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결정성장이 제어된 유기반도체/절연체 블렌드 박막 적층체 제조방법 및 그를 포함하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법

  • 기술번호 : KST2018012807
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) 용매, 유기반도체, 절연성 고분자를 포함하는 혼합용액을 제조하는 단계; 및 (b) 상기 혼합용액을 기판 상에 스핀 코팅하고 건조시켜 유기반도체층/절연성 고분자층/기판 적층체를 제조하는 단계; 를 포함하고, 상기 유기반도체의 표면에너지가 상기 절연성 고분자의 표면에너지보다 작고, 단계 (b)에서, 상기 스핀 코팅 시간을 조절하여 상기 유기반도체와 절연성 고분자의 수직 상분리 및 상기 유기반도체의 결정성장을 제어하는 것인, 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법을 제공한다. 본 발명은 저분자 반도체 물질과 절연성 고분자 블렌드를 이용하여 스핀코팅 시간을 조절함으로써, 박막형성 시 수직 상분리 및 결정화도를 조절하여, 저분자 반도체 및 절연성 고분자의 종류에 따라 최적의 수직 상분리 정도 및 결정화도를 조절할 수 있는 효과가 있다. 또한, 이를 이용하여 유기전계효과 트랜지스터의 제조함으로써, 안정성 향상 및 전기적 특성이 우수한 소자를 제조할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 51/00 (2006.01.01) H01L 51/05 (2006.01.01)
CPC H01L 51/0004(2013.01) H01L 51/0004(2013.01) H01L 51/0004(2013.01)
출원번호/일자 1020170031411 (2017.03.13)
출원인 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단, 건국대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0104527 (2018.09.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.03.13)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이위형 대한민국 서울특별시 성동구
2 이정훈 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이수열 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **(서초동) *층(국제특허다호)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.03.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-0249353-19
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2017.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-0550481-27
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0077087-83
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.06.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0390764-15
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0734663-35
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2018-0734651-98
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.11.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0799118-77
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-1295842-15
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.12.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-1295849-23
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0034322-33
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 용매, 유기반도체, 절연성 고분자를 포함하는 혼합용액을 제조하는 단계; 및(b) 상기 혼합용액을 기판 상에 스핀 코팅하고 건조시켜 유기반도체층/절연성 고분자층/기판 적층체를 제조하는 단계; 를 포함하고,상기 유기반도체의 표면에너지가 상기 절연성 고분자의 표면에너지보다 작고,단계 (b)에서, 상기 스핀 코팅 시간을 조절하여 상기 유기반도체와 절연성 고분자의 수직 상분리 및 상기 유기반도체의 결정성장을 제어하는 것인,결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 용매가 끓는점이 상온보다 높은 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
3 3
제2항에 있어서,상기 용매가 끓는점이 50 내지 500℃인 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
4 4
제2항에 있어서,상기 용매가 유기반도체 및 절연성 고분자를 모두 용해시키는 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
5 5
제3항에 있어서,상기 용매가 1
6 6
제1항에 있어서,상기 기판의 표면이 친수성인 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 유기반도체가 분자량이 100 내지 50,000인 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
8 8
제7항에 있어서,상기 유기반도체가 트리아이소프로필실리에티닐 펜타센(Triisopropylsilylethynyl pentacene, TIPS-pentacen), 2,8-디플루오르-5,11―비스(트라이에틸실릴에티닐)안트라디싸이오펜(2,8-Difluoro-5,11-bis(triethylsilylethynyl)anthradithiophene, F-TES ADT), 5,11-비스(트라이에틸실릴에티닐)안트라디싸이오펜(5,11-Bis(triethylsilylethynyl)anthradithiophene, TES-ADT), 2,7-다이옥틸벤조싸이오벤조싸이오펜(2,7-Dioctylbenzothienobenzothiophene, C8-BTBT), 및 2,7-다이데킬벤조싸이오벤조싸이오펜(2,7-didecylbenzothienobenzothiophene, C10-BTBT) 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
9 9
제1항에 있어서,상기 절연성 고분자가 열가소성 고분자인 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
10 10
제9항에 있어서,상기 열가소성 고분자가 폴리(메틸메타크릴레이트)(Poly(methyl methacrylate), PMMA), 폴리(α-메틸스티렌)(poly(α-methylstyrene), PαMS), 폴리스티렌(poly styrene, PS), 폴리스티렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate, PET), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate), 폴리염화비닐(Polyvinyl Chloride) 및 폴리염화비닐리덴(polyvinylidene chloride) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
11 11
제1항에 있어서,상기 유기반도체와 절연성 고분자의 표면에너지 차이에 따라 유기반도체층과 절연성 고분자층의 수직 상분리 및 유기반도체층의 결정화 시간을 조절하는 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
12 12
제1항에 있어서,상기 유기반도체와 절연성 고분자 사이의 표면에너지 차이가 낮을수록 스핀코팅시간을 길게 조절하는 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
13 13
제12항에 있어서,상기 스핀코팅 시간이 1 내지 500초인 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
14 14
제13항에 있어서,상기 스핀코팅 시간이 3 내지 100초인 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
15 15
제1항에 있어서,단계 (b) 에서, 상기 혼합용액에서 상기 용매의 증발에 의해 상기 수직 상분리가 형성되는 것을 특징으로 하는 결정성장이 제어된 유기반도체 적층체의 제조방법
16 16
(a) 용매, 유기반도체, 절연성 고분자를 포함하는 혼합용액을 제조하는 단계;(b) 상기 혼합용액을 기판 상에 스핀 코팅하고 건조시켜 유기반도체층/절연성 고분자층/기판 적층체를 제조하는 단계; 및(c) 상기 유기반도체층 상에 소스전극과 드레인 전극을 형성하여 유기전계효과트랜지스터를 제조하는 단계; 를 포함하고,상기 유기반도체의 표면에너지가 상기 절연성 고분자의 표면에너지보다 작고,단계 (b)에서, 상기 스핀 코팅 시간을 조절하여 상기 유기반도체와 절연성 고분자의 수직 상분리 및 상기 유기반도체의 결정성장을 제어하는 것인,유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
17 17
제16항에 있어서,상기 기판이 실리카층과 n 또는 p 도핑된 실리콘층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
18 18
제17항에 있어서,상기 n 또는 p 도핑된 실리콘층이 게이트 전극으로 작용하는 것을 특징으로 하는 유기전계효과 트랜지스터의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 재단법인나노기반소프트일렉트로닉스연구단 글로벌프론티어지원 소프트 전자 소자 구현을 위한 계면 제어 기술 개발