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기상 증착법을 이용한 황화주석 박막 및 이의 형성방법

  • 기술번호 : KST2018013908
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기상 증착법을 이용한 황화주석 박막 및 나노 입자와 이의 형성방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 파우더 형태의 황화주석 전구체를 준비하는 단계; 상기 황화주석 전구체를 기상 증착을 위한 챔버 내부에서 열처리하여 증발시키는 단계; 증발된 상기 황화주석 전구체를 준비된 기판상에 증착하는 단계; 및 상기 황화주석 전구체가 증착된 기판을 상온까지 공랭하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 14/06 (2006.01.01) C23C 14/54 (2018.01.01) C23C 14/24 (2006.01.01) C23C 14/22 (2006.01.01)
CPC C23C 14/0623(2013.01) C23C 14/0623(2013.01) C23C 14/0623(2013.01) C23C 14/0623(2013.01) C23C 14/0623(2013.01)
출원번호/일자 1020170044308 (2017.04.05)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0113079 (2018.10.15) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.04.05)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허재영 대한민국 광주광역시 광산구
2 임동하 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0334381-59
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.10.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.12.13 수리 (Accepted) 9-1-2017-0046241-07
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5056463-72
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0531091-15
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.10.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0990958-36
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2018-0990986-15
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.02.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0087701-65
9 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2019.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2019-0262207-81
10 법정기간연장승인서
2019.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0044384-89
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.04.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0377152-21
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0338270-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
직경 3 ~ 12mm의 파우더를 석영보트에 0
2 2
제 1 항에 있어서,상기 챔버의 내부 공정압력은 2mTorr ~ 1
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 열처리 로의 가열온도는 400~700℃인 것을 특징으로 하는 기상 증착법을 이용한 황화주석 박막 및 이의 형성방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 열처리 로는 선택된 시간 동안 가열되며, 상기 열처리 로의 가열시간을 통해 황화주석 박막의 결정상과 증착속도가 제어되는 것을 특징으로 하는 기상 증착법을 이용한 황화주석 박막 및 이의 형성방법
5 5
제 1 항 내지 제 4 항 중, 어느 한 항으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기상 증착법을 이용한 황화주석 박막
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 전남대학교 신진연구자지원사업 친환경 범용 원소를 활용하는 산화물 기반의 고효율 태양 전지 개발