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평면적으로 라인 형태의 돌출부를 가지는 기판;상기 돌출부 상에 배치되며 서로 대향되는 제 1 코어 단면과 제 2 코어 단면을 포함하는 코어;상기 제 1 코어 단면에 인접한 상기 코어를 일부 덮되 상기 제 2 코어 단면과 이격되는 제 1 클래딩 패턴; 및상기 제 1 클래딩 패턴으로 덮이지 않은 코어를 덮으며 상기 코어의 측면 및 상기 돌출부의 측면과 접하는 모드 크기 변환부를 포함하되,상기 모드 크기 변환부의 폭은 상기 제 1 클래딩 패턴으로부터 상기 코어의 상기 제 2 코어 단면으로 갈수록 커지는 모드 크기 변환기
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제 1 항에 있어서,상기 모드 크기 변환부는 상기 코어를 구성하는 물질의 굴절률의 0
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제 2 항에 있어서,상기 코어는 서로 교대로 적층된 웰층들과 베리어층들을 포함하며,상기 모드 크기 변환부는 상기 베리어층의 굴절률의 0
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제 1 항에 있어서,상기 코어는 서로 교대로 적층된 웰층들과 베리어층들을 포함하며,상기 베리어층과 상기 모드 크기 변환부는 서로 동일한 조성의 물질로 이루어지는 모드 크기 변환기
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제 2 항에 있어서,상기 모드 크기 변환부는 상기 제 1 클래딩 패턴보다 큰 굴절률을 가지는 모드 크기 변환기
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제 2 항에 있어서상기 코어와 상기 돌출부 사이에 개재되는 제 1 분리 집속 이종 구조 패턴; 및 상기 코어와 상기 제 1 클래딩 패턴 사이에 개재되는 제 2 분리 집속 이종 구조 패턴을 더 포함하며,상기 모드 크기 변환부는 상기 제 2 분리 집속 이종 구조 패턴의 상부면과 측면 그리고 상기 제 1 분리 집속 이종 구조 패턴의 측면과 접하는 모드 크기 변환기
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제 6 항에 있어서,상기 코어는 서로 교대로 적층된 웰층들과 베리어층들을 포함하며,상기 제 1 및 제 2 분리 집속 이종 구조 패턴들은 상기 베리어층들과 동일한 조성의 물질로 이루어지는 모드 크기 변환기
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8
제 2 항에 있어서,적어도 상기 기판과 상기 제 1 클래딩 패턴을 덮는 제 2 클래딩막을 더 포함하는 모드 크기 변환기
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9
제 8 항에 있어서,상기 제 2 클래딩막은 상기 제 1 클래딩 패턴보다 작은 굴절률을 가지는 모드 크기 변환기
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10
제 2 항에 있어서,상기 모드 크기 변환부는 상기 제 2 코어 단면에 인접한 제 1 면을 포함하며,상기 제 1 면에 인접하는 광섬유; 및상기 제 1 면과 상기 광섬유 사이에 개재되는 반사 방지막을 더 포함하는 모드 크기 변환기
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11
제 10 항에 있어서,상기 제 1 코어 단면의 중심과 상기 제 2 코어 단면의 중심을 잇는 선과 상기 제 1 면이 이루는 각도는 69~84°인 모드 크기 변환기
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12
제 2 항에 있어서,상기 제 2 코어 단면의 폭은 상기 제 1 코어 단면의 폭보다 좁은 모드 크기 변환기
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13
제 2 항에 있어서,상기 모드 크기 변환부와 접하는 상기 제 1 클래딩 패턴은 상기 제 1 단부 쪽으로 함몰된 표면을 가지는 모드 크기 변환기
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기판 상에 코어막 및 제 1 클래딩막을 차례로 형성하는 단계;상기 제 1 클래딩막, 상기 코어막 및 상기 기판의 일부분을 패터닝하여 평면적으로 라인 형태를 가지며 서로 적층된 제 1 클래딩 패턴과 코어를 형성하고 상기 코어 밑에 상기 기판으로부터 돌출된 돌출부를 형성하는 단계;상기 제 1 클래딩 패턴의 일부를 제거하는 단계; 및상기 제 1 클래딩 패턴으로 덮이지 않은 상기 코어를 덮는 모드 크기 변환부를 형성하는 단계를 포함하는 모드 크기 변환기의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 모드 크기 변환부를 형성하는 단계는 상기 제 1 클래딩 패턴으로 덮이지 않은 상기 코어의 표면으로부터 모드 크기 변환막을 성장시키거나 증착하는 단계를 포함하는 모드 크기 변환기의 제조 방법
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제 15 항에 있어서,상기 모드 크기 변환부를 형성하는 단계는 상기 모드 크기 변환막을 패터닝하는 단계를 더 포함하는 모드 크기 변환기의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 기판 상에 코어막을 형성하기 전에 상기 기판 상에 제 1 분리 집속 이종 구조층을 형성하는 단계와, 상기 제 1 클래딩막을 형성하기 전에 상기 코어막 상에 제 2 분리 집속 이종 구조층을 형성하는 단계를 더 포함하되,상기 제 1 클래딩막과 상기 코어막을 패터닝할 때, 상기 제 1 및 제 2 분리 집속 이종 구조층들도 패터닝되며,상기 제 1 클래딩 패턴의 일부를 제거하여 상기 제 2 분리 집속 이종 구조층이 노출되며,상기 모드 크기 변환부는 상기 제 2 분리 집속 이종 구조층과 접하도록 형성되는 모드 크기 변환기의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 제 1 클래딩막과 이격된 상기 모드 크기 변환부의 단면을 반사 방지막으로 코팅하는 단계; 및상기 반사 방지막에 광섬유를 연결하는 단계를 더 포함하는 모드 크기 변환기의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,적어도 상기 제 1 클래딩막과 상기 기판을 덮는 제 2 클래딩막을 형성하는 단계를 더 포함하는 모드 크기 변환기의 제조 방법
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