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기판;상기 기판 상에 일 방향으로 연장되도록 배치되는 적어도 하나의 유전체 구조물;상기 유전체 구조물의 상면 및 일 측면을 덮고 상기 기판의 상면으로 연장되도록 배치되며, 분석 대상물을 감지하는 금속 구조물; 및상기 금속 구조물에서의 국소 표면 플라즈몬 공명 현상을 측정하는 측정부를 포함하는 나노 플라즈모닉 센서
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제1 항에 있어서,상기 금속 구조물은,상기 유전체 구조물의 상면에 배치되는 제1 수평부;상기 제1 수평부로부터 절곡되어 상기 유전체 구조물의 일 측면을 따라 배치되는 수직부; 및상기 수직부로부터 절곡되어 상기 기판의 상면을 따라 배치되는 제2 수평부를 포함하는 나노 플라즈모닉 센서
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제2 항에 있어서,상기 제2 수평부는 상기 수직부로부터 상기 제1 수평부와 반대 방향으로 절곡되는 나노 플라즈모닉 센서
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제2 항에 있어서,상기 제1 수평부의 길이는 상기 제2 수평부의 길이보다 긴 나노 플라즈모닉 센서
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제1 항에 있어서,상기 금속 구조물의 전체 폭은 10 nm 내지 1000 nm의 범위인 나노 플라즈모닉 센서
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제1 항에 있어서,상기 금속 구조물의 두께는 1 nm 내지 200 nm의 범위인 나노 플라즈모닉 센서
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제1 항에 있어서,상기 유전체 구조물은 직육면체 형상을 가지는 나노 플라즈모닉 센서
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제1 항에 있어서,상기 유전체 구조물은 복수 개가 서로 소정 거리로 이격되어 배치되는 나노 플라즈모닉 센서
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제1 항에 있어서,상기 측정부는,상기 기판의 상부에 배치되며, 상기 금속 구조물로 입사되는 입사광을 발생시키는 광원부; 및상기 기판의 하부에 배치되며, 상기 금속 구조물의 표면 또는 주변에 위치하는 상기 분석 대상물에 의해 변화되는 광을 검출하는 수광부를 포함하는 나노 플라즈모닉 센서
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10
제1 항에 있어서,상기 기판은 플렉서블(flexible) 기판인 나노 플라즈모닉 센서
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서로 다른 방향으로 절곡되는 적어도 두 개의 절곡부들을 포함하며, 분석 대상물을 감지하는 금속 구조물; 및상기 금속 구조물에서의 국소 표면 플라즈몬 공명 현상을 측정하는 측정부를 포함하는 나노 플라즈모닉 센서
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제11 항에 있어서,육면체 형상을 갖는 유전체 구조물을 더 포함하고,상기 금속 구조물은 상기 유전체 구조물의 일 측면 상에 배치되며, 상기 절곡부들은 상기 유전체 구조물의 상부 및 하부에서 서로 반대 방향으로 절곡되는 나노 플라즈모닉 센서
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기판 상에 유전층을 형성하는 단계;나노 패턴을 포함하는 몰드를 이용한 임프린트 공정에 의해 상기 유전층을 패터닝하여 유전체 구조물을 형성하는 단계; 및상기 기판에 대하여 소정 각도로 금속 물질을 공급함으로써, 상기 유전체 구조물의 상면과 일 측면, 및 상기 기판의 노출된 상면의 일부에 금속 물질을 증착하여, 분석 대상물을 감지하여 국소 표면 플라즈몬 공명 현상을 발생시키는 금속 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 나노 플라즈모닉 센서의 제조 방법
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제13 항에 있어서,상기 금속 물질은 상기 기판에 수직한 방향에 대하여 10 ° 내지 80 °의 각도로 공급되는 나노 플라즈모닉 센서의 제조 방법
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제13 항에 있어서,상기 단계들 중 적어도 일부는 롤투롤(roll to roll) 나노임프린트(nanoimprint) 공정으로 수행되는 나노 플라즈모닉 센서의 제조 방법
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