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광학계의 연마면을 연마하기 위해, 자전운동과 공전운동을 동시에 갖는 연마툴 장치에 있어서, 제1회전축의 일단에 구비되어, 상기 제1회전축을 길이방향 기준으로 회전구동시키는 구동모터;상기 제1회전축 타단에 구비되는 제1기어;중공부가 형성되며, 중공부 중심부에 상기 제1기어가 위치되며, 중공부 내면에 톱니가 구비된 하우징;상기 하우징의 톱니와 상기 제1기어 사이에 위치되는 제1연결기어와, 일단에 상기 제1연결기어가 결합되고 타단에 제2연결기어가 결합되는 연결회전축을 갖는 연결기어단; 상기 제2연결기어와 맞물려 회전되는 제2기어와 상기 제2기어의 회전에 의해 자전되는 연마툴;상기 하우징의 톱니와 상기 제1기어 사이에 위치되는 가이드기어;상기 제1연결기어와 상기 제1기어와 상기 가이드기어를 일렬로 연결시키는 연결부재;상기 제2기어와 상기 연마툴 사이에 구비되는 제2회전축; 및상기 제2연결기어와 상기 제2기어를 감싸도록 구비되어 상기 제2기어를 설정된 위치에 고정시키는 편심조절하우징;을 포함하고, 상기 제1회전축의 구동에 의해 상기 제1회전축을 기준으로 상기 제1연결기어와 상기 가이드기어가 상기 톱니를 따라 회전되며,상기 연결회전축은 제1연결기어가 상기 제1회전축을 기준으로 공전됨과 동시에, 상기 제1연결기어가 제1기어와 상기 톱니에 맞물려 자전되고,상기 제2기어는 설정된 위치에서 제2연결기어와 맞물려 제2회전축의 길이방향 축기준으로 회전되어, 연마툴이 자전되도록 하며,상기 편심조절하우징을 조작하여 상기 제2기어의 설정위치를 변경하여, 제1회전축의 길이방향인 공전축과 상기 제2회전축의 길이방향인 자전축 간의 거리인 편심거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 광학계 연마 자동화 공정을 위한 연마툴 장치
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광학계의 연마면을 연마하기 위한, 제 1항에 따른 광학계 연마 자동화 공정을 위한 연마툴 장치의 작동방법에 있어서, 하우징에 연결된 이동유닛을 통해 연마툴을 초기 위치에 세팅시키는 단계; 제1회전축의 일단에 구비된 구동모터를 구동하여 상기 제1회전축을 길이방향 기준으로 회전구동시키는 단계; 상기 제1회전축의 타단에 구비된 제1기어가 자전되면서, 상기 제1회전축을 기준으로 제1연결기어와 가이드기어가 하우징의 톱니를 따라 회전되는 단계; 제1연결기어가 상기 제1회전축을 기준으로 공전됨과 동시에, 제1연결기어가 제1기어와 톱니에 맞물려 자전되는 단계; 및연결회전축 타단의 제2연결기어와 맞물려 제2기어가 제2회전축을 기준으로 회전되어, 회전축 타단에 결합된 연마툴이 자전되어 상기 연마면을 연마하는 단계를 포함하고,제어부가 상기 구동모터를 제어하여 회전속도를 조절하고, 이동유닛을 제어하여 하우징의 위치를 가변하는 단계를 포함하고, 상기 세팅시키는 단계에서, 편심조절하우징을 조작하여 상기 제2기어의 설정위치를 변경하여, 제1회전축의 길이방향인 공전축과 상기 제2회전축의 길이방향인 자전축 간의 거리인 편심거리를 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계 연마 자동화 공정을 위한 연마툴 장치의 작동방법
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광학계의 연마면을 연마하기 위해, 자전운동과 공전운동을 동시에 갖는 연마툴 장치에 있어서, 공전회전축의 일단에 구비되어, 상기 공전회전축을 길이방향 기준으로 회전구동시키는 제1구동모터와, 상기 공전회전축 타단에 구비되는 제1구동기어와, 상기 제1구동기어의 회전에 의해 맞물려 공전회전축을 기준으로 회전되는 제2구동기어와, 제2구동기어 타면에 결합되는 하우징를 갖는 공전구동부; 및상기 제2구동기어 중심단에 관통된 제1회전축의 일단에 구비되어 상기 제1회전축을 길이방향 기준으로 회전구동시키는 제2구동모터와, 상기 하우징 내에 위치되며 상기 제1회전축 타단에 구비되는 제1기어와, 상기 제1기어와 맞물려 구동되는 제1연결기어와, 일단에 상기 제1연결기어가 결합되고 타단에 제2연결기어가 결합되는 연결회전축과, 상기 제2연결기어와 맞물려 회전되는 제2기어와, 상기 제2기어의 회전에 의해 자전되는 연마툴을 갖는 자전구동부;상기 제2연결기어와 상기 제2기어를 감싸도록 구비되어 상기 제2기어를 설정된 위치에 고정시키는 편심조절하우징; 및상기 제1구동모터를 제어하여 공전속도를 조절하고, 제2구동모터를 제어하여 자전속도를 조절하는 제어부;를 포함하고, 상기 제2구동기어가 상기 공전회전축을 기준으로 회전됨에 따라, 상기 자전구동부가 상기 공전회전축을 기준으로 회전되며,상기 편심조절하우징을 조작하여 상기 제2기어의 설정위치를 변경하여, 상기 공전회전축과 제2회전축의 길이방향인 자전축 간의 거리인 편심거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 광학계 연마 자동화 공정을 위한 연마툴 장치
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광학계의 연마면을 연마하기 위한, 제 10항에 따른 광학계 연마 자동화 공정을 위한 연마툴 장치의 작동방법에 있어서, 제1구동모터 측과 연결된 이동유닛을 통해 연마툴을 초기 위치에 세팅시키는 단계; 공전회전축의 일단에 구비된 제1구동모터가 구동되어, 상기 공전회전축이 길이방향 기준으로 회전구동되어, 상기 공전회전축 타단에 구비되는 제1구동기어가 구동되고, 상기 제1구동기어의 구동에 의해, 제2구동기어와 제2구동기어 타면에 결합되는 하우징이 공전회전축을 기준으로 공전회전하는 단계; 상기 공전회전하는 단계와 동시에, 상기 제2구동기어 중심단에 관통된 제1회전축의 일단에 구비된 제2구동모터가 구동되어 상기 제1회전축이 길이방향 기준으로 회전구동되는 단계; 상기 하우징 내에 위치되며 상기 제1회전축 타단에 구비되는 제1기어가 구동되어, 상기 제1기어와 맞물린 제1연결기어와 연결된 연결회전축이 회전되는 단계; 및연결회전축 타단에 구비된 제2연결기어와 맞물린 제2기어가 회전되어 연마툴이 자전되는 단계;를 포함하고,제어부가 상기 제1구동모터를 제어하여 공전속도를 조절하고, 이동유닛을 제어하여 연마툴의 위치를 가변하고, 상기 제2구동모터를 제어하여 자전속도를 조절하는 단계를 포함하고, 상기 세팅시키는 단계에서, 편심조절하우징을 조작하여 상기 제2기어의 설정위치를 변경하여, 공전회전축의 길이방향인 공전축과 제2회전축의 길이방향인 자전축 간의 거리인 편심거리를 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계 연마 자동화 공정을 위한 연마툴 장치의 작동방법
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