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서로 평행한 두 대향면을 갖는 투명 기재; 및 상기 투명 기재의 상기 두 대향면을 관통하며 축경되는 관통형 채널;을 포함하는 멤브레인 필터이며,상기 관통형 채널의 두 개구 각각의 중심을 가로지르는 멤브레인 필터의 단면인 기준단면상, 하기 조건 1을 만족하거나, 또는 하기 조건 2를 만족하는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터
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제 1항에 있어서,하기 관계식 3을 더 만족하는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터
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3
제 2항에 있어서,하기 관계식 4를 더 만족하는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터
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4
제 3항에 있어서,상기 관계식 3의 각도에 의해 상기 관통형 채널의 축경률이 제어되며, 상기 관계식 4의 각도에 의해, 상기 관통형 채널에 고정되는 서로 다른 크기의 표적 입자 사이의 방향으로의 이격 거리가 제어되는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터
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5
제 1항에 있어서,관계식 5를 더 만족하는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터
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6
제 1항에 있어서,상기 기준 단면상, 상기 제1채널선 및 제2채널선은 각각 직선인 표적 입자 검출용 멤브레인 필터
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7
제 1항에 있어서,상기 관통형 채널의 개구가 위치하는 투명 기재의 표면 각각에 형성된 제1전극 및 제2전극을 더 포함하는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터
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8
제 1항에 있어서,상기 관통형 채널의 채널벽 상 위치하는 코팅층을 더 포함하는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터
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9
제 8항에 있어서,상기 코팅층은 하이드로필릭(hydrophilic), 하이드로포빅(hydrophhobic) 또는 옴니포빅(omniphobic) 코팅층인 표적 입자 검출용 멤브레인 필터
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10
제 8항에 있어서,상기 코팅층은 광촉매를 포함하는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터
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11
서로 평행한 두 대향면을 가지며 투명한 네가티브 감광성 기재를 경사 노광 및 현상하여, 상기 두 대향면을 관통하며 축경되는 관통형 채널이 형성된 투명 기재를 제조하는 단계;를 포함하되, 노광된 감광성 기재의 단면이며, 현상시 관통형 채널의 두 개구로 전환되는 감광성 기재의 두 비노광 표면 영역 중심을 가로지르는 단면인 노광단면에서, 하기 조건 1'을 만족하거나, 또는 하기 조건 2'를 만족하도록 경사 노광이 수행되는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터의 제조방법
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12
제 11항에 있어서,상기 네가티브 감광성 기재의 노광시 사용되는 광 마스크의 차광 영역은 관통형 채널의 두 개구 중 상대적으로 큰 개구인 제2개구의 크기 및 형상에 대응하는 크기 및 형상을 갖는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터의 제조방법
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13
제 12항에 있어서,상기 경사노광시, 상기 네가티브 감광성 기재에 조사되는 광의 진행방향이 일 시점에서 과 평행하며 다른 일 시점에서 과 평행하도록 경사노광의 각도가 변화되는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터의 제조방법
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서로 평행한 두 대향면을 가지며 투명한 포지티브 감광성 기재를 경사 노광 및 현상하여, 상기 두 대향면을 관통하며 축경되는 관통형 채널이 형성된 투명 기재를 제조하는 단계;를 포함하되, 노광된 감광성 기재의 단면이며, 현상시 관통형 채널의 두 개구로 전환되는 감광성 기재의 노광 표면 영역 중심을 가로지르는 단면인 노광단면에서, 하기 조건 1''을 만족하거나, 또는 하기 조건 2''를 만족하도록 경사 노광이 수행되는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터의 제조방법
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제 14항에 있어서,상기 포지티브 감광성 기재의 노광시 사용되는 광 마스크의 투광 영역은 관통형 채널의 두 개구 중 상대적으로 작은 개구인 제1개구의 크기 및 형상에 대응하는 크기 및 형상을 갖는 표적 입자 검출용 멤브레인 필터의 제조방법
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제 11항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 감광성 기재는 감광성 유리 또는 포토레지스트인 표적 입자 검출용 멤브레인 필터의 제조방법
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제 11항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 경사 노광은 회전 경사 노광인 표적 입자 검출용 멤브레인 필터의 제조방법
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제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 따른 표적 입자 검출용 멤브레인 필터를 이용한 표적 입자의 검출 방법
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