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웨이퍼 상에 온도측정부가 구비된 웨이퍼 센서에 있어서,상기 웨이퍼는 상기 온도측정부가 매립되는 매립홈을 가지고,상기 온도측정부는 상기 매립홈에 매립된 것을 특징으로 하는 매립형 온도측정 웨이퍼 센서
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제1항에 있어서, 상기 온도측정부는 온도센서와 상기 온도센서를 웨이퍼 외부와 연결하는 연결배선을 포함하고,상기 온도센서와 연결배선은 상기 매립홈에 매립된 것을 특징으로 하는 매립형 온도측정 웨이퍼 센서
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제1항에 있어서, 상기 온도측정부는 열전쌍(thermocouple)인 것을 특징으로 하는 매립형 온도측정 웨이퍼 센서
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제1항에 있어서, 상기 온도측정부는 서로 다른 물질로 이루어진 제1연결배선과 제2연결배선; 및 상기 제1연결배선과 제2연결배선이 접점된 접점부;를 가지고, 상기 제1연결배선과 제2연결배선; 및 접점부;는 상기 매립홈에 매립된 것을 특징으로 하는 매립형 온도측정 웨이퍼 센서
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5
제1항에 있어서, 상기 매립홈은 웨이퍼의 최외각 끝까지 형성된 것을 특징으로 하는 매립형 온도측정 웨이퍼 센서
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제1항에 있어서, 상기 매립홈은 내부에 절연층을 가지고, 상기 절연층 위에 온도측정부가 매립된 것을 특징으로 하는 매립형 온도측정 웨이퍼 센서
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7
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼는 상기 온도측정부를 덮는 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 매립형 온도측정 웨이퍼 센서
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8
제1항에 있어서, 상기 온도측정부는 금속물질이 상기 매립홈에 증착된 것을 특징으로 하는 매립형 온도측정 웨이퍼 센서
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제1항에 있어서, 상기 온도측정부는 와이어가 상기 매립홈에 삽입된 것을 특징으로 하는 매립형 온도측정 웨이퍼 센서
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10
제1항에 있어서, 상기 온도측정부는 금속물질로 이루어지고, 상기 금속물질은 구리, 금, 백금, 니켈, 티타늄 및 이것의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 것을 특징으로 하는 매립형 온도측정 웨이퍼 센서
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11
제1항에 있어서, 상기 온도측정부는 2개 이상인 것을 특징으로 하는 매립형 온도측정 웨이퍼 센서
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제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 웨이퍼 센서와,상기 웨이퍼 센서가 올려지는 플레이트를 포함하는 웨이퍼 온도측정 시스템
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웨이퍼 상에 온도측정부가 구비된 웨이퍼 센서의 제조방법에 있어서,상기 웨이퍼 상에 온도측정부를 매립하기 위한 매립홈을 형성하는 단계;상기 형성된 매립홈에 상기 온도측정부를 매립하는 단계; 및상기 온도측정부를 덮는 보호층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 매립형 온도측정 웨이퍼 센서의 제조방법
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