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성장 기판 상에 마이크로 소자들을 형성하는 단계;상기 마이크로 소자들을 수용 기판 상에 안착시키는 단계;선택된 마이크로 소자와 수용 기판 사이의 흡착력을 제거하는 단계; 및이송 헤드를 통해 상기 선택된 마이크로 소자에 유도자계를 인가하여 상기 수용 기판과의 흡착력이 제거된 상기 선택된 마이크로 소자를 이송하는 단계를 포함하는 마이크로 소자의 이송방법
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제1항에 있어서, 상기 마이크로 소자들을 형성하는 단계는,상기 성장 기판 상에 발광 동작을 수행하는 발광체를 형성하는 단계; 및상기 발광체 상부 또는 내부에 자성층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송방법
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제2항에 있어서, 상기 발광체를 형성하는 단계는,상기 성장 기판 상에 제1 반도체층, 활성층 및 제2 반도체층을 순차적으로 형성하는 단계; 및상기 제1 반도체층, 상기 활성층 및 상기 제2 반도체층을 식각하여 상기 발광체를 개별화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송방법
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제2항에 있어서, 상기 자성층을 형성하는 단계 이후에, 상기 자성층을 특정 방향으로 자화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송방법
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제1항에 있어서, 상기 마이크로 소자들을 수용 기판 상에 안착시키는 단계는, 레이저를 상기 마이크로 소자들에 조사하여 상기 마이크로 소자들을 상기 성장 기판으로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송방법
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제1항에 있어서, 상기 수용 기판은 상기 마이크로 소자들 각각을 안착하기 위해 구비된 안착부들, 각각의 안착부들에 구비된 유로 채널들 및 상기 안착부들을 정의하는 가이딩부들을 가지고,상기 수용 기판 상에 안착시키는 단계 이후에,상기 유로 채널들을 통해 액체를 공급하여 상기 마이크로 소자들을 상기 수용 기판에 흡착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송방법
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제6항에 있어서, 상기 흡착력을 제거하는 단계는, 상기 선택된 마이크로 소자에 공급된 액체를 제거하고, 상기 선택된 마이크로 소자가 안착된 안착부에 공기를 공급하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송방법
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