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리튬 이온을 이용한 밴드갭 보유 그래핀 제조 방법 및 이로부터 제조한 밴드갭 보유 그래핀

  • 기술번호 : KST2018013106
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 저 에너지의 리튬 이온을 그래핀 표면에 흡착하여 반도체 물성을 확보하기 위해 필요한 0.3 eV 이상의 밴드갭을 그래핀에 형성시키고 그 크기를 리튬 이온의 흡착량과 기판의 열처리를 통해 조절함으로써, 전자 소자 이용에 필수적인 채널 소자 기능인 On/Off 상태를 안정적으로 형성할 수 있는 밴드갭 보유 그래핀 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
Int. CL C01B 32/182 (2017.01.01)
CPC C01B 32/194(2013.01) C01B 32/194(2013.01)
출원번호/일자 1020170032515 (2017.03.15)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0105440 (2018.09.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.03.15)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정진욱 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 류민태 대한민국 대구광역시 달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 인비전 특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, *층(대치동, 동산빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0256996-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.05.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.07.06 수리 (Accepted) 9-1-2018-0032435-19
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0545641-00
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0068067-25
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
밴드갭 보유 그래핀으로서,그래핀, 및상기 그래핀에 흡착된 리튬 이온을 포함하는 밴드갭 보유 그래핀
2 2
제1항에 있어서, 상기 그래핀은 결정성 그래핀인 것인 밴드갭 보유 그래핀
3 3
제2항에 있어서, 상기 결정성 그래핀은 실리콘 카바이드 기판 상에 형성되는 것인 밴드갭 보유 그래핀
4 4
제1항에 있어서, 상기 리튬 이온은 5 eV ~ 10 eV의 에너지로 흡착되는 것인 밴드갭 보유 그래핀
5 5
제1항에 있어서, 상기 리튬 이온은 기판에 대한 이온 빔 전류 밀도가 9 nA/cm2 ∼ 10 nA/cm2로 유지되는 환경 하에서 흡착되는 것인 밴드갭 보유 그래핀
6 6
제1항에 있어서, 상기 리튬 이온은 7
7 7
밴드갭 보유 그래핀 제조 방법으로서,그래핀을 제공하는 그래핀 제공 단계; 및상기 그래핀에 리튬 이온을 흡착시키는 리튬 이온 흡착 단계를 포함하는 밴드갭 보유 그래핀 제조 방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 그래핀 제공 단계는 결정성 그래핀을 형성하는 단계를 포함하는 것인 밴드갭 보유 그래핀 제조 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 결정성 그래핀 형성 단계는 상기 그래핀이 형성되는 기판의 온도를 50℃ ~ 100℃씩 단계적으로 상승시키는 단계를 포함하는 것인 밴드갭 보유 그래핀 제조 방법
10 10
제8항에 있어서, 상기 결정성 그래핀은 실리콘 카바이드 기판 상에 형성되는 것인 밴드갭 보유 그래핀 제조 방법
11 11
제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 결정성 그래핀 형성 단계에서는 1,200℃ ∼ 1,250℃의 기판에서 그래핀을 성장시키는 것인 밴드갭 보유 그래핀 제조 방법
12 12
제7항에 있어서, 상기 리튬 이온 흡착 단계는 상기 리튬 이온을 5 eV ~ 10 eV의 에너지로 흡착시켜 수행되는 것인 밴드갭 보유 그래핀 제조 방법
13 13
제7항에 있어서, 상기 그래핀 제공 단계에서는 기판 상에 상기 그래핀을 형성하며,상기 리튬 이온 흡착 단계는 상기 기판에 대한 이온 빔 전류 밀도가 9 nA/cm2 ∼ 10 nA/cm2로 유지되는 환경 하에서 수행하는 것인 밴드갭 보유 그래핀 제조 방법
14 14
제7항에 있어서, 상기 리튬 이온 흡착 단계는 상기 리튬 이온을 90K ∼ 100K에서 흡착시키는 것인 밴드갭 보유 그래핀 제조 방법
15 15
제7항에 있어서, 상기 리튬 이온은 7
16 16
제7항에 있어서, 상기 리튬 이온 흡착 단계는 리튬 이온을 0
17 17
제7항에 있어서, 250℃ ∼ 300℃의 열처리에 의해 상기 밴드갭을 조절하는 단계를 더 포함하는 밴드갭 보유 그래핀 제조 방법
18 18
제7항에 있어서, 리튬 이온에 의해 형성된 상기 밴드갭의 전체 크기를 측정하는 단계를 더 포함하는 밴드갭 보유 그래핀 제조 방법
19 19
리튬 이온의 흡착량 확인 방법으로서,리튬 이온이 흡착된 그래핀을 제공하는 단계; 및상기 리튬 이온의 흡착량을 일함수 변화를 이용하여 흡착량을 산출하는 단계를 포함하는 리튬 이온의 흡착량 확인 방법
20 20
제19항에 있어서,상기 흡착량 산출 단계는단위층(1 ML: 1 Monolayer) 단위의 흡착량에 대한 일함수 변화를 측정하는 단계; 및상기 일함수 변화를 흡착된 리튬 이온 함량으로 환산하는 단계를 포함하는 리튬 이온의 흡착량 확인 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 포항공과대학교 산학협력단 일반연구자지원사업(기본) 디락 밴드 나노구조물의 형성 및 특이물성 연구