요약 | 본 발명은 고열전도 질화규소 소결체의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 Si의 완전 질화를 기준으로 xSi3N4-yA2O3-zB2O3(여기서, x, y, z는 mol%이고, x, y, z 003e# 0, A 및 B는 Y, Sc, Nd 및 Yb로 이루어진 그룹 중에서 선택된 희토류 금속)의 조성식을 따르도록 Si, A2O3, 및 B2O3 원료 분말을 배합하는 단계(S10)와, 상기 배합된 원료 분말을 혼합하는 단계(S20)와, 상기 혼합된 원료 분말을 성형하는 단계(S30)와, 상기 성형된 성형체를 질화하는 단계(S40), 및 상기 질화된 성형체를 소결하는 단계(S50)를 포함하는 질화규소 소결체의 제조방법을 제공함으로써, 소결체 내의 산소량을 저감시켜 고열전도도 발현에 유리하도록 하며, 소결 조건을 제어함으로써 열적, 기계적 특성이 우수한 질화규소 소결체를 제공한다. |
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Int. CL | C04B 35/591 (2006.01.01) C04B 35/626 (2006.01.01) |
CPC | C04B 35/591(2013.01) C04B 35/591(2013.01) C04B 35/591(2013.01) C04B 35/591(2013.01) C04B 35/591(2013.01) C04B 35/591(2013.01) C04B 35/591(2013.01) C04B 35/591(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020170024868 (2017.02.24) |
출원인 | 한국기계연구원 |
등록번호/일자 | 10-2052592-0000 (2019.11.29) |
공개번호/일자 | 10-2018-0097987 (2018.09.03) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20191206) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2018.02.13) |
심사청구항수 | 5 |