이의 거리는 상기 내측면과 상기 제 2 면 사이의 거리와 실질적으로 동일한 엑스선 소스
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제 1 항에 있어서,상기 진공 밀봉 튜브는:상기 제 2 도전 튜브를 사이에 두고 상기 제 1 도전 튜브와 이격되는 제 3 도전 튜브;상기 제 2 도전 튜브와 상기 제 3 도전 튜브를 분리하는 제 2 절연 스페이서; 및상기 제 2 절연 스페이서의 내측면을 덮고 제 2 개구를 갖는 제 2 제한 개구 블록을 더 포함하는 엑스선 소스
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제 6 항에 있어서,상기 제 2 개구의 직경은 상기 제 1 개구의 직경보다 작은 엑스선 소스
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제 1 항에 있어서,상기 고전압 연결 모듈은 제 1 절연 파트를 포함하고, 상기 튜브 모듈은 제 2 절연 파트를 포함하고, 상기 제 1 절연 파트와 상기 제 2 절연 파트는 각각 요철 구조를 포함하는 엑스선 소스
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제 1 항에 있어서,상기 진공 밀봉 튜브는:상기 제 1 도전 튜브와 상기 제 1 절연 스페이서 사이의 제 4 도전 튜브; 상기 제 2 도전 튜브와 상기 제 1 절연 스페이서 사이의 제 5 도전 튜브를 더 포함하는 엑스선 소스
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제 9 항에 있어서,상기 제 4 도전 튜브는 상기 제 1 도전 튜브와 나사 결합되고, 상기 제 5 도전 튜브는 상기 제 2 도전 튜브와 나사 결합되는 엑스선 소스
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제 9 항에 있어서, 상기 제 4 도전 튜브는 제 1 서브 도전 튜브 및 제 2 서브 도전 튜브를 포함하고, 상기 제 2 서브 도전 튜브는 상기 제 1 서브 도전 튜브보다 얇은 엑스선 소스
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캐소드 전극 및 애노드 전극; 상기 캐소드 전극 상의 나노 에미터;상기 캐소드 전극과 상기 애노드 전극 사이에 제공되는 제 1 절연 스페이서;상기 캐소드 전극과 상기 애노드 전극 사이에 제공되고 상기 제 1 절연 스페이서에 의하여 서로 분리되는 제 1 도전 튜브 및 제 2 도전 튜브; 및상기 제 1 절연 스페이서의 내측면을 덮고 상기 제 1 도전 튜브와 전기적으로 연결되며 제 1 개구를 갖는 제 1 제한 개구 블록을 포함하고,상기 제 1 제한 개구 블록은 상기 제 1 도전 튜브의 내측면을 향하여 돌출되는 플랜지부를 포함하는 진공 밀봉 튜브
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제 12 항에 있어서,상기 제 2 도전 튜브를 사이에 두고 상기 제 1 도전 튜브와 이격되는 제 3 도전 튜브;상기 제 2 도전 튜브와 상기 제 3 도전 튜브를 분리하는 제 2 절연 스페이서; 및상기 제 2 절연 스페이서의 내측면을 덮고 상기 제 2 도전 튜브와 전기적으로 연결되며 제 2 개구를 갖는 제 2 제한 개구 블록을 더 포함하는 진공 밀봉 튜브
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