| 요약 |
본 발명은 유리와 같은 유전체 기판의 상면과 하면에 각각 전극을 형성하고 전극을 유전체로 덮어 유전체 방전 플라즈마를 양면 방전하는 플라즈마 소스를 제공한다. 상기에서, 오존량을 낮추고자 하는 경우, 전극에 인가하는 전압을 낮출 수 있으며, 동시에 풍부한 활성종의 발생을 유지하기 위해, 유전체 두께 및/또는 전극 선폭을 조합적으로 제어할 수 있다. 즉, 살균, 공기 청정, 미용이나 의료용, 실험용 플라즈마 소스의 사용목적에 맞추어 활성종의 양과 오존 발생량을 제어하기 위해, 유전체 기판의 양면에 전극을 형성하되, 한쪽 전극은 패턴화하고, 반대편 전극은 전면 전극으로 하거나, 양면 모두 패턴화된 전극으로 구성할 수 있으며, 전극을 덮는 유전체 층도 전극을 따라 패턴화하거나 전면적으로 덮는 방식을 취하여 인가전압을 제어할 수 있게 하였다. 유전체 층을 패턴화하고 얇게 하는 방식과 전극을 패턴화하고 선폭을 얇게 하면, 인가전압을 낮추어도 충분한 방전과 활성종을 얻으면서도 오존의 발생량을 줄일 수 있다. 그러나 살균, 멸균 등의 목적으로 플라즈마를 방전 시킬 경우, 오존발생량을 줄일 필요가 없으므로 상기와 같은 구성을 취할 필요는 없다.
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