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접착층이 도포된 펠리클 프레임을 마련하고;증기 분위기 하에서 펠리클 막을 증기로 처리하고;상기 펠리클 프레임 상에 상기 펠리클 막을 접착시키고; 그리고상기 펠리클 막을 건조시키는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 접착층이 도포된 펠리클 프레임을 마련하는 것은 상기 펠리클 프레임의 일면 상에 액상의 접착층을 도포하는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 펠리클 프레임 상에 펠리클 막을 접착시키는 것은 상기 펠리클 막이 부착된 핸들링 프레임을 상기 펠리클 프레임 상에 스탬핑하는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 펠리클 프레임은 제1 크기의 외경을 갖고, 상기 핸들링 프레임은 중앙부에 개구를 가지고, 상기 개구는 상기 제1 크기보다 큰 제2 크기의 내경을 갖는 펠리클의 제조 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 핸들링 프레임 상에 상기 펠리클 막을 부착하는 것을 더 포함하는 펠리클의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 펠리클 막을 증기로 처리할 때, 상기 접착층을 증기로 처리하는 것을 더 포함하는 펠리클의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 펠리클 막을 증기로 처리하는 것은 상기 펠리클 막의 적어도 일면을 증기와 접촉시키는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 증기는 1nm 내지 10㎛ 범위의 크기를 갖는 펠리클의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 접착층이 도포된 상기 펠리클 프레임을 챔버 내의 펠리클 지지부 상에 로딩하는 것을 더 포함하는 펠리클의 제조 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 펠리클 막을 증기로 처리하는 것은 상기 펠리클 지지부 아래의 수조 내에 수용된 액체를 증발시켜 상기 챔버를 증기 분위기로 유지하는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법
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