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나노홀 어레이 및 나노디스크 어레이의 상보적 결합에 의한 투과 스펙트럼 변조를 이용하는 각감응성 가변 광학 필터 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2018013982
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노홀 어레이 및 나노디스크 어레이의 상보적 결합에 의한 투과 스펙트럼 변조를 이용하는 각감응성 가변 광학 필터 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로는, 본 발명은 멀티 스펙트럴 이미징(multi spectral imaging)에 사용될 수 있도록 특정 파장의 빛을 투과시키도록 이루어지되, 투과시키고자 하는 파장을 용이하고 정확하게 조절할 수 있도록 하는 광학 필터 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
Int. CL G01J 1/22 (2006.01.01) G01J 3/02 (2006.01.01) G02B 5/20 (2006.01.01) G02B 5/00 (2006.01.01) G01J 1/24 (2006.01.01)
CPC G01J 1/22(2013.01) G01J 1/22(2013.01) G01J 1/22(2013.01) G01J 1/22(2013.01) G01J 1/22(2013.01)
출원번호/일자 1020170045299 (2017.04.07)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0113780 (2018.10.17) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.04.07)
심사청구항수 21

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정기훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 안명수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-0342721-12
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0495523-14
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-0937359-10
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.09.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0937374-06
5 등록결정서
Decision to grant
2018.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0878514-20
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플레이트 상에 복수 개의 나노홀이 분산 형성된 형태로 이루어지는 나노홀 어레이;복수 개의 나노디스크가 각각 복수 개의 상기 나노홀에 상응하는 위치에 분산 배치되어, 상기 나노홀 어레이가 형성하는 평면과 평행하며 상하 방향으로 이격된 평면을 형성하도록 이루어지는 나노디스크 어레이;를 포함하여 이루어져,상기 나노홀 어레이 및 상기 나노디스크 어레이가 상보적 결합된 플라즈모닉 구조(Complementary Plasmonic Structure)를 형성하는 것을 특징으로 하는 광학 필터
2 2
제 1항에 있어서, 상기 광학 필터는,입사광의 진행 경로 상에 배치되어 특이 광 투과(Extraordinary Optical Transmission, EOT) 현상에 의해 선택적인 파장 대역의 빛을 투과시키되,상기 나노홀 어레이 및 상기 나노디스크 어레이가 상보적 결합된 플라즈모닉 구조에 의하여, 상기 나노홀 어레이의 파장에 따른 투과율 그래프에서 나타나는 1차 피크 및 고차 피크 중 고차 피크가 억제되어,1차 피크에 해당하는 단일 파장 대역의 빛을 투과시키도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터
3 3
제 1항에 있어서, 상기 광학 필터는,입사광의 진행 방향 및 상기 광학 필터의 배치 방향 간 각도를 배치각이라 할 때,배치각이 조절됨에 따라 상기 광학 필터가 투과시키는 빛의 파장 대역이 조절되는 것을 특징으로 하는 광학 필터
4 4
제 1항에 있어서, 상기 광학 필터는,상기 나노홀 어레이의 하부에 배치되어 상기 나노홀 어레이를 지지하는 플레이트 형태로 형성되는 기저부 및상기 기저부로부터 상기 나노홀을 관통하여 돌출 형성되어 상기 나노디스크를 지지하는 복수 개의 기둥부를 포함하여 이루어지는 기판;을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터
5 5
제 4항에 있어서, 상기 기판은,투명 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터
6 6
제 4항에 있어서, 상기 기판은,유전체 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터
7 7
제 4항에 있어서, 상기 기판은,유연 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터
8 8
제 1항에 있어서, 상기 나노홀 어레이 및 상기 나노디스크 어레이는,금속 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터
9 9
제 8항에 있어서, 상기 나노홀 어레이 및 상기 나노디스크 어레이는,서로 동일한 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터
10 10
제 1항에 있어서, 상기 광학 필터는,서로 상응하는 위치에 배치되는 상기 나노홀 및 상기 나노디스크의 직경이 서로 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 광학 필터
11 11
제 1항에 있어서, 상기 광학 필터는,서로 상응하는 위치에 배치되는 상기 나노홀 및 상기 나노디스크의 두께가 서로 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 광학 필터
12 12
제 1항에 있어서, 상기 나노홀 어레이 및 상기 나노디스크 어레이는,각각 상기 나노홀 또는 상기 나노디스크가 사각 격자(square lattice) 형태, 삼각 격자(triangular lattice) 형태, 육각 격자(hexagonal lattice), 나선(spiral) 형태, 방사상(radial) 형태 중 선택되는 적어도 하나의 형태로 분산 배치된 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터
13 13
제 1항에 있어서, 상기 광학 필터는,상기 나노홀 어레이 상에서의 상기 나노홀 배치 형태 및 상기 나노디스크 어레이 상에서의 상기 나노디스크 배치 형태가 서로 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 광학 필터
14 14
제 2항에 있어서, 상기 광학 필터는,입사광의 진행 경로 상에 상기 나노홀 어레이만 배치되어 있을 때를 NH조건이라 하고, 입사광의 진행 경로 상에 상기 광학 필터가 배치되어 있을 때를 CPS조건이라 하며,NH조건에서의 고차 피크의 크기를 t라 하고, NH조건에서의 고차 피크 및 CPS조건에서의 고차 피크의 크기 차이를 Δt라 하고, Δt/t를 감쇄도(Degree Of Attenuation)라 정의할 때,감쇄도가 미리 결정된 기준 내지 1 범위 내에 해당하도록 상기 나노홀 또는 상기 나노디스크의 직경 및 두께가 결정되는 것을 특징으로 하는 광학 필터
15 15
플레이트 상에 복수 개의 나노홀이 분산 형성된 형태로 이루어지는 나노홀 어레이; 복수 개의 나노디스크가 각각 복수 개의 상기 나노홀에 상응하는 위치에 분산 배치되어, 상기 나노홀 어레이가 형성하는 평면과 평행하게 이격된 평면을 형성하도록 이루어지는 나노디스크 어레이; 상기 나노홀 어레이의 하부에 배치되어 상기 나노홀 어레이를 지지하는 플레이트 형태로 형성되는 기저부 및 상기 기저부로부터 상기 나노홀을 관통하여 돌출 형성되어 상기 나노디스크를 지지하는 복수 개의 기둥부를 포함하여 이루어지는 기판; 을 포함하여 이루어져, 상기 나노홀 어레이 및 상기 나노디스크 어레이가 상보적 결합된 플라즈모닉 구조(Complementary Plasmonic Structure)를 형성하는 광학 필터를 제조하는 광학 필터의 제조 방법에 있어서,유리 재질의 상기 기저부 상에 HSQ(hydrogen silsesquioxane) 레지스트가 도포되는 단계;E-빔 패터닝에 의하여 미리 결정된 패턴 이외 영역의 HSQ 레지스트가 제거되는 단계;가열에 의하여 HSQ 레지스트가 경화되어 상기 기둥부가 형성되는 단계;금속 증착에 의하여 상기 기저부 및 상기 기둥부의 상면에 금속 박막층이 형성됨으로써, 상기 기저부 상면에 상기 나노홀 어레이가 형성되고, 상기 기둥부 상면에 상기 나노디스크 어레이가 형성되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터의 제조 방법
16 16
플레이트 상에 복수 개의 나노홀이 분산 형성된 형태로 이루어지는 나노홀 어레이; 복수 개의 나노디스크가 각각 복수 개의 상기 나노홀에 상응하는 위치에 분산 배치되어, 상기 나노홀 어레이가 형성하는 평면과 평행하게 이격된 평면을 형성하도록 이루어지는 나노디스크 어레이; 상기 나노홀 어레이의 하부에 배치되어 상기 나노홀 어레이를 지지하는 플레이트 형태로 형성되는 기저부 및 상기 기저부로부터 상기 나노홀을 관통하여 돌출 형성되어 상기 나노디스크를 지지하는 복수 개의 기둥부를 포함하여 이루어지는 기판; 을 포함하여 이루어져, 상기 나노홀 어레이 및 상기 나노디스크 어레이가 상보적 결합된 플라즈모닉 구조(Complementary Plasmonic Structure)를 형성하는 광학 필터를 제조하는 광학 필터의 제조 방법에 있어서,미리 결정된 패턴 형태로서 나노임프린팅 공정에 의해 상기 기판이 형성되는 단계;금속 증착에 의하여 상기 기저부 및 상기 기둥부의 상면에 금속 박막층이 형성됨으로써, 상기 기저부 상면에 상기 나노홀 어레이가 형성되고, 상기 기둥부 상면에 상기 나노디스크 어레이가 형성되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터의 제조 방법
17 17
제 1 내지 14항 중 선택되는 어느 한 항에 의한 광학 필터;입사광의 진행 방향 및 상기 광학 필터의 배치 방향 간 각도를 배치각이라 할 때, 상기 광학 필터에 연결되어 상기 광학 필터의 배치각을 조절하는 액추에이터;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터 이미징 장치
18 18
제 17항에 있어서, 상기 액추에이터는,고정 지지부를 형성하는 프레임;일단이 상기 프레임에 연결되고 타단이 상기 광학 필터에 연결되어, 인가되는 전기 신호에 따라 굽힘 정도가 조절되도록 이루어지는 바이모프;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터 이미징 장치
19 19
제 17항에 있어서, 상기 광학 필터 이미징 장치는,상기 광학 필터 및 상기 액추에이터로 이루어지는 유닛을 단일 개 포함하여 이루어지거나, 또는복수 개의 상기 유닛이 어레이를 형성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터 이미징 장치
20 20
제 19항에 있어서, 상기 광학 필터 이미징 장치는,복수 개의 상기 유닛이 어레이를 형성하여 이루어지는 경우,각각의 상기 유닛에서의 배치각의 조절이 서로 연계해서 이루어지거나 또는 서로 독립적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 필터 이미징 장치
21 21
제 17항에 있어서, 상기 광학 필터 이미징 장치는,이미지 센서 또는 디스플레이 장치로 사용되는 것을 특징으로 하는 광학 필터 이미징 장치
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1 WO2018186554 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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