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하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치

  • 기술번호 : KST2018013874
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 검사 대상물 상의 동일 위치에 대하여 다른 파장의 광을 조사하여 검사를 수행하는 테스트 장치에 장착되는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치에 관한 것으로, 광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부; 서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제1 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제1 대역을 제외한 나머지 대역인 제2 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부; 상기 대역 선택부를 투과한 광을 차단 또는 투과하는 광 스위칭부; 및 상기 광 스위칭부에서 출력된 광 및 상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부를 포함한다.
Int. CL G01N 21/88 (2006.01.01) G02B 6/26 (2006.01.01) G02B 6/27 (2006.01.01) F21V 8/00 (2016.01.01)
CPC G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01)
출원번호/일자 1020170043128 (2017.04.03)
출원인 한국산업기술대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1938185-0000 (2019.01.08)
공개번호/일자 10-2018-0112343 (2018.10.12) 문서열기
공고번호/일자 (20190411) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.04.03)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재명 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교 산학협력단 경기도 시흥시 산기대학로
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-0325739-90
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.08.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0528689-36
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0979736-04
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.10.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0979810-85
5 등록결정서
Decision to grant
2019.01.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0014104-28
6 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
2019.04.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-5009742-12
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번호 청구항
1 1
광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부;서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제1 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제1 대역을 제외한 나머지 대역인 제2 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부;상기 대역 선택부를 투과한 제1 대역에 해당하는 광을 차단 또는 투과하는 광 스위칭부; 및상기 광 스위칭부에서 출력된 제1 대역에 해당하는 광 및 상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 제2 대역에 해당하는 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부를 포함하며,상기 광 결합부에서 결합된 광은, 상기 광 스위칭부가 투과하는 경우에는 제1 대역과 제2 대역에 걸친 파장 범위의 광이고, 상기 광 스위칭부가 차단하는 경우에는 제2 대역의 파장 범위의 광인 것을 특징으로 하는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치
2 2
광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부;서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제2 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제2 대역을 제외한 나머지 대역인 제1 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부;상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광을 차단 또는 투과하는 광 스위칭부; 및상기 광 스위칭부에서 출력된 광 및 상기 대역 선택부를 투과한 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부를 포함하는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치
3 3
광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부;서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제3 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하고, 상기 제3 대역을 제외한 나머지 대역에 해당하는 광을 투과하는 제1 대역 선택부;상기 제1 대역 선택부를 투과한 광을 차단 또는 투과하는 제1 광 스위칭부;상기 제1 대역 선택부를 투과한 광을 입력받아, 제4 대역에 해당하는 광을 투과하는 제2 대역 선택부;상기 제2 대역 선택부를 투과한 광을 차단 또는 투과하는 제2 광 스위칭부;상기 서큘레이터를 통하여 상기 제1 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광을 차단 또는 투과하는 제3 광 스위칭부; 및상기 제1 광 스위칭부, 상기 제2 광 스위칭 부 및 상기 제3 광 스위칭부에서 출력된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부를 포함하는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치
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광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부;서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제1 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제1 대역을 제외한 나머지 대역인 제2 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부;상기 대역 선택부를 투과한 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 행하는 제1 가변 광 감쇠부;상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 행하는 제2 가변 광 감쇠부;상기 제1 가변 광 감쇠부 및 상기 제2 가변 광 감쇠부에서 출력된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부; 및상기 광 결합부를 통하여 상기 제2 대역의 광을 출력하는 경우에, 상기 제1 가변 광 감쇠부를 제어하여 상기 제1 대역의 광을 차단하고, 상기 제2 가변 광 감쇠부를 제어하여 상기 제2 대역의 광량을 조절하는 광량조절부를 포함하는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치
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광대역의 광을 출력하는 광대역 광원부;서큘레이터를 통하여 상기 광대역 광원부에서 출력된 광을 입력받아, 제2 대역에 해당하는 광을 투과하고, 상기 제2 대역을 제외한 나머지 대역인 제1 대역에 해당하는 광을 상기 서큘레이터로 반사하는 대역 선택부;상기 대역 선택부를 투과한 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 행하는 제1 가변 광 감쇠부;상기 서큘레이터를 통하여 상기 대역 선택부에서 반사된 광을 입력받고, 입력된 광에 대하여 가변적으로 광감쇠를 행하는 제2 가변 광 감쇠부;상기 제1 가변 광 감쇠부 및 상기 제2 가변 광 감쇠부에서 출력된 광을 입력받고, 입력된 광을 결합하는 광 결합부; 및상기 광 결합부를 통하여 상기 제2 대역의 광을 출력하는 경우에, 상기 제2 가변 광 감쇠부를 제어하여 상기 제1 대역의 광을 차단하고, 상기 제1 가변 광 감쇠부를 제어하여 상기 제2 대역의 광량을 조절하는 광량조절부를 포함하는 하나의 광원을 이용한 다파장 광 발생 장치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 한국산업기술대학교 2016년 산학연협력기술개발사업 선도형(첫걸음) 광학측정이 가능한 수직형 반도체 검사장치 개발