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금속 나노와이어(nanowire)를 준비하는 단계;상기 금속 나노와이어에 폴리머 비드(polymer bead)를 첨가한 후, 기계적 혼합화(mechanical mixing)하여 열전 복합체(thermoelectric composite)를 제조하는 단계;상기 열전 복합체를 열간압축(hot pressing)하여 열전층(thermoelectric layer)을 제조하는 단계;상기 열전층의 상부면에 제1 전극을 형성하고, 상기 열전층의 하부면에 제2 전극을 형성하는 단계; 및상기 제1 전극 상에 Pd/EOG(Edge Oxidized Graphene)을 포함하는 발열촉매층(heating catalyst layer)을 형성하는 단계를 포함하는 가스센서의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 발열촉매층은 Pt/γ-alumina를 포함하는 가스센서의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 Pd/EOG는,EOG가 분산된 EOG 분산용액을 준비하는 단계;상기 EOG 분산용액에 Pd 전구체를 첨가한 후, 환원 반응시켜 Pd/EOG 분산용액을 제조하는 단계; 및원심분리(centrifugation)를 통해, 상기 Pd/EOG 분산용액으로부터 페이스트(paste) 형태의 상기 Pd/EOG를 추출하는 단계를 통해 수득되는 것을 포함하는 가스센서의 제조 방법
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제 4항에 있어서,상기 EOG 분산용액은 그라파이트(graphite)를 산 처리한 후, 이온성 액체에 분산시켜 제조하는 것을 포함하는 가스센서의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 금속 나노와이어를 준비하는 단계는,금속 산화물을 용매에 첨가한 후, 기계적 혼합화하여 베이스 용액을 제조하는 단계;상기 베이스 용액에 환원제를 첨가한 후, 기계적 혼합화하여 상기 금속 나노와이어를 포함하는 소스 용액(source solution)을 제조하는 단계; 및세척 및 건조 공정을 통해, 상기 소스 용액으로부터 상기 금속 나노와이어를 추출하는 단계를 포함하는 가스센서의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 열전복합체를 제조하는 단계는, 상기 기계적 혼합화 후에 열처리(thermal treatment) 공정을 수행함으로써,표면전하 차이에 의해 상기 금속 나노와이어가 상기 폴리머 비드의 표면에 흡착되는 것을포함하는 가스센서의 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 금속 나노와이어의 함량에 따라, 상기 열전층의 제벡 계수(seebeck coefficient)가 조절되는 것을 포함하는 가스센서의 제조 방법
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제8 항에 있어서,상기 금속 나노와이어의 함량이 증가함에 따라, 상기 열전층의 제벡 계수가 증가하는것을 포함하는 가스센서의 제조 방법
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열전층(thermoelectric layer);상기 열전층을 사이에 두고, 서로 이격되어 배치된 제1 및 제2 전극; 및상기 제1 전극 상의 Pd/EOG(Edge Oxidized Graphene)을 포함하는 발열촉매층(heating catalyst layer)을 포함하되,상기 열전층은 폴리머 비드(polymer bead) 상에 금속 나노와이어가 흡착된 열전 복합체(thermoelectric composite)를 포함하는 가스센서
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제10 항에 있어서,상기 발열촉매층은 Pt/γ-alumina를 포함하는 가스센서
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제10 항에 있어서,타겟 가스(target gas) 및 상기 발열촉매층의 반응열에 의해 상기 열전층에 온도차가 발생하는단계; 및상기 열전층의 온도차에 의해 발생한 기전력에 통해 상기 타겟 가스의 농도를 센싱하는 단계를 포함하는 가스센서
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