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벌크 패턴의 습식 형성 방법 및 이를 위한 식각 조성물

  • 기술번호 : KST2018012304
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예에 따르면, 벌크 패턴의 식각 형성 방법 및 습식 식각 조성물이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 벌크 패턴의 식각 형성 방법은, 식각될 표면을 갖는 피처리체를 준비하는 단계; 상기 피처리체의 상기 식각될 표면 상에 금속 촉매층을 형성하는 단계; 및 상기 금속 촉매층이 형성된 상기 피처리체를 식각 용액에 노출시켜, 상기 금속 촉매층과 상기 식각될 표면 사이의 계면에서 식각 반응을 통하여 상기 식각될 표면을 제거하여 벌크 패턴을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 식각될 표면에 대한 상기 식각 용액의 젖음성(wettability)을 향상시키기 위한 젖음성 촉진제(wettability enhancer)가 상기 식각 용액에 첨가된다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01.01) H01L 21/3213 (2006.01.01) C09K 13/08 (2006.01.01) C09K 13/06 (2006.01.01)
CPC H01L 21/30604(2013.01) H01L 21/30604(2013.01) H01L 21/30604(2013.01) H01L 21/30604(2013.01)
출원번호/일자 1020170022427 (2017.02.20)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0096856 (2018.08.30) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.02.20)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강달영 대한민국 서울특별시 서대문구
2 김상미 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김권석 대한민국 서울특별시 서초구 논현로**, B동 *층(양재동, 삼호물산빌딩)(아이피맥스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0174301-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0068079-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0332077-18
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-0697158-87
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.08.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0809054-87
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-0809000-22
8 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2018.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0138544-12
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0893742-20
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0121180-18
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.02.01 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0121237-22
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0184666-52
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번호 청구항
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식각될 표면을 갖는 피처리체를 준비하는 단계;상기 피처리체의 상기 표면 상에, 각각 촉매능을 갖는 제 1 금속층 및 상기 제 1 금속층 상의 제 2 금속층을 포함하며, 상기 제 2 금속층의 상부 표면과 상기 제 1 금속층의 저부 사이에 유동 채널들을 갖는 다공성 금속 촉매 적층 구조를 형성하는 단계; 및상기 다공성 금속 촉매 적층 구조가 형성된 피처리체를 식각 용액에 노출시켜, 상기 식각될 표면에 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함하며,상기 제 1 금속층은 상기 피처리체의 상기 표면 상에 형성된 제 1 복수의 나노 섬 구조체들을 포함하며,상기 제 2 금속층은 상기 식각 용액에 의한 상기 제 1 복수의 나노 섬 구조체들의 식각 속도보다 낮으면서 상기 제 1 복수의 나노 섬 구조체들 상에 중첩 형성되고 이웃하는 제 1 복수의 나노 섬 구조체들 사이에 상기 유동 채널들을 확보하는 제 2 복수의 나노 섬 구조체들을 포함하는 벌크 패턴의 습식 식각 형성 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 제 2 복수의 나노 섬 구조체들의 평균 높이는 상기 제 1 복수의 나노 섬 구조체들의 평균 높이보다 더 큰 벌크 패턴의 습식 식각 형성 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 제 1 복수의 나노 섬 구조체들의 평균 높이는 3 nm 내지 5 nm 범위 내이며, 상기 제 2 복수의 나노 섬 구조체들의 평균 높이는 5 nm 내지 10 nm의 범위 내인 벌크 패턴의 습식 식각 형성 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 제 1 복수의 나노 섬 구조체들은 은(Ag)을 포함하고, 상기 제 2 복수의 나노 섬 구조체들은 금(Au) 또는 백금(Pt)을 포함하는 벌크 패턴의 습식 식각 형성 방법
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제 12항에 있어서, 상기 식각될 표면에 대한 상기 식각 용액의 젖음성(wettability)을 향상시키기 위한 젖음성 촉진제(wettability enhancer)가 상기 식각 용액에 첨가된 벌크 패턴의 습식 식각 형성 방법
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제 17항에 있어서, 상기 젖음성 촉진제의 표면 장력은 상기 식각 용액의 표면 장력보다 더 작은 벌크 패턴의 습식 식각 형성 방법
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