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그래핀 박막 제조방법

  • 기술번호 : KST2018013137
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 그래핀 박막 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 그래핀 박막 제조방법은 (a) 기판(10)의 상면에, 탄소 용해도가 상이한 서로 다른 다수의 금속을 순차적으로 코팅하여 다층 금속막(20)을 형성하는 단계(S100), (b) 다층 금속막(20)의 상면에, 이온 주입 공정으로 다수의 탄소 원자(30)를 주입하는 단계(S200), (c) 탄소 원자(30)가 주입된 다층 금속막(20)을 어닐링 (annealing)하여, 기판(10)의 상면, 또는 다층 금속막(20)의 상면으로, 탄소 원자(30)를 분산시키는 단계(S300), 및 (d) 어닐링된 다층 금속막(20)을 냉각하여, 상기 (c) 단계의 탄소 원자(30)가 분산된 기판(10)의 상면, 또는 제2 금속층의 상면에, 그래핀 박막(40)을 형성하는 단계(S400)를 포함한다.
Int. CL C01B 32/182 (2017.01.01) C23C 14/06 (2006.01.01) C23C 14/30 (2006.01.01)
CPC C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01)
출원번호/일자 1020170036000 (2017.03.22)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1990192-0000 (2019.06.11)
공개번호/일자 10-2018-0107557 (2018.10.02) 문서열기
공고번호/일자 (20190617) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.03.22)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김지현 대한민국 서울특별시 강남구
2 김장혁 대한민국 인천광역시 계양구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정은열 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, ***호(정앤김특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-0283129-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.06.07 수리 (Accepted) 9-1-2018-0026188-40
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0554201-35
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-1018039-94
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-1141761-93
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-1264574-57
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-0052491-16
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2019.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0012157-37
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-0169206-20
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.02.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0169204-39
12 등록결정서
Decision to grant
2019.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0304845-11
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 기판의 상면에, 상부로 갈수록 탄소 용해도가 점점 낮아지거나, 또는 상부로 갈수록 상기 탄소 용해도가 점점 높아지도록 서로 다른 다수의 금속을 순차적으로 코팅하여 다층 금속막을 형성하는 단계;(b) 상기 다층 금속막의 상면에, 이온 주입 공정으로 다수의 탄소 원자를 주입하는 단계;(c) 상기 탄소 원자가 주입된 상기 다층 금속막을 열처리하여, 상기 탄소 용해도가 상대적으로 높은 상기 다층 금속막의 하면 또는 상면으로, 상기 탄소 원자를 분산시키는 단계; 및(d) 열처리된 상기 다층 금속막을 냉각하여, 상기 다층 금속막의 하면과 접하는 상기 기판의 상면 또는 상기 다층 금속막의 상면에, 그래핀 박막을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 금속은, 상기 탄소 용해도가 가장 높은 금속으로서 코발트(Co)를 포함하며,상기 열처리는 500 ~ 550℃ 온도로 수행되는 그래핀 박막 제조방법
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서,상기 기판의 상면에 상기 그래핀 박막이 형성된 경우에는, 상기 금속 다층막을 제거하는 단계;를 더 포함하고,상기 금속 다층막의 상면에 상기 그래핀 박막이 형성된 경우에는, 전사기판에 상기 그래핀 박막을 전사하는 단계;를 더 포함하는 그래핀 박막 제조방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 (a) 단계와 상기 (b) 단계 사이에, 상기 금속 다층막에 예비 어닐링 (pre-annealing)을 적어도 1회 이상 수행하는 단계;를 더 포함하는 그래핀 박막 제조방법
5 5
청구항 1에 있어서,상기 (b) 단계의 탄소 이온 주입량, 상기 (c) 단계의 열처리 시간, 및 상기 (d) 단계의 냉각 시간 중 적어도 어느 하나 이상을 조절하여, 상기 그래핀 박막의 두께를 조절하는 그래핀 박막 제조방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 금속은, 니켈(Ni), 은(Ag), 및 구리(Cu)로 구성된 군에서 선택되는 적어도 하나 이상을 더 포함하는 그래핀 박막 제조방법
7 7
삭제
8 8
청구항 1에 있어서,상기 (a) 단계에서, 다수의 상기 금속 각각이 코팅되어 형성된 금속 단일층 각각의 두께는 30 ~ 300 nm인 그래핀 박막 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 고려대학교 산업기술혁신사업-에너지기술개발사업 12.5 % 효율을 갖는 곡률반경 5 cm 이내의 곡면용 Cadmium telluride 태양전지 및 봉지재 개발