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비원형 실리콘 잉곳 제조 시스템 및 비원형 실리콘 잉곳 제조 방법

  • 기술번호 : KST2018012192
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 4각 기둥형 등 비원형 실리콘 잉곳을 제조할 수 있게 하는 비원형 실리콘 잉곳 제조 시스템에 관한 것으로서, 실리콘 용탕을 수용하는 도가니; 상기 실리콘 용탕으로부터 실리콘 단결정 잉곳을 생성할 수 있도록 시드를 회전시키면서 들어 올리는 결정 성장 장치; 및 상기 잉곳의 측방에 설치되고, 상기 잉곳의 성장을 부분적으로 방해하는 성장 저해 장치;를 포함하고, 상기 성장 저해 장치는, 상기 잉곳이 비원형으로 형성될 수 있도록 상기 잉곳의 둘레 일측방에 고정적으로 배치되고, 상기 잉곳이 제 1 회전 각도일 때, 전력이 인가 또는 강화되어 자기력선이 생성 또는 강화되고, 상기 잉곳이 제 2 회전 각도일 때, 전력이 차단 또는 약화되어 자기력선이 소멸 또는 약화되는 제 1 전자석 프레임; 및 상기 잉곳의 둘레 타측방에 고정적으로 배치되고, 상기 잉곳이 상기 제 1 회전 각도일 때, 전력이 차단 또는 약화되어 자기력선이 소멸 또는 약화되고, 상기 잉곳이 상기 제 2 회전 각도일 때, 전력이 인가 또는 강화되어 자기력선이 생성 또는 강화되는 제 2 전자석 프레임;을 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01.01) H01L 31/036 (2006.01.01) C30B 15/00 (2006.01.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020170022503 (2017.02.20)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1966409-0000 (2019.04.01)
공개번호/일자 10-2018-0096169 (2018.08.29) 문서열기
공고번호/일자 (20190405) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.02.20)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재학 대한민국 대구광역시 수성구
2 조민제 대한민국 경상북도 경산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 경상북도 경산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0175132-67
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.09.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0642594-49
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1151585-32
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.11.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1151586-88
6 등록결정서
Decision to grant
2019.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0210375-26
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.12.07 수리 (Accepted) 4-1-2020-5277862-17
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 용탕을 수용하는 도가니;상기 실리콘 용탕으로부터 실리콘 단결정 잉곳을 생성할 수 있도록 시드를 회전시키면서 들어 올리는 결정 성장 장치; 및상기 잉곳의 측방에 설치되고, 상기 잉곳의 성장을 부분적으로 방해하는 성장 저해 장치;를 포함하고,상기 성장 저해 장치는,상기 잉곳이 비원형으로 형성될 수 있도록 상기 잉곳의 둘레 일측방에 고정적으로 배치되고, 상기 잉곳이 제 1 회전 각도일 때, 전력이 인가 또는 강화되어 자기력선이 생성 또는 강화되고, 상기 잉곳이 제 2 회전 각도일 때, 전력이 차단 또는 약화되어 자기력선이 소멸 또는 약화되는 제 1 전자석 프레임; 및상기 잉곳의 둘레 타측방에 고정적으로 배치되고, 상기 잉곳이 상기 제 1 회전 각도일 때, 전력이 차단 또는 약화되어 자기력선이 소멸 또는 약화되고, 상기 잉곳이 상기 제 2 회전 각도일 때, 전력이 인가 또는 강화되어 자기력선이 생성 또는 강화되는 제 2 전자석 프레임;을 포함하고,상기 제 1 전자석 프레임 및 상기 제 2 전자석 프레임은 상기 잉곳의 회전 각도에 따라 순차적으로 전력이 인가 또는 강화되거나, 순차적으로 전력이 차단 또는 약화되는, 비원형 실리콘 잉곳 제조 시스템
2 2
제 1 항에 있어서,상기 잉곳의 회전 각도를 측정하는 센서; 및상기 센서로부터 회전 각도 신호를 인가받아서 상기 잉곳이 상기 제 1 각도로 판단될 때, 상기 제 1 전자석 프레임에 전력 강화 제어 신호를 인가하고, 상기 제 2 전자석 프레임에 전력 약화 제어 신호를 인가하는 제어부;를 포함하는, 비원형 실리콘 잉곳 제조 시스템
3 3
도가니에 실리콘 용탕을 준비하는 용탕 준비 단계;시드를 회전 및 들어 올리면서 상기 실리콘 용탕으로부터 실리콘 단결정 잉곳을 생성하는 결정 성장 단계; 및상기 잉곳이 비원형을 이루도록 상기 잉곳의 성장을 부분적으로 방해하는 성장 저해 장치들 중 일부만 상기 잉곳의 회전 각도에 따라 작동시키는 성장 저해 단계;를 포함하고,상기 성장 저해 단계는,상기 잉곳이 비원형으로 형성될 수 있도록 상기 잉곳의 회전 각도가 제 1 각도일 때, 상기 잉곳의 둘레 일측방에 고정적으로 배치되는 제 1 전자석 프레임에 전력을 인가 또는 강화하여 자기력선을 생성 또는 강화시키고, 상기 잉곳의 둘레 타측방에 고정적으로 배치되는 제 2 전자석 프레임의 전력을 차단 또는 약화하여 자기력선을 소멸 또는 약화시키는 제 1 각도 대응 단계; 및상기 잉곳의 회전 각도가 제 2 각도일 때, 상기 제 1 전자석 프레임의 전력을 차단 또는 약화하여 자기력선을 소멸 또는 약화시키고, 상기 제 2 전자석 프레임에 전력을 인가 또는 강화하여 자기력선을 생성 또는 강화시키고, 제 2 각도 대응 단계;를 포함하고,상기 제 1 각도 대응 단계 및 상기 제 2 각도 대응 단계는 상기 잉곳의 회전 각도에 따라 순차적으로 전력이 인가 또는 강화되고 순차적으로 전력이 소멸 또는 약화 되는, 비원형 실리콘 잉곳 제조 방법
4 4
제 3 항에 있어서,상기 결정 성장 단계 이후에,센서를 이용하여 상기 잉곳의 회전 각도를 측정하는 각도 측정 단계;를 더 포함하고,상기 성장 저해 단계는,상기 센서로부터 회전 각도 신호를 인가받아서 상기 잉곳이 상기 제 1 각도로 판단될 때, 제 1 각도 대응 단계를 수행하고, 상기 잉곳이 상기 제 2 각도로 판단될 때, 제 2 각도 대응 단계를 수행하는, 비원형 실리콘 잉곳 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 영남대학교 산학협력단 지역혁신센터조성(RIC)사업 대경 태양전지 지역혁신센터