| 1 |
1
광선이 출력되는 광출력부와;광선의 산란 패턴을 검출하는 광검출부와;상기 광출력부와 광검출부 사이에 배치되고, 내부에 시료가 설치되며, 사각 박스 형상으로서 양측면에 각각 광선이 통과하는 제1윈도우와 제2윈도우가 형성되고, 후면에 제3윈도우가 형성되며, 전면이 개구되고, 그 개구부에 개폐용 도어가 설치된 진공챔버와;상기 제3윈도우를 통해 설치되어 시료의 주변 둘레를 감싸는 유도코일 및;상기 유도코일에 고주파 교류 전류를 공급하는 고주파 전원 장치;를 포함하고, 상기 시료가 내부에 삽입되고, 상기 시료가 광선 경로에 대해 수직 상태로 배치되도록 상기 광선 경로와 동축선상에 배치되며, 상기 유도코일이 외주면의 주변 둘레를 감싸는 통 형상의 시료홀더를 더 포함하며, 상기 시료홀더는, 통 형상으로 형성되어 그 내경부로 상기 시료가 삽입되는 홀더바디와, 시료 삽입 후 홀더바디의 내경부에 삽입되어 시료를 고정해주는 통 형상의 홀더캡을 포함하는 것을 특징으로 하는 소각 산란 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서, 상기 홀더바디의 내주면에 반경 방향 내측으로 시료안착부가 돌출 형성되고, 시료안착부에 상기 시료의 일측면이 면 밀착되며, 상기 홀더캡의 일측 단부면이 시료의 타측면에 면 밀착되는 것을 특징으로 하는 소각 산란 장치
|
| 5 |
5
청구항 1에 있어서,상기 홀더캡의 일측 단부에 홀더바디로의 홀더캡 삽입 깊이를 제한하는 플랜지가 형성된 것을 특징으로 하는 소각 산란 장치
|
| 6 |
6
청구항 1에 있어서,상기 홀더바디의 내주면과 홀더캡의 외주면은 면 밀착되는 것을 특징으로 하는 소각 산란 장치
|
| 7 |
7
청구항 4에 있어서,상기 시료안착부에 2개의 온도센서 설치홀이 형성되고, 그 중 하나에 삽입되는 온도센서는 시료안착부의 온도를 측정하고 다른 하나에 삽입되는 온도센서는 상기 시료의 온도를 측정하는 것을 특징으로 하는 소각 산란 장치
|
| 8 |
8
청구항 1에 있어서,상기 진공챔버의 내부에 상기 시료홀더가 거치되는 시료거치대가 설치된 것을 특징으로 하는 소각 산란 장치
|
| 9 |
9
청구항 8에 있어서,상기 시료거치대는 진공챔버의 바닥에 광선 경로를 따라 고정된 가이드블록과, 가이드블록에 상기 광선 경로를 따라 이동 가능하게 설치된 하부블록과, 하부블록에 하부블록의 이동 방향에 대해 직교하는 방향으로 이동 가능하게 설치된 상부블록, 상부블록에 고정된 컬럼, 컬럼에 상하 방향으로 이동 가능하게 설치된 승강대 및 승강대의 상면에 상호 이격 설치되어 상기 시료홀더를 지지하는 한 쌍의 지지편을 포함하는 것을 특징으로 하는 소각 산란 장치
|
| 10 |
10
청구항 9에 있어서,상기 지지편의 상단에는 시료홀더의 외주면과 동일한 형상의 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 소각 산란 장치
|
