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내부에 제1 공간(111)이 형성되고, 일측이 개방되며 타측에 공압 토출구(115)가 형성되는 하우징(110), 상기 하우징(110)의 개방면을 밀폐하도록 별개의 요소로 체결되는 제1 멤브레인(120) 및 상기 제1 멤브레인(120)의 하면에 형성되며, 응력 또는 촉각하중을 감지하는 촉각 수신 블록(150)을 포함하는 촉각 송신 공압부(100);상기 하우징(110)의 공압 토출구(115)에 연결되어 공압을 전달하는 공압라인(300);내부에 제2 공간(211)이 형성되고, 상기 공압라인(300)에 연결되어 전달된 공압의 크기를 변위로 변환시키는 촉각 수신 변위부; 및내부에 제3 공간(221)이 형성되고, 상기 촉각 수신 변위부의 변위를 감지하는 촉각 감지부를 포함하며,상기 제2 공간(211)과 제3 공간(221)을 구획하도록 상기 촉각 수신 변위부와 촉각 감지부 사이에 제2 멤브레인(212)이 별개의 요소로 체결되고,상기 촉각 수신 블록(150)은, 상기 제1 멤브레인(120)의 하측으로 돌출되도록 단면적이 상기 제1 멤브레인(120)의 단면적보다 좁게 형성되는, 공압 기반 촉각 센서
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제 1항에 있어서, 상기 촉각 감지부는,자기저항센서(Magnetic resistance sensor), 정전용량센서(Capacitance sensor), 압전저항센서(Piezo-resistive sensor), 접촉저항 센서(Contact resistance sensor) 중 선택되는 어느 하나인, 공압 기반 촉각센서
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제 1항에 있어서,상기 촉각 수신 변위부는, 상기 촉각 송신 공압부(100)의 공압의 크기를 자속세기로 변환시키는 자속기반 변위부(210)를 포함하고, 상기 촉각 감지부는, 상기 자속기반 변위부(210)의 자속세기를 자기저항 센서(252)를 통해 감지하는, 자기저항 센서부(220)를 포함하는, 공압 기반 촉각센서
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제 1항에 있어서,상기 촉각 송신 공압부(100)는,상기 하우징(110)의 개방면의 단면적(W1)이 상기 공압 토출구(115)의 단면적(W2) 보다 넓은 것을 특징으로 하는, 공압 기반 촉각센서
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제 3항에 있어서,상기 자속기반 변위부(210)는, 상기 제2 멤브레인(212) 상에 구비되는 영구자석(251)을 포함하며,상기 자기저항 센서부(220)는, 상기 영구자석(251)의 자속을 감지하도록 구비되는 자기저항 센서(252)를 포함하고,상기 영구자석(251)의 자속 세기 또는 상기 영구자석(251)의 위치에 따라 촉각센서의 민감도 및 측정범위 조절이 가능한 것을 특징으로 하는, 공압 기반 촉각센서
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