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레이저(laser)의 반복률(repetition rate)을 제어하는 장치에 있어서,제1 레이저로부터 출력된 제1 레이저 펄스를 제1 주파수 신호로 변환하여 출력하는 제1 광 검출기(the first photodetector);제2 레이저로부터 출력된 제2 레이저 펄스를 제2 주파수 신호로 변환하여 출력하는 제2 광 검출기(the second photodetector);상기 제1 주파수 신호 중 상기 제1 레이저의 반복률 주파수와 같거나 낮은 주파수 신호를 출력하는 제1 저주파 필터(the first low pass filter(LPF));상기 제2 주파수 신호 중 상기 제2 레이저의 반복률 주파수와 같거나 낮은 주파수 신호를 출력하는 제2 저주파 필터(the second low pass filter(LPF));상기 제1 레이저의 반복률 주파수와 같거나 낮은 주파수 신호 및 상기 제2 레이저의 반복률 주파수와 같거나 낮은 주파수 신호를 혼합하여 제3 주파수 신호를 출력하는 제1 주파수 혼합기(frequency mixer); 및상기 제3 주파수 신호에 기초하여 상기 제2 레이저 펄스의 반복률을 제어하는 컨트롤러(controller)를 포함하는 안정화 장치
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제1항에 있어서,상기 제3 주파수 신호 중 상기 제1 레이저의 반복률 주파수와 상기 제2 레이저의 반복률 주파수의 차이와 같거나 낮은 주파수 신호를 출력하는 제3 저주파 필터(the third low pass filter(LPF))를 더 포함하는 안정화 장치
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제1항에 있어서,기준 주파수(reference frequency) 신호를 생성하는 주파수 생성기; 및상기 제3 주파수 신호와 상기 기준 주파수 신호를 혼합하여 제4 주파수 신호를 출력하는 제2 주파수 혼합기를 더 포함하고,상기 컨트롤러는 제4 주파수 신호에 기초하여 상기 제2 레이저 펄스의 반복률을 제어하는 안정화 장치
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제4항에 있어서,상기 제4 주파수 신호 중 상기 제3 주파수 신호와 상기 기준 주파수 신호의 합과 같거나 낮은 주파수 신호를 출력하는 제4 저주파 필터(the fourth low pass filter(LPF))를 더 포함하는 안정화 장치
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제1항에 있어서,상기 제3 주파수 신호를 전압으로 변환하는 주파수 전압 변환기(frequency to voltage converter)를 더 포함하고,상기 컨트롤러는 상기 전압에 기초하여 상기 제2 레이저 펄스의 반복률을 제어하는 안정화 장치
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7
제1항에 있어서,상기 제1 주파수 신호를 분주하여 분주 주파수 신호를 출력하는 주파수 분주기(frequency divider); 및상기 제3 주파수 신호와 상기 분주 주파수 신호를 혼합하여 제5 주파수 신호를 출력하는 제3 주파수 혼합기를 더 포함하고,상기 컨트롤러는 제5 주파수 신호에 기초하여 상기 제2 레이저 펄스의 반복률을 제어하는 안정화 장치
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제7항에 있어서,상기 제5 주파수 신호 중 상기 제3 주파수 신호와 상기 분주 주파수 신호의 합과 같거나 낮은 주파수 신호를 출력하는 제5 저주파 필터(the fifth low pass filter(LPF))를 더 포함하는 안정화 장치
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9
제1항에 있어서,상기 제1 레이저 펄스 및 상기 제2 레이저 펄스 간의 위상이 일정하도록 상기 제1 레이저 및 상기 제2 레이저를 제어하는 위상 고정 루프(phase locked loop(PLL))를 더 포함하는 안정화 장치
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10
레이저(laser)의 반복률(repetition rate)을 제어하는 방법에 있어서,제1 레이저로부터 출력된 제1 레이저 펄스를 제1 주파수 신호로 변환하는 단계;제2 레이저로부터 출력된 제2 레이저 펄스를 제2 주파수 신호로 변환하는 단계;상기 제1 주파수 신호 중 상기 제1 레이저의 반복률 주파수와 같거나 낮은 주파수 신호를 출력하는 단계;상기 제2 주파수 신호 중 상기 제2 레이저의 반복률 주파수와 같거나 낮은 주파수 신호를 출력하는 단계;상기 제1 레이저의 반복률 주파수와 같거나 낮은 주파수 신호 및 제2 레이저의 반복률 주파수와 같거나 낮은 주파수 신호를 혼합하여 제3 주파수 신호를 출력하는 단계; 및상기 제3 주파수 신호에 기초하여 상기 제2 레이저 펄스의 반복률을 제어하는 단계를 포함하는 안정화 방법
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제10항에 있어서,상기 제3 주파수 신호 중 상기 제1 레이저의 반복률 주파수와 상기 제2 레이저의 반복률 주파수의 차이와 같거나 낮은 주파수 신호를 출력하는 단계를 더 포함하는 안정화 방법
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제10항에 있어서,기준 주파수(reference frequency) 신호를 생성하는 단계; 및상기 제3 주파수 신호와 상기 기준 주파수 신호를 혼합하여 제4 주파수 신호를 출력하는 단계를 더 포함하고,상기 제어하는 단계는,제4 주파수 신호에 기초하여 상기 제2 레이저 펄스의 반복률을 제어하는 단계를 포함하는 안정화 방법
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제13항에 있어서,상기 제4 주파수 신호 중 상기 제3 주파수 신호와 상기 기준 주파수 신호의 합과 같거나 낮은 주파수 신호를 출력하는 단계를 더 포함하는 안정화 방법
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제10항에 있어서,상기 제3 주파수 신호를 전압으로 변환하는 단계를 더 포함하고,상기 제어하는 단계는,상기 전압에 기초하여 상기 제2 레이저 펄스의 반복률을 제어하는 단계를 더 포함하는 안정화 방법
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제10항에 있어서,상기 제1 주파수 신호를 분주하여 분주 주파수 신호를 출력하는 단계; 및상기 제3 주파수 신호와 상기 분주 주파수 신호를 혼합하여 제5 주파수 신호를 출력하는 단계를 더 포함하고,상기 제어하는 단계는,제5 주파수 신호에 기초하여 상기 제2 레이저 펄스의 반복률을 제어하는 단계를 포함하는 안정화 방법
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제16항에 있어서,상기 제5 주파수 신호 중 상기 제3 주파수 신호와 상기 분주 주파수 신호의 합과 같거나 낮은 주파수 신호를 출력하는 단계를 더 포함하는 안정화 방법
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제10항에 있어서,상기 제1 레이저 펄스 및 상기 제2 레이저 펄스 간의 위상이 일정하도록 상기 제1 레이저 및 상기 제2 레이저를 제어하는 단계를 더 포함하는 안정화 방법
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