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레이저 다이렉트 패터닝 시스템 및 방법

  • 기술번호 : KST2018013873
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 일 실시예에 따른 레이저 다이렉트 패터닝 시스템은, 기판; 및 상기 기판 상에 레이저를 이용하여 패턴을 형성하는 패턴 형성부;를 포함하고, 상기 기판은, 상기 레이저에 의해 발생된 열을 분산시키는 방열 부재;를 포함할 수 있다.
Int. CL H05K 3/00 (2006.01.01) H05K 1/02 (2006.01.01) B23K 37/00 (2006.01.01)
CPC H05K 3/0026(2013.01) H05K 3/0026(2013.01) H05K 3/0026(2013.01)
출원번호/일자 1020170043607 (2017.04.04)
출원인 한국산업기술대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0112480 (2018.10.12) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.04.04)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김광 대한민국 서울특별시 동작구
2 최예찬 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2017-0328899-01
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.06.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0084545-57
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.07.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0456552-79
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.09.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0873404-09
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0873403-53
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.01.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0025257-52
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2019-0142250-53
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.02.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0142249-17
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.03.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0170441-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 및상기 기판 상에 레이저를 이용하여 패턴을 형성하는 패턴 형성부;를 포함하고,상기 기판은,상기 레이저에 의해 발생된 열을 분산시키는 방열 부재;를 포함하고,상기 방열 부재는,상기 기판의 열 전도율보다 열 전도율이 높은 금속으로 마련되고,상기 기판의 상면에서 스퍼터링(sputtering)에 의해 박막층의 형태로 형성되며,상기 패턴 형성부는,상기 레이저를 이용하여 상기 기판 상에 캐비티 및 림으로 구성된 크레이터(crater)를 형성하고,상기 패턴 형성부는 상기 방열 부재 상에 직접적으로 상기 레이저를 조사하며,상기 방열 부재는 방열 기능과 함께 조사된 레이저에 의한 열을 전달 또는 전파하는 히트 스프레더(heat spreader)의 역할을 수행하여,상기 방열 부재에 의해서 상기 기판에 안정적인 열전달 구조가 형성됨으로써 상기 크레이터의 사이즈가 감소되어 상기 기판 상에 미세 패터닝이 구현되는 레이저 다이렉트 패터닝 시스템
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 기판 상에 형성된 크레이터에 도금을 통해 전도성 패턴을 형성하는 레이저 다이렉트 패터닝 시스템
4 4
기판이 제공되는 단계; 상기 기판 상에 방열 부재가 장착되는 단계; 및상기 기판 상에 레이저에 의해 패턴이 형성되는 단계;를 포함하고,상기 방열 부재는 상기 기판의 열 전도율보다 열 전도율이 높은 물질로 마련되고,상기 기판 상에 방열 부재가 장착되는 단계에서, 상기 방열 부재는 상기 기판의 상면에서 스퍼터링(sputtering)에 의해 박막층의 형태로 형성되고,상기 기판 상에 레이저에 의해 패턴이 형성되는 단계는, 상기 방열 부재 상에 직접적으로 상기 레이저를 조사하여, 상기 기판 상에 캐비티 및 림으로 구성된 크레이터가 형성되는 단계를 포함하고,상기 방열 부재는 방열 기능과 함께 조사된 레이저에 의한 열을 전달 또는 전파하는 히트 스프레더(heat spreader)의 역할을 수행하여,상기 방열 부재에 의해서 상기 기판에 안정적인 열전달 구조가 형성됨으로써 상기 크레이터의 사이즈가 감소되어 상기 기판 상에 미세 패터닝이 구현되는 레이저 다이렉트 패터닝 방법
5 5
제4항에 있어서,상기 기판 상에 레이저에 의해 패턴이 형성되는 단계는,상기 크레이터에 도금층이 부착되는 단계;를 더 포함하고,상기 방열 부재에 의해 레이저 파워의 과다로 인한 상기 기판의 변형 또는 상기 레이저 파워의 부족에 의한 도금층 미형성이 방지되는 레이저 다이렉트 패터닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.