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시료가 놓이는 테이블, 시료에서 나온 광이 통과하여 영상광을 이루도록 하는 광학계, 상기 광학계를 통과한 영상광을 감지하여 영상 신호를 발생시키는 촬상소자, 프로그램을 가동하여 상기 촬상소자에서 얻은 영상 신호를 처리하여 상기 시료의 결함 정도를 측정하는 컴퓨터를 구비하고,상기 시료는 박막 검사를 위하여 기판에 수분과 닿아 형광활성화하는 형광소재막, 박막을 차례로 적층하고 주변을 기밀성 경화 수지로 씰링한 것이며,상기 테이블은 시료를 이동시켜 시료의 각 해당 영역의 영상광을 획득함으로써 상기 시료의 검사 대상 영역 전체에 영상 신호를 얻을 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 결함밀도 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 조명광은 상기 형광소재막이 활성화된 부분에 비추어질 때 형광을 발생시키는 파장대의 광원을 가지거나, 상기 파장대의 빛을 선별 통과시키는 필터를 구비한 것이고,광경로상 상기 촬상소자 전방에는 형광 파장대역의 빛만을 통과시키는 필터가 구비되어 상기 촬상소자는 다크필드에서 상기 해당 영역의 형광만 감지하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 박막 결함밀도 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 테이블은 상기 시료를 테이블 평면상에서 이동하기 위한 서로 다른 두 축방향 이송수단을 구비하고, 상기 컴퓨터의 프로그램에 따른 신호를 받아 상기 시료를 이동시켜 시료의 각 해당 영역의 영상광을 획득할 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 결함밀도 검사 장치
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항의 박막 결함밀도 검사 장치를 이용한 검사 방법으로서,상기 시료를 준비하는 단계,상기 검사 장치를 준비하는 단계,상기 시료를 상기 검사 장치의 상기 테이블에 설치하는 단계,상기 컴퓨터의 프로그램을 실행하여 상기 테이블을 초기 위치로 이동시키고 시료의 첫 해당 영역 위치에서 촬상된 영상광이 상기 광학계를 통해 상기 촬상소자의 화소부에 맺혀 상기 영상 신호가 상기 컴퓨터에 전달, 저장되는 단계, 상기 프로그램에 따라 상기 컴퓨터가 상기 테이블에 신호를 주어 상기 해당 영역 위치를 변경하여 가면서 상기 시료의 검사 대상 면적 전체에 대한 영상 신호를 얻는 단계, 상기 영상 신호를 분석하여 상기 시료의 결함 정도를 도출하는 단계를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제 4 항에 있어서,상기 컴퓨터는 상기 영상 신호를 분석하여 영상광에서 형광 개수 및 크기를 측정하고, 각 형광의 크기를 더하여 결함 총면적을 도출하고, 시료 전체 면적으로 나누어 상기 결함 정도를 도출하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제 4 항에 있어서,상기 컴퓨터는 상기 영상 신호를 분석하여 상기 촬상소자의 각 화소에서 감지되는 형광의 광도를 측정하여 형광이 감지된 화소의 광도를 모두 누적하여 총 결함량을 도출하고 시료 전체 면적으로 나누어 상기 결함 정도를 도출하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 검사 방법
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