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증착홀을 구비하는 파인 메탈 마스크로서,마스크 기재 및상기 마스크 기재의 표면에서 증착면을 포함하는 영역에 옴니포빅 물질이 코팅되어 형성되는 나노쉴드층을 포함하며,상기 마스크 기재는 표면에서 상기 증착면을 포함하는 영역에 요철 패턴이 형성되고,상기 나노쉴드층은 상기 요철 패턴에 형성되며,상기 증착면은 상기 마스크 기재의 표면에서 상기 증착홀 사이의 영역을 포함하며,상기 요철 패턴은 상기 마스크 기재의 표면이 에칭 또는 레이저 가공되어 형성되며,상기 마스크 기재는 상기 요철 패턴이 형성되는 영역이 상기 요철 패턴이 형성되지 않는 영역에 대비하여 두께가 얇은 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크
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제 1 항에 있어서,상기 요철 패턴은 상기 마스크 기재의 표면으로부터 하부로 형성되는 홈 구조 또는 트렌치 구조로 형성되며,상기 요철 패턴은 홈 구조를 갖는 도트 형상 패턴, 또는 트렌치 구조를 갖는 격자 형상 패턴, 벌집 형상 패턴 또는 스트라이프 형상 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크
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제 1 항에 있어서,상기 요철 패턴은 에칭 공정에 의하여 불규칙한 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크
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제 1 항에 있어서,상기 나노쉴드층과 요철 패턴은 상기 마스크 기재의 표면에서 상기 증착면과 반대면인 대향면에 더 형성되는 것을 하는 파인 메탈 마스크
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제 1 항에 있어서,상기 마스크 기재와 상기 나노쉴드층 사이에 형성되어 상기 마스크 기재와 나노쉴드층의 결합력을 증가시키는 계면층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크
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제 6 항에 있어서,상기 계면층은 TixOy, FexOy, AlxOy, SixOy, SnxOy, ZnxOy, InxOy, CexOy 및 ZrxOy로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나의 금속 산화물, 그래핀 또는 그래핀옥사이드를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크
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제 1 항에 있어서,상기 옴니포빅 물질은 CF(탄화불소)기 또는 CH(탄화수소)기를 포함하는 하기의 구조식(1)로 표시되는 실란계 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크
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제 1 항에 있어서,상기 옴니포빅 물질은 (heptadecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrodecyl) trichlorosilane (HDF-S)인 것을 특징으로 파인 메탈 마스크
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제 8 항에 있어서,상기 나노쉴드층은 TixOy, FexOy, AlxOy, SixOy, SnxOy, ZnxOy, InxOy, CexOy, ZrxOy, 그래핀 및 그래핀옥사이드로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 물질을 포함하는 베이스 입자의 표면에 상기 실란계 화합물이 코팅되어 형성되는 옴니포빅 입자가 코팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크
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제 8 항에 있어서,상기 마스크 기재는 표면에 산화막이 형성되는 금속 재질이며,상기 실란계 화합물의 실란기가 상기 마스크 기재의 표면에 존재하는 금속기(-M) 또는 산소기(-O)와 자기 결합되어 형성되는 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크
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제 1 항에 있어서,상기 옴니포빅 물질은 CF(탄화불소)기 또는 CH(탄화수소)기를 포함하는 하기의 구조식(2)로 표시되는 인산계 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크
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제 1 항에 있어서,상기 옴니포빅 물질은 Octadecylphosphonic acid (OD-PA) 또는 (1H,1H,2H,2H-heptadecafluorodec-1-yl) phosphonic acid (HDF-PA)인 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크
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제 12 항에 있어서,상기 나노쉴드층은 TixOy, FexOy, AlxOy, SixOy, SnxOy, ZnxOy, InxOy, CexOy, ZrxOy, 그래핀 및 그래핀옥사이드로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 물질을 포함하는 베이스 입자의 표면에 상기 인산계 화합물이 코팅되어 형성되는 옴니포빅 입자가 코팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크
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제 12 항에 있어서,상기 마스크 기재는 표면에 산화막이 형성되는 금속 재질이며,상기 인산계 화합물의 인산기가 상기 마스크 기재의 표면에 존재하는 금속기(-M) 또는 산소기(-O)와 자기 결합되어 형성되는 것을 특징으로 하는 파인 메탈 마스크
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