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열 응답성을 향상시킨 캐니스터

  • 기술번호 : KST2018014289
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 온도에 대해 민감성이 큰 CVD/ALD 공정의 원자층 증착장비에 사용되는 열 응답성을 향상시킨 캐니스터에 관한 것으로, 케미컬 유기물 보관용기의 벽면에 직접 열전달매체가 흐를 수 있는 수로를 가공해 순환되는 열전달매체의 온도로 케미컬 유기물의 온도를 안정적으로 제어함으로써, 보관용기 내부의 급격한 온도 변화에도 조속한 설정변경으로 안정적인 기화량 제어가 가능한 특징이 있다.
Int. CL C23C 16/448 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/52 (2018.01.01)
CPC C23C 16/448(2013.01) C23C 16/448(2013.01) C23C 16/448(2013.01)
출원번호/일자 1020170049369 (2017.04.17)
출원인 한밭대학교 산학협력단, 주식회사 케이랩
등록번호/일자 10-1965805-0000 (2019.03.29)
공개번호/일자 10-2018-0116705 (2018.10.25) 문서열기
공고번호/일자 (20190404) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.04.17)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한밭대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 케이랩 대한민국 경기도 화성시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재현 대전광역시 유성구
2 염정훈 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김대영 대한민국 대전광역시 서구 청사로 *** 수협은행빌딩 ***호(특허법인 도담(대전분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한밭대학교 산학협력단 대전광역시 유성구
2 주식회사 케이랩 경기도 화성시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0375563-67
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5065033-29
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0219192-98
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.05.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0482461-20
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-0482426-32
6 등록결정서
Decision to grant		 2018.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0439069-84
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.12 수리 (Accepted) 4-1-2019-5072792-98
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번호 청구항
1 1
온도에 대해 민감성이 큰 CVD/ALD 공정의 원자층 증착장비에 사용되는 캐니스터에 있어서, 케미컬 유기물이 저장되어 기화되는 보관용기(10);상기 보관용기(10)의 외주면에 내측 방향으로 함몰 형성되는 수로(11);상기 수로(11)를 밀폐시킬 수 있도록 상기 보관용기(10)에 둘레에 결합되는 외통(20);열손실을 방지하기 위해 상기 외통(20)의 둘레에 외장되는 단열층(30);상기 보관용기(10)의 상부에 체결되고, 유기물공급관(41)과 유기물배출관(42)이 연결되는 커버플레이트(40); 및상기 수로(11)로 열전달매체를 선회시켜 순환될 수 있도록 상기 보관용기(10)의 상부와 하부에 접선방향으로 연결되는 열전달매체 순환라인(50);상기 수로(11)에 설치되며 공급되는 열전달매체와 저장된 열전달매체의 열교환을 최소화하기 위한 부력체(70);상기 보관용기(10)의 하부에는 케미컬 유기물의 유체표면 거리를 측정하는 수위센서(60)가 부착되는 것을 특징으로 하는 열 응답성을 향상시킨 캐니스터
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 부력체(70)는 도너츠 형태의 판상형으로 수로(11)의 상단에 접촉되는 내벽체(71)를 갖는 것을 특징으로 하는 열 응답성을 향상시킨 캐니스터
4 4
제 1항에 있어서,상기 부력체(70)는 도너츠 형태의 판상형으로 수압에 의해 회전될 수 있도록 상부면에 일정간격을 두고 날개(72)가 형성되는 것을 특징으로 하는 열 응답성을 향상시킨 캐니스터
5 5
제 3항에 있어서,상기 부력체(70)는 수로(11)의 상단에 접촉되는 내벽체(71)의 간섭에 의해 보관용기(10)의 상부에 연결된 열전달매체 순환라인(50)의 하부에 배치되는 것을 특징으로 하는 열 응답성을 향상시킨 캐니스터
6 6
제 4항에 있어서,상기 부력체(70)는 수로(11)의 상단에 접촉되는 날개(72)의 간섭에 의해 보관용기(10)의 상부에 연결된 열전달매체 순환라인(50)의 하부에 배치되는 것을 특징으로 하는 열 응답성을 향상시킨 캐니스터
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 한밭대학교산학협력단 산학연협력기술개발 OLED encapsulation layer 개발을 위한 R＆D 시스템 전용 MO (Metal Organic) Source Delivery system 개발