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전이금속 칼코게나이드 채널과 그래핀 전극을 이용한 다중 게이트 구조의 CMOS 인버터 디바이스

  • 기술번호 : KST2018012308
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 트랜지스터를 이용한 상보적 금속 산화물 반도체(CMOS, Complementary Metal Oxide Semiconductor) 인버터 디바이스에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전이금속 칼코게나이드(Chalcogenide)를 트랜지스터 채널로 활용하고 이의 소스/드레인 전극으로서 그래핀(Graphene)을 적용하는 CMOS 인버터 디바이스에 관한 것이다.본 발명의 일 실시예에 따르면, 일 측에 관통홀을 형성하고, 배기가스가 유동하는 원형의 유로가 형성되는 밸브하우징; 상기 밸브하우징의 유로를 형성하는 내경부에 설치되는 시트링; 상기 관통홀에 수용되어 회전 구동하는 샤프트; 및 원판형태로 이루어지며, 상기 샤프트의 단부에서 연결되어 상기 샤프트의 회전과 연동하면서 상기 유로를 개폐하는 밸브판을 포함하고, 상기 밸브판의 상기 시트링과 맞닿는 외주연에는 환형의 제1그루브가 형성되며, 상기 제1그루브에 장착되어 상기 유로를 실링하되, 상기 밸브판이 폐쇄위치에 있을 때는 수축되고 상기 밸브판이 개방위치에 있을 때는 이완되는, 타원형상의 실링(seal-ring)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플랩밸브를 제공한다.
Int. CL H01L 27/092 (2006.01.01) H01L 21/8238 (2006.01.01) H01L 27/12 (2006.01.01)
CPC H01L 27/092(2013.01) H01L 27/092(2013.01) H01L 27/092(2013.01) H01L 27/092(2013.01) H01L 27/092(2013.01)
출원번호/일자 1020170025643 (2017.02.27)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0098900 (2018.09.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.02.27)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전성찬 대한민국 서울특별시 서대문구
2 윤형서 대한민국 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 윤병국 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***길, **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(지성국제특허법률사무소)
2 이영규 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***길, **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(지성국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-0199778-92
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0035408-05
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0218604-93
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.03.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0218605-38
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0500311-50
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0701572-63
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번호 청구항
1 1
n-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터(FET)와 p-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터(FET)를 포함하는 상보적 금속 산화물 반도체(CMOS) 인버터를 포함하되,상기 n-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터와 p-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터는 소스 및 드레인 전극으로서 탄소나노소재를 사용하는 것을 특징으로 하는 디바이스
2 2
제1항에 있어서, 상기 탄소나노소재는 그래핀(Graphene)인 것을 특징으로 하는 디바이스
3 3
제1항에 있어서,상기 n-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터와 p-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터의 채널은 각각 2차원 특성을 갖는 마이크로 미터 단위의 박막의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 디바이스
4 4
제3항에 있어서,상기 n-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터의 채널은 MOs2로 형성되고, p-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터의 채널은 WSe2로 형성되는 것을 특징으로 하는 디바이스
5 5
제1항에 있어서,상기 n-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터에 연결되는 제1게이트와 상기 p-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터에 연결되는 제2게이트 이외에 별도의 제3게이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디바이스
6 6
제5항에 있어서,상기 제3게이트는 상기 소스 및 드레인 전극의 work function을 조절하기 위한 게이트인 것을 특징으로 하는 디바이스
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제5항에 있어서,상기 제3게이트는 상기 CMOS 인버터 디바이스의 단면에서 보아, n-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터의 채널과 p-type 전계효과 트랜지스터의 채널 사이 영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 디바이스
8 8
제5항에 있어서,상기 제3게이트는,상기 CMOS 인버터 디바이스의 단면에서 보아, 상기 n-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터 및 p-type 금속 산화 반도체 전계 효과 트랜지스터를 포함한 두 개의 트랜지스터와 기판 사이를 절연시키는 유전체의 하부에 배치되는 것을 특징으로 하는 디바이스
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 연세대학교 산학협력단 산업기술혁신사업 [RCMS]주식회사캔티스/알츠하이머성 경도인지장애 진단 시스템 개발(1/3)