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반사면 프로파일 측정 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2018013371
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반사면 프로파일 측정 장치 및 방법을 제공한다. 이 반사면 프로파일 측정 장치는, Twyman-Green 간섭계(120); 상기 Twyman-Green 간섭계의 측정 경로에 배치된 반사 광학 소자(12)를 이동시키는 스캐닝 스테이지(110); 상기 스캐닝 스테이지(110)에 장착되어 이동하는 스테이지 미러(112); 상기 스테이지 미러에서 반사되는 빔을 이용하여 상기 스캐닝 스테이지(110)의 위치와 회전 운동 오차를 측정하는 선형/각도 간섭계(linear/angular interferometer, 150); 및 신호 처리부(130)를 포함한다.
Int. CL G01N 21/45 (2006.01.01) G01N 21/55 (2014.01.01)
CPC G01N 21/45(2013.01) G01N 21/45(2013.01) G01N 21/45(2013.01)
출원번호/일자 1020170035111 (2017.03.21)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1968916-0000 (2019.04.09)
공개번호/일자 10-2018-0106575 (2018.10.01) 문서열기
공고번호/일자 (20190415) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.03.21)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종안 대한민국 대전광역시 유성구
2 엄태봉 대한민국 대전광역시 유성구
3 김재완 대한민국 대전광역시 유성구
4 진종한 대한민국 대전광역시 유성구
5 이재용 대한민국 충청북도 청주시 상당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0277495-84
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0655809-75
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.10.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1074890-13
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-1074681-88
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
8 등록결정서
Decision to grant		 2019.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0166581-58
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번호 청구항
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스캐닝 스테이지, 상기 스캐닝 스테이지에 장착되어 이동하는 정밀 반사면을 구비한 반사 광학 소자 및 상기 스캐닝 스테이지에 장착되어 이동하는 스테이지 미러를 제공하는 단계;상기 스테이지 미러와 선형/각도 간섭계(linear/angular interferometer)를 이용하여 스캐닝 스테이지의 위치 및 상기 스캐닝 스테이지의 회전 운동 오차(e2)를 각각 측정하는 단계;상기 스캐닝 스테이지가 이동함에 따라 스캐닝 스텝 간격(s)마다 각 위치 별로 틸딩된 기준 미러를 이용하여 공간 변조 주파수(f0)를 제공하는 Twyman-Green 간섭계로부터 상기 정밀 반사면과 상기 기준 미러에서 반사된 빔에 의하여 국부 반사면 간섭 프로파일을 획득하는 단계;각 위치별로 측정된 상기 국부 반사면 간섭 프로파일(gn(x)) 각각을 FFT한 후, 공간 주파수 도메인에서 필터를 사용하여 양의 공간 변조 주파수를 성분을 각각 추출하고, 상기 양의 공간 변조 주파수 성분을 IFFT하고 위상 펼침(phase unwrap)을 수행하여 국부 위상 프로파일(Ψn(x))을 각각 추출하는 단계;상기 국부 위상 프로파일(Ψn(x)) 각각에 소정의 계수를 곱하여 국부 반사면 프로파일(Mn(x))로 각각 변환하는 단계; 상기 국부 반사면 프로파일(Mn(x)) 각각에서 선택된 셀들로 구성된 선택 국부 반사면 프로파일(mi(x))로 각각 변환하는 단계; 및상기 선택 국부 반사면 프로파일들(mi(n))과 상기 스캐닝 스테이지의 회전 운동 오차(e2)를 이용하여 전체 반사면 프로파일(f(x))을 추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사면 프로파일 측정 방법
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제1 항에 있어서,상기 선택 국부 반사면 프로파일들(mi(n))과 상기 스캐닝 스테이지의 회전 운동 오차(e2)를 이용하여 전체 반사면 프로파일(f(x))을 추출하는 단계는행렬식 Y=AX을 이용하여 전체 반사면 프로파일(f(x))을 추출하고,상기 선택 국부 반사면 프로파일(mi(x))을 선택하기 위하여 선택된 셀들과 첫 번째 셀의 거리(Di= di × s)는 소수(prime number)와 스캐닝 스텝 간격(s)으로 곱으로 주어지고,Y는 선택 국부 반사면 프로파일(mi(n)) 및 회전 운동 오차(e2)로 구성된 측정 벡터이고,X는 상기 전체 반사면 프로파일과 에러들로 구성된 목적 벡터이고,A는 측정 벡터(Y)와 목적 벡터(X)의 선형 관계식을 나타낸 선형관계식 매트릭스이고,n: 스캐닝 스텝 인덱스 (i=1,
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Twyman-Green 간섭계;상기 Twyman-Green 간섭계의 측정 경로에 배치된 반사 광학 소자를 이동시키는 스캐닝 스테이지;상기 반사광학 소자와 이격되고 상기 스캐닝 스테이지에 장착되어 이동하는 스테이지 미러; 상기 스테이지 미러에서 반사되는 빔을 이용하여 스캐닝 스테이지의 위치와 회전 운동 오차를 측정하는 선형/각도 간섭계(linear/angular interferometer); 및신호 처리부를 포함하고,상기 Twyman-Green 간섭계는:레이저 광원;상기 레이저 광원의 출력 빔을 기준 경로와 측정 경로로 분리하는 빔 분리기;상기 기준 경로 상에 틸트되어 공간 변조 주파수를 제공하는 기준 미러; 상기 측정 경로 상에 배치되고 정밀 반사면을 구비한 반사 광학 소자; 및상기 정밀 반사면에서 반사된 측정 빔과 상기 기준 미러에서 반사된 빔을 상기 빔 분리기에 의하여 결합하여 형성된 국부 반사면 간섭 프로파일을 획득하는 카메라;를 포함하고,상기 신호 처리부는 상기 스캐닝 스테이지의 위치를 판독하여 일정한 스캐닝 스텝 간격으로 트리거 신호를 상기 카메라에 제공하고, 상기 스캐닝 스테이지를 연속적으로 이동시키는 제어 신호를 상기 스캐닝 스테이지에 제공하고, 상기 트리거 신호에 동기화된 상기 국부 반사면 간섭 프로파일과 상기 선형/각도 간섭계의 회전 운동 오차를 처리하여 스캐닝 전영 영역에 대한 전체 반사면 프로파일(f(x))을 추출하는 것을 특징으로 하는 반사면 프로파일 측정 장치
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1 WO2018174392 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2018174392 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국표준과학연구원 소재부품기술개발 반복 정밀도 200nm 이하의 분산 제어 SW 기반의 초정밀 제조 장비 모듈