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제 1 전극;상기 제 1 전극 상의 압력 감지부;상기 압력 감지부 상에 배치되고, 그의 상면 상에 제 1 및 제 2 지점을 갖는 제 2 전극;상기 제 2 전극 상의 제 1 탄성 부재; 및상기 제 1 탄성 부재 상의 제 2 탄성 부재를 포함하되,상기 제 1 탄성 부재의 두께는 상기 제 1 지점으로부터 상기 제 2 지점으로 갈수록 작아지고,상기 제 2 탄성 부재의 두께는 상기 제 2 지점으로부터 상기 제 1 지점으로 갈수록 작아지는 압력 감지 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 탄성 부재의 탄성 계수는 상기 제 2 탄성 부재의 탄성 계수보다 큰 압력 감지 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 탄성 부재는 상기 제 2 지점과 오버랩되지 않고,상기 제 2 탄성 부재는 상기 제 1 지점과 오버랩되지 않는 압력 감지 소자
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4 |
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 탄성 부재의 두께 및 상기 제 2 탄성 부재의 두께는 선형으로 변화하는 압력 감지 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 탄성 부재의 두께와 상기 제 2 탄성 부재의 두께의 합은 상기 제 2 전극 상에서 일정한 압력 감지 소자
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6 |
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제 1 항에 있어서,상기 압력 감지부는 압전(piezo-electric) 물질 또는 압저항(piezo resistance) 물질을 포함하는 압력 감지 소자
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7 |
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 탄성 부재 및 상기 제 2 탄성 부재는 탄성 고무를 포함하는 압력 감지 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 탄성 부재 및 상기 제 2 탄성 부재 상에 배치되는 보호층을 더 포함하는 압력 감지 소자
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