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기재 상에 불소계고분자와 도전성 기능화제의 혼합물을 포함하는 불소계고분자 복합 타겟을 이용하여 반응가스 주입하에서 MF 또는 DC 전원방식으로 반응성 스퍼터링하는 단계를 포함하고,상기 도전성 기능화제는 카본나노튜브, 카본나노섬유, 카본블랙, 그래핀, 그라파이트 및 탄소섬유에서 선택되는 전도성 입자; 폴리아닐린, 폴리아세틸렌, 폴리티오펜, 폴리피롤, 폴리플루렌, 폴리피렌, 폴리아줄렌, 폴리나프탈렌, 폴리페닐렌, 폴리페닐렌비닐렌, 폴리카르바졸, 폴리인돌, 폴리아제핀, 폴리에틸렌, 폴리에틸렌비닐렌, 폴리페닐렌설파이드, 폴리퓨란, 폴리셀레노펜, 폴리텔루로펜 및 폴리설퍼 나이트라이드에서 선택되는 전도성 고분자; 및 구리, 알루미늄, 은, 금, 텅스텐, 마그네슘, 니켈, 몰리브덴, 바나듐, 나이오븀, 티타늄, 백금, 크롬 및 탄탈륨에서 선택되는 전도성 금속;에서 선택되며,상기 반응가스는 산소, 오존, 과산화수소, 암모니아, 아산화질소, 일산화질소, 이산화질소, 질소, 사불화탄소 및 하이드라진에서 선택되는 것인,발수 발유 코팅막의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 불소계고분자 복합 타겟은 금속유기물, 금속산화물, 금속탄소체, 금속수산화물, 금속카보네이트, 금속바이카보네이트, 금속질화물 및 금속불화물에서 선택되는 금속화합물을 더 포함하는 것인,발수 발유 코팅막의 제조방법
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