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기판의 상면에 배열된 전극에 전도성 물질을 도포하는 도포단계;상기 기판의 상면에 비전도성의 접착박막을 형성시켜 상기 전도성 물질을 가고정시키는 접착박막 형성단계;마이크로 소자가 점착된 캐리어필름을 상기 기판의 상면과 마주보게 배치하고, 상기 캐리어필름을 상기 기판 측으로 가압하여 상기 마이크로 소자를 상기 접착박막으로 전사시키는 전사단계;상기 접착박막에 열을 가하여 상기 접착박막의 점도를 낮춘 상태에서, 상기 마이크로 소자를 가압하여 상기 마이크로 소자가 상기 접착박막을 통과해 상기 전도성 물질에 압착되도록 하는 가압단계; 및상기 전도성 물질 및 상기 접착박막에 열을 가하여, 상기 마이크로 소자의 전극과 상기 기판의 전극을 서로 접합시키고, 상기 접착박막을 경화시키는 리플로우 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전도성 접착박막을 이용한 마이크로 소자 전사방법
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제1항에 있어서,상기 가압단계는 상기 접착박막을 제1온도로 가열하고,상기 리플로우 단계는 상기 전도성 물질 및 상기 접착박막을 상기 제1온도보다 높은 제2온도로 가열하는 것을 특징으로 하는 비전도성 접착박막을 이용한 마이크로 소자 전사방법
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제1항에 있어서,상기 리플로우 단계는, 상기 마이크로 소자와 상기 전극 사이의 간극이 일정하게 유지되도록 상기 마이크로 소자를 소정 압력으로 가압하는 것을 특징으로 하는 비전도성 접착박막을 이용한 마이크로 소자 전사방법
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제1항에 있어서,상기 전사단계는, 상기 마이크로 소자를 상기 접착박막에 점착시키는 점착단계와, 상기 캐리어필름을 상기 마이크로 소자로부터 이형시키는 이형단계를 포함하고,상기 이형단계는, 상기 마이크로 소자와 상기 접착박막 사이에 형성되는 제1점착력이 상기 캐리어필름과 상기 마이크로 소자 사이의 제2점착력보다 크게 작용하면서, 상기 마이크로 소자가 상기 캐리어필름으로부터 분리되어 상기 접착박막으로 전사되는 것을 특징으로 하는 비전도성 접착박막을 이용한 마이크로 소자 전사방법
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제1항에 있어서,상기 리플로우 단계 이후에 수행되고, 상기 리플로우 단계에서 용융된 전도성 물질을 고상화시키는 냉각단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비전도성 접착박막을 이용한 마이크로 소자 전사방법
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제1항에 있어서,상기 접착박막 형성단계는, 상기 기판에 열을 가하여 상기 접착박막과 상기 기판 사이의 상호 접착력이 커지도록 하는 것을 특징으로 하는 비전도성 접착박막을 이용한 마이크로 소자 전사방법
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기판의 상면에 배열된 전극에 전도성 물질을 도포하는 도포단계;비전도성의 접착박막이 형성된 마이크로 소자를 캐리어필름에 점착시키고, 상기 접착박막이 상기 기판의 상면과 마주보게 상기 마이크로 소자를 배치시키는 마이크로 소자 배치단계;상기 캐리어필름을 상기 기판 측으로 가압하여 상기 마이크로 소자와 상기 접착박막을 상기 기판으로 전사시키는 전사단계;상기 접착박막에 열을 가하여 상기 접착박막의 점도를 낮춘 상태에서, 상기 마이크로 소자를 가압하여 상기 마이크로 소자가 상기 접착박막을 통과해 상기 전도성 물질에 압착되도록 하는 가압단계; 및상기 전도성 물질 및 상기 접착박막에 열을 가하여, 상기 마이크로 소자의 전극과 상기 기판의 전극을 서로 접합시키고, 상기 접착박막을 경화시키는 리플로우 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전도성 접착박막을 이용한 마이크로 소자 전사방법
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제7항에 있어서,상기 가압단계는 상기 접착박막을 제3온도로 가열하고,상기 리플로우 단계는 상기 전도성 물질 및 상기 접착박막을 상기 제3온도보다 높은 제4온도로 가열하는 것을 특징으로 하는 비전도성 접착박막을 이용한 마이크로 소자 전사방법
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제7항에 있어서,상기 리플로우 단계는, 상기 마이크로 소자와 상기 전극 사이의 간극이 일정하게 유지되도록 상기 마이크로 소자를 소정 압력으로 가압하는 것을 특징으로 하는 비전도성 접착박막을 이용한 마이크로 소자 전사방법
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제7항에 있어서,상기 전사단계는, 상기 마이크로 소자와 상기 접착박막을 상기 기판에 점착시키는 점착단계와, 상기 캐리어필름을 상기 마이크로 소자로부터 이형시키는 이형단계를 포함하고,상기 이형단계는, 상기 접착박막과 상기 기판 사이에 형성되는 제3점착력이 상기 캐리어필름과 상기 마이크로 소자 사이의 제4점착력보다 크게 작용하면서, 상기 마이크로 소자와 상기 접착박막이 상기 캐리어필름으로부터 분리되어 상기 기판으로 전사되는 것을 특징으로 하는 비전도성 접착박막을 이용한 마이크로 소자 전사방법
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제7항에 있어서,상기 리플로우 단계 이후에 수행되고, 상기 리플로우 단계에서 용융된 전도성 물질을 고상화시키는 냉각단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비전도성 접착박막을 이용한 마이크로 소자 전사방법
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