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모기판 상에, 여러 층의 레이어(layer)를 적층하여 제1기판, 제2기판 및 제3기판을 형성하는 단계;상기 제1기판 상에, 제1전극을 형성하는 단계;상기 제1전극 상에, 제1대전체를 형성하는 단계;상기 제2기판의 상하면에, 제2대전체를 형성하는 단계; 상기 제3기판 상에, 제2전극을 형성하는 단계;상기 제1기판과 상기 제2기판 사이에 제1탄성지지부를 형성하는 단계; 및상기 제2기판과 상기 제3기판 사이에 제2탄성지지부를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제3기판을 형성하는 단계 이후, 상기 제3기판 상에 기둥을 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 제1기판과 상기 제2기판에는 상기 기둥에 대응되는 영역에 구멍이 형성되고,상기 제1탄성지지부는 상기 제2탄성지지부보다 작은 탄성 계수를 가지는, 3D 프린팅을 이용한 마찰대전소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제1기판, 상기 제2기판, 상기 제3기판을 형성하는 단계는, 필라멘트(filament) 형태의 열가소성 물질을 녹이는 단계;노즐이 상기 모기판 상에서 움직이며 상기 열가소성 물질을 분사하여 적층하는 단계; 및상기 열가소성 물질을 경화시키는 단계;를 포함하는, 3D 프린팅을 이용한 마찰대전소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 제3기판 상에 접지 유닛을 형성하는 단계를 더 포함하는, 3D 프린팅을 이용한 마찰대전소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 모기판 상에 상기 제1기판, 상기 제2기판 및 제3기판 중 어느 하나를 형성하는 단계 전에, 상기 모기판 상에 여러 층의 레이어(layer)를 적층하여 기능층을 형성하는 단계를 더 포함하는, 3D 프린팅을 이용한 마찰대전소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제1기판, 상기 제2기판, 상기 제3기판을 형성하는 단계는, 제1레이어를 형성하는 단계;상기 제1레이어 상에, 벌집 모양을 포함하는 제2레이어를 형성하는 단계; 및상기 제2레이어 상에 제3레이어를 형성하는 단계;를 포함하는, 3D 프린팅을 이용한 마찰대전소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제2기판을 형성하는 단계는, 상기 제2기판에 컨택홀을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 제2대전체의 상부와 상기 제2대전체의 하부는 상기 컨택홀을 통해 전기적으로 연결되는, 3D 프린팅을 이용한 마찰대전소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제2대전체를 형성하는 단계 이후, 전도성 테이프로 상기 제2대전체와 상기 제2기판을 둘러감는 단계를 더 포함하며, 상기 전도성 테이프에 의해 상기 제2기판의 상면에 형성된 상기 제2대전체의 상부와 상기 제2기판의 하면에 형성된 상기 제2대전체의 하부가 전기적으로 연결되는, 3D 프린팅을 이용한 마찰대전소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제2기판을 형성하는 단계는, 상기 제2기판에서 돌출된 날개부를 형성하는 단계를 포함하는, 3D 프린팅을 이용한 마찰대전소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제2기판을 형성하는 단계 이후, 상기 제2기판의 상면에 돌기부를 형성하는 단계를 더 포함하는, 3D 프린팅을 이용한 마찰대전소자의 제조방법
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